温控轴辊的制作方法
【专利摘要】一种温控轴辊，包括位于中心的轴、连接于轴两端的支撑体和位于轴外周的辊，其特征在于：所述轴为空心轴，轴壁的两外端与支撑体连接，所述辊为带夹层的筒状辊，辊的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道，辊内壁与轴壁之间在两个端部嵌有密封板，支撑体的外径与辊的外径一致，支撑体轴心开有小孔，直径与轴的外径相适应，所述支承体的内底面上有环形槽和导流槽，所述环形槽与辊夹层内的水道连通，所述导流槽连通各环形槽，环形槽经出水口或进水口以及支撑体的大孔与外界连通，最终形成温控恒温水通路。本发明通过对水的温度进行控制，实现对轴辊的温度控制，克服了现有多线切割机专门设立温度控制设备，操作复杂，技术要求高的问题。
【专利说明】温控轴辊
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种轴辊，特别涉及一种应用于多线锯切割机上可以进行温度控制的轴辊。
【背景技术】
[0002]多线锯切割机是将半导体晶棒切割成晶片的设备，半导体晶圆片是集成电路制作的衬底材料，晶圆片切割的精度直接影响集成电路制作的成品率，所以实际生产中对晶圆片的切割精度要求很高。温度是影响晶圆片精度的重要因素，因此消除温度对加工过程中对晶圆的精度影响非常重要。
[0003]近期公布的一种多线切割机水冷却方法及装置，具有切割温度控制，对整机各关键部位进行全面冷却，实现了对多线切割机各关键部位温度的控制，但其结构设计复杂，操作技术要求高，而且成本投入较大。
【发明内容】
[0004]为解决目前多线切割机水冷却技术装置结构设计复杂，操作技术要求高，而且成本投入较大的问题，本发明提供一种多线锯切割机上应用的可以进行温度控制的轴辊，轴辊内部有温控恒温水通过，通过对水的温度进行了控制，实现对轴辊的温度控制。
[0005]本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是:
一种温控轴辊,包括位于中心的轴、连接于轴两端的支撑体和位于轴外周的辊,其特征在于:所述轴为空心轴，轴壁的两外端与支撑体连接，所述辊为带夹层的筒状辊，其长度比轴的长度小10~20mm，辊的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道，辊内壁与轴壁之间在两个端部嵌有密封板，所述支撑体的轴心有阶梯形的孔，靠内侧为小孔，靠外侧为大孔，支撑体其外径与辊的外径一致，支撑体轴心的小孔的直径与轴的外径相适应，所述支承体的内底面上有环形槽和导流槽，所述环形槽与辊夹层内的水道连通，所述导流槽连通各环形槽，环形槽经出水口或进水口以及支撑体的大孔与外界连通。
[0006]所述支撑体的外侧面为夹层结构，其夹层内有侧面环形槽和侧面导流槽。
[0007]所述环形槽先后通过顺次连通的支承体内部斜向的导流孔、侧面环形槽和侧面导流槽与水道相连通。
[0008]所述侧面导流槽与水道--对应并互相连通。
[0009]所述支承体上的导流槽呈十字放射状布置。
[0010]所述环形槽中最靠近中心的环形槽与进水口相连通；最靠外侧的环形槽通过斜向的导流孔与侧面环形槽相连通。
[0011]所述水道、导流槽、环形槽、侧面导流槽和侧面环形槽的断面为矩形、圆孤形或角形。
[0012]所述进水口、出水口和导流孔的断面为多边形或圆形。
[0013]所述支承体露在外面的底面上开有辐射状排列的槽孔。[0014]本发明轴辊的内部为密封的空腔，目的是减轻轴辊质量，减小转动惯量；支承体外侧端面开有多个槽孔，用来安装对轴辊动平衡时的质量平衡块；所述水道与两侧支撑体上的侧面导流槽、侧面环形槽、导流孔、环形槽、导流槽和进水口或出水口依次顺序联通，形成温控恒温水通路，有温控恒温水通过，通过对水的温度进行控制，实现对轴辊的温度控制，克服了现有多线切割机专门设立温度控制设备，操作复杂，技术要求高的问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是本发明温控轴辊结构示意图；
图2是本发明中轴辊内腔结构示意图；
图3是本发明中轴辊壁结构示意图；
图4是本发明中支承体的结构示意图；
图5是本发明中支承体的内侧面结构示意图；
图6是本发明中支承体的外侧面结构示意图。
[0016]附图标记:1-轴、2-辊内壁、3-辊、4-密封板、5-空腔、6_水道、7_轴壁、8_支承体、9-导流槽、10-环形槽、11-进水口、12-导流孔、13-槽孔、14-侧面环形槽、15-侧面导流槽、16-出水口。
【具体实施方式】
[0017]如图1飞所示，一种温控轴辊，包括位于中心的轴1、连接于轴两端的支撑体8和位于轴外周的辊3，其特征在于:所述轴I为空心轴，轴壁7的两外端与支撑体8连接，所述辊3为带夹层的筒状辊，其长度比轴I的长度小10?20mm，辊3的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道6，辊内壁2与轴壁7之间在两个端部嵌有密封板4，所述支撑体8的轴心有阶梯形的孔，靠内侧为小孔，靠外侧为大孔，支撑体8其外径与辊3的外径一致，支撑体轴心的小孔的直径与轴I的外径相适应，所述支承体8的内底面上有环形槽10和导流槽9，所述环形槽10与辊夹层内的水道6连通，所述导流槽9连通各环形槽10，环形槽10经出水口 16或进水口 11以及支撑体的大孔与外界连通。所述支撑体8的外侧面为夹层结构，其夹层内有侧面环形槽14和侧面导流槽15。所述环形槽10先后通过顺次连通的支承体8内部斜向的导流孔12、侧面环形槽14和侧面导流槽15与水道6相连通。所述侧面导流槽15与水道6一一对应并互相连通。
[0018]所述环形槽10为多个通过辐射状的导流槽9互相连通同心圆环；所述侧面环形槽14为多个与支承体8的底面平行的圆环槽。
[0019]所述环形槽10中，最靠近中心的环形槽10与进水口 11相连通；最靠外侧的环形槽通过斜向的导流孔12与侧面环形槽14相连通。
[0020]所述水道6、导流槽9、环形槽10、侧面导流槽15和侧面环形槽14的断面可以为矩形、圆孤形或角形。
[0021]所述进水口 11、导流孔12的断面可以为多边形或圆形。
[0022]所述支承体8露在外面的底面上开有辐射状排列的槽孔13。
[0023]整体恒温水的流通路径是:恒温水从支承体8上的进水口 11进入与之相通的环形槽10，由内侧环形槽通过辐射状的导流槽9进入外侧环形槽，然后通过导流孔12进入侧面环形槽14，通过侧面导流槽15进入水道6，通过水道6顺序进入另一侧支承体8上的侧面导流槽15、侧面环形槽14、导流孔12、外侧环形槽、导流槽9、内侧环形槽，最后由出水口 16流出。
[0024]工作时，恒温水保持循环流通，由于水流通道几乎覆盖整个轴辊，且轴辊为中空设计，所以能达到良好的降温效果。
[0025]轴辊的内部为密封的空腔，目的是减轻轴辊质量，减小转动惯量；支承体外侧端面开有多个槽孔，用来安装对轴辊动平衡时的质量平衡块；支承体上设有导流孔2、导流槽9、环形槽10和进水口 11，所述水道6、侧面导流槽15、侧面环形槽14、导流孔2、环形槽10、导流槽9和进水口 11依次顺序联通，形成温控恒温水通路，有温控恒温水通过,通过对水的温度进行控制，实现对轴辊的温度控制。
【权利要求】
1.一种温控轴辊,包括位于中心的轴(I)、连接于轴两端的支撑体(8)和位于轴外周的辊(3)，其特征在于:所述轴(I)为空心轴，轴壁(7)的两外端与支撑体(8)连接，所述辊(3)为带夹层的筒状辊，其长度比轴(I)的长度小10~20mm，辊(3)的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道(6)，辊内壁(2)与轴壁(7)之间在两个端部嵌有密封板(4)，所述支撑体(8)的轴心有阶梯形的孔，靠内侧为小孔，靠外侧为大孔，支撑体(8)其外径与辊(3)的外径一致，支撑体轴心的小孔的直径与轴(I)的外径相适应，所述支承体(8)的内底面上有环形槽(10)和导流槽(9)，所述环形槽(10)与辊夹层内的水道(6)连通，所述导流槽(9)连通各环形槽(10)，环形槽(10)经出水口(16)或进水口(11)以及支撑体的大孔与外界连通。
2.根据权利要求1所述的温控轴辊，其特征在于:所述支撑体(8)的外侧面为夹层结构，其夹层内有侧面环形槽(14)和侧面导流槽(15)。
3.根据权利要求1所述的温控轴辊，其特征在于:所述环形槽(10)先后通过顺次连通的支承体(8)内部斜向的导流孔(12)、侧面环形槽(14)和侧面导流槽(15)与水道(6)相连通。
4.根据权利要求2所述的温控轴辊，其特征在于:所述侧面导流槽(15)与水道(6)一一对应并互相连通。
5.根据权利要求3所述的温控轴辊，其特征在于:所述支承体(8)上的导流槽(9)呈十字放射状布置。
6.根据权利要求4所述的温控轴辊，其特征在于:所述环形槽(10)中最靠近中心的环形槽(10 )与进水口( 11)相连通；最靠外侧的环形槽通过斜向的导流孔(12 )与侧面环形槽(14)相连通。
7.根据权利要求5所述的温控轴辊，其特征在于:所述水道(6)、导流槽(9)、环形槽(10)、侧面导流槽(15)和侧面环形槽(14)的断面为矩形、圆孤形或角形。
8.根据权利要求6所述的温控轴辊，其特征在于:所述进水口(11 )、出水口( 16)和导流孔(12)的断面为多边形或圆形。
9.根据权利要求7任意一项所述的温控轴辊，其特征在于:所述支承体(8)露在外面的底面上开有辐射状排列的槽孔(13)。
【文档编号】B28D5/04GK103586987SQ201310538605
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年11月5日 优先权日:2013年11月5日
【发明者】种宝春 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所