一种多线切割机的张力调节机构的制作方法

文档序号:11681784阅读:435来源:国知局
一种多线切割机的张力调节机构的制造方法与工艺

本发明涉及多线切割机领域,具体涉及一种多线切割机的张力调节机构。



背景技术:

多线切割机是目前单晶硅、多晶硅及电子级硅、蓝宝石等硬脆材料加工的主要设备,张力调节机构是多线切割机的主要功能部件之一。目前,市面上的多线切割机张力调节技术通常使用向旋转电机施加一定扭矩来调节张力,其灵敏度低,张力调节不稳定,且易断线。



技术实现要素:

要解决的技术问题:本发明的主要目的在于,保证金刚线上的张力恒定,降低设备断线率。

技术方案:为了解决上述技术问题,本发明提供了一种多线切割机的张力调节机构,本发明的技术方案为:

一种多线切割机的张力调节机构,包括直线导轨、机架、定子组件、磁栅尺、动子组件、滑线轮组件和动子,直线导轨固定在机架上;定子组件固定在机架上,并且位于两直线导轨中间;磁栅尺固定在机架上,并沿着一侧直线导轨方向设置;动子组件滑动地设置在直线导轨上;滑线轮组件与动子组件连接在一起;动子连接并驱动动子组件。

所述的一种多线切割机的张力调节机构,所述直线导轨通过螺纹紧固件固定在机架上。

所述的一种多线切割机的张力调节机构,所述磁栅尺与直线导轨平行。

所述的一种多线切割机的张力调节机构,所述滑线轮组件上缠绕有金刚线,金刚线从所述滑线轮组件上侧进入后从下侧出,进线和出线在同一平面并且平行。

所述的一种多线切割机的张力调节机构,所述动子与定子组件形成直线电机,并通过动子带动动子组件移动。

采用直线电机进行金刚线的张力调节,这种结构灵敏度高,响应快,保证了金刚线上的张力恒定,大大减少了断线率。

采用磁栅尺测量距离,磁栅尺成本较光栅低,测量精度高,距离反馈准确。

张力调节组件导向采用直线导轨,直线导轨传动平稳,使得张力调节结构无抖动,降低了断线率。

有益效果:本发明的有益技术效果在于:本发明的张力调节机构保证了金刚线上的张力恒定,降低了设备断线率。

附图说明

图1是本发明多线切割机的张力调节机构的正视图。

图2是本发明多线切割机的张力调节机构的侧剖视图。

具体实施方式

为了进一步说明本发明的原理,现结合附图对本发明的进行详细说明。

如图1和2所示,多线切割机的张力调节机构包括直线导轨1、机架2、定子组件3、磁栅尺4、动子组件5、滑线轮组件6和动子7,直线导轨1固定在机架2上;定子组件3固定在机架2上,并且位于两直线导轨2中间;磁栅尺4固定在机架2上,并沿着一侧直线导轨1方向设置;动子组件5滑动地设置在直线导轨1上;滑线轮组件6与动子组件5连接在一起;动子7连接并驱动动子组件5。

如图1所示,直线导轨1通过螺纹紧固件固定在机架上。

磁栅尺4与直线导轨1平行。

滑线轮组件6上缠绕有金刚线,金刚线从滑线轮组件6上侧进入后从下侧出,进线和出线在同一平面并且平行。

动子7与定子组件3形成直线电机,并通过动子7带动动子组件5移动,采用直线电机进行金刚线的张力调节,这种结构灵敏度高,响应快,保证了金刚线上的张力恒定,大大减少了断线率。

采用磁栅尺4测量距离,磁栅尺4成本较光栅低,测量精度高,距离反馈准确。

张力调节组件导向采用直线导轨1,直线导轨1传动平稳,使得张力调节结构无抖动,降低了断线率。

加电后,直线电机的动子组件5带动滑线轮组件6在直线导轨1上运动,当张力小于额定张力,直线电机移动动子组件5将金刚线拉紧,达到恒定张力,将金刚线放松,达到恒定张力。

该多线切割机的张力调节机构可以保证金刚线上的张力恒定,降低设备断线率。

以上所述仅为本发明的较佳可行实施例,并非限制本发明的保护范围。凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效远离,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种多线切割机的张力调节机构,包括:直线导轨、机架、定子组件、磁栅尺、动子组件、滑线轮组件和动子,直线导轨固定在机架上;定子组件固定在机架上,并且位于两直线导轨中间;磁栅尺固定在机架上,并沿着一侧直线导轨方向;动子组件滑动地设置在直线导轨上;滑线轮组件与动子组件连接在一起;动子连接并驱动动子组件。该多线切割机的张力调节机构能够保证金刚线上的张力恒定,降低设备断线率。

技术研发人员:乔卫民;翟新;马艳
受保护的技术使用者:苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
技术研发日:2017.04.07
技术公布日:2017.07.21
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