一种复合石英陶瓷坩埚的制作方法

文档序号:1907265阅读:122来源:国知局
一种复合石英陶瓷坩埚的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种复合石英陶瓷坩埚,包括:内腔承载层和外侧保护层,所述外侧保护层覆盖在内腔承载层的外表面,所述内腔承载层由石英玻璃和玻璃纤维混合加工制成,所述外侧保护层由硅酸铝纤维和石英砂混合加工制成,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为92%~95%,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为5%~8%。通过上述方式,本发明指出的一种复合石英陶瓷坩埚,采用双层耐高温结构,结构牢固,避免单层结构破裂带来的危险,高温下使用的安全性高,耐用性好。
【专利说明】一种复合石英陶瓷坩埚

【技术领域】
[0001]本发明涉及坩埚设计领域,特别是涉及一种复合石英陶瓷坩埚。

【背景技术】
[0002]石英陶瓷坩埚就是采用石英陶瓷材料制成的坩埚。精细熔融石英陶瓷材料由于具有结构精细、热导率低、热膨胀系数小、尺寸精度高、高温不变形、热震稳定性好、电性能好、耐化学侵蚀性好等特点,因此在玻璃深加工行业、冶金工业、电子工业、化工工业、航空航天等领域得到广泛应用。
[0003]近年来,随着环保能源不断被重视和发展,太阳能作为绿色能源受到世界各国的普遍重视,得到了广泛的开发和利用,这使得用于太阳能转换的多晶硅的用量急剧增加。从而促进了多晶硅生产的快速发展,特别是大尺寸薄壁石英陶瓷坩埚的用量也在急剧增大,国际上该产品的市场前景十分看好。普通的石英陶瓷坩埚虽然也具有一定的耐高温能力,但是单层结构,容易被破坏,高温下操作的危险系数高。


【发明内容】

[0004]本发明主要解决的技术问题是提供一种复合石英陶瓷坩埚,双层结构,稳定牢固,安全性高。
[0005]为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种复合石英陶瓷坩埚,包括:内腔承载层和外侧保护层,所述外侧保护层覆盖在内腔承载层的外表面,所述内腔承载层由石英玻璃和玻璃纤维混合加工制成,所述外侧保护层由硅酸铝纤维和石英砂混合加工制成,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为92%~95%,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为5%~8%。
[0006]在本发明一个较佳实施例中,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为94%。
[0007]在本发明一个较佳实施例中,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为
6% ο
[0008]在本发明一个较佳实施例中,所述硅酸铝纤维在外侧保护层中所占的重量百分比为 15%~18%。
[0009]在本发明一个较佳实施例中,所述石英砂在外侧保护层中所占的重量百分比为829^85%。
[0010]本发明的有益效果是:本发明指出的一种复合石英陶瓷坩埚,采用双层耐高温结构,结构牢固,避免单层结构破裂带来的危险,高温下使用的安全性高,耐用性好。

【具体实施方式】
[0011]下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
[0012]本发明实施例包括:
一种复合石英陶瓷坩祸,包括:内腔承载层和外侧保护层,所述外侧保护层覆盖在内腔承载层的外表面,所述内腔承载层由石英玻璃和玻璃纤维混合加工制成,所述外侧保护层由硅酸铝纤维和石英砂混合加工制成,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为92%~95%,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为5%~8%。
[0013]本发明一种复合石英陶瓷坩埚特别采用了双层复合的结构,使用过程中单层发生破裂不会造成重大损失或者伤害,安全性高,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为94%。
[0014]进一步的,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为6%。玻璃纤维可以增加内腔承载层的结构强度和承载力。
[0015]进一步的,所述硅酸铝纤维在外侧保护层中所占的重量百分比为15%~18%,硅酸铝纤维的耐高温性能好。
[0016]进一步的,所述石英砂在外侧保护层中所占的重量百分比为82%~85%。
[0017]综上所述,本发明指出的一种复合石英陶瓷坩埚,与普通的石英陶瓷坩埚相比,采用的是双层复合结构,结构强度高,操作危险性小,安全性更加高,耐用性好。
[0018]以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的【技术领域】,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种复合石英陶瓷坩埚,其特征在于,包括:内腔承载层和外侧保护层,所述外侧保护层覆盖在内腔承载层的外表面,所述内腔承载层由石英玻璃和玻璃纤维混合加工制成,所述外侧保护层由硅酸铝纤维和石英砂混合加工制成,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为92%~95%,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为5%~8%。
2.根据权利要求1所述的复合石英陶瓷坩埚,其特征在于,所述石英玻璃在内腔承载层中所占的重量百分比为94%。
3.根据权利要求2所述的复合石英陶瓷坩埚,其特征在于,所述玻璃纤维在内腔承载层中所占的重量百分比为6%。
4.根据权利要求1所述的复合石英陶瓷坩埚,其特征在于,所述硅酸铝纤维在外侧保护层中所占的重量百分比为15%~18%。
5.根据权利要求4所述的复合石英陶瓷坩埚,其特征在于,所述石英砂在外侧保护层中所占的重量百分比为82%~85%。
【文档编号】C04B35/80GK104073884SQ201410320037
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年7月8日 优先权日:2014年7月8日
【发明者】陈学兵 申请人:苏州普京真空技术有限公司
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