带密封功能的隔离门驱动器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体和一对撑杆，所述撑杆与所述隔离门固定连接，所述撑杆能相对所述驱动器本体移动，其特征在于，还包括压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间。通过压板在驱动器本体和撑杆的接缝处安装密封圈，可以防止驱动器本体内作为动力源的压力油经泄露，避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保产品良率。
【专利说明】带密封功能的隔离门驱动器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种带密封功能的隔离门驱动器。
【背景技术】
[0002]在半导体的生产工艺中，在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)，指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。
[0003]当反应腔室进行CVD工艺时，需要将反应腔室和通道隔离。目前是采用隔离门隔离，所述隔离门通过一个隔离门驱动器驱动。如图1所述，现有的隔离门驱动器包括驱动器本体I和一对撑杆2，所述撑杆2与所述隔离门固定连接，所述撑杆2能相对所述驱动器本体I (沿垂直于纸面的方向)移动，驱动器本体I通过驱动撑杆驱动隔离门关闭或者打开。由于驱动器本体采用液压驱动，因此经常出现压力油从驱动器本体I和撑杆2之间的缝隙中流出，污染反应腔室内的晶圆，造成产品良率降低。
[0004]因此，如何提供一种可以防止压力油泄露的带密封功能的隔离门驱动器是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种带密封功能的隔离门驱动器，通过在驱动器本体和撑杆的连接处设置密封圈，可以防止驱动器本体中的压力油从撑杆和驱动器本体件的缝隙中泄露，从而可以避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保产品良率。
[0006]为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0007]—种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体和一对撑杆，所述撑杆与所述隔离门固定连接，所述撑杆能相对所述驱动器本体移动，还包括压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间。
[0008]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述压板是矩形板。
[0009]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述通孔分别设置于所述压板的两端。
[0010]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，还包括固定块，所述压板通过所述固定块压设于所述驱动器本体上。
[0011]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，还包括螺纹组件，所述固定块通过分别通过所述螺纹组件固定于所述驱动器本体上。
[0012]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述固定块的截面呈L型。
[0013]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述固定块包括水平板和竖直板，所述水平板的一端和所述竖直板的一端固定连接，所述水平板上开设供所述螺纹组件旋合连接的螺纹孔。
[0014]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述密封圈的一端具有同轴设置的圆柱状凸台，所述圆柱状凸台的外径与所述通孔的外径相匹配，所述密封圈的另一端外径大于所述通孔的内径。
[0015]优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述压板的两端分别设有凹口，所述凹口的深度和所述圆柱状凸台的高度相匹配。
[0016]本实用新型提供的带密封功能的隔离门驱动器，通过设置压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间，从而可以防止驱动器本体内的作为动力源的压力油经撑杆外侧的缝隙泄露，避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保广品良率。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]本实用新型的带密封功能的隔离门驱动器由以下的实施例及附图给出。
[0018]图1是现有的隔离门驱动器的结构示意图；
[0019]图2是本实用新型一实施例的带密封功能的隔离门驱动器的结构示意图；
[0020]图3是本实用新型一实施例中压板的结构示意图；
[0021]图4是图3的俯视图；
[0022]图5是本实用新型一实施例中固定件的结构示意图；
[0023]图6是图5的俯视图；
[0024]图7是本实用新型一实施例中密封圈的结构示意图；
[0025]图8是图7的俯视图。
[0026]图中，1-驱动器本体、2-撑杆、3-压板、31-通孔、4-密封圈、41-圆柱状凸台，5-固定块、51-螺纹孔、6-螺纹组件。
【具体实施方式】
[0027]以下将对本实用新型的带密封功能的隔离门驱动器作进一步的详细描述。
[0028]下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0029]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0030]为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。[0031]请参阅图2至图8，这种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体I和一对撑杆2，所述撑杆2与所述隔离门(未图示)固定连接，所述撑杆2能相对所述驱动器本体I移动，该带密封功能的隔离门驱动器还包括压板3和密封圈4，所述压板3上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔31，所述压板固定设置于所述驱动器本体I上，所述密封圈4分别套设于所述撑杆2上并位于所述压板3和驱动器本体I之间。通过压板3在驱动器本体I和撑杆2的接缝处安装密封圈4，可以防止驱动器本体I内作为动力源的压力油经泄露，避免泄露的压力油污染反应腔室(未图示)中的晶圆(未图示)，确保产品良率。
[0032]请参阅图3和图4，并请结合参阅图2，较佳的，在本实施例的带密封功能的隔离门驱动器中，所述压板3是矩形板。所述通孔31分别设置于所述压板3的两端。
[0033]请继续参阅图2，较佳的，在本实施例的带密封功能的隔离门驱动器中，还包括固定块5，所述压板3通过所述固定块5压设于所述驱动器本体I上。
[0034]较佳的，在本实施例的带密封功能的隔离门驱动器中，还包括螺纹组件6，所述固定块5通过分别通过所述螺纹组件6固定于所述驱动器本体I上。
[0035]请重点参阅图5和图6，并请结合图2，较佳的，在本实施例的带密封功能的隔离门驱动器中，所述固定块5的截面呈L型。
[0036]较佳的，所述固定块5包括水平板和竖直板，所述水平板的一端和所述竖直板的一端固定连接，所述水平板上开设供所述螺纹组件6旋合连接的螺纹孔51。
[0037]请重点参阅图7和图8，并请结合图2至图6，较佳的，在本实施例的带密封功能的隔离门驱动器中，所述密封圈4的一端具有同轴设置的圆柱状凸台41，所述圆柱状凸台41的外径与所述通孔的外径相匹配，所述密封圈4的另一端外径大于所述通孔31的内径。所述压板3的两端分别设有凹口，所述凹口的深度和所述圆柱状凸台41的高度相匹配。如此，在安装密封圈4和压板3时，可以将密封圈4的圆柱状凸台41从通孔31中伸出，从而起到更好的密封作用。
[0038]请继续参阅图2至图8，由于撑杆2是从驱动器本体I伸出的，使用的时候，先将密封圈4安装于撑杆上，并使得密封圈4上的圆柱状凸台41远离驱动器本体I设置，然后将压板3压在驱动器本体I上，使得密封圈4上的圆柱状凸台41从压板3的通孔31内伸出，然后用螺纹组件6将固定块5安装于驱动器本体I上，此时固定块5的另一端压住所述压板3，从而实现撑杆2和驱动器本体I的密封连接，如此，可以有效防止驱动器本体I内的作为动力源的压力油经撑杆外侧的缝隙泄露，避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保广品良率。
[0039]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体和一对撑杆，所述撑杆与所述隔离门固定连接，所述撑杆能相对所述驱动器本体移动，其特征在于，还包括压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间。
2.根据权利要求1所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，所述压板是矩形板。
3.根据权利要求1所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，所述通孔分别设置于所述压板的两端。
4.根据权利要求1所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，还包括固定块，所述压板通过所述固定块压设于所述驱动器本体上。
5.根据权利要求4所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，还包括螺纹组件，所述固定块通过分别通过所述螺纹组件固定于所述驱动器本体上。
6.根据权利要求5所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，所述固定块的截面呈L型。
7.根据权利要求6所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，所述固定块包括水平板和竖直板，所述水平板的一端和所述竖直板的一端固定连接，所述水平板上开设供所述螺纹组件旋合连接的螺纹孔。
8.根据权利要求1所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，所述密封圈的一端具有同轴设置的圆柱状凸台，所述圆柱状凸台的外径与所述通孔的外径相匹配，所述密封圈的另一端外径大于所述通孔的内径。
9.根据权利要求8所述的带密封功能的隔离门驱动器，其特征在于，所述压板的两端分别设有凹口，所述凹口的深度和所述圆柱状凸台的高度相匹配。
【文档编号】E05F15/02GK203430265SQ201320509964
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月20日 优先权日:2013年8月20日
【发明者】田华, 曹伟刚 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司