一种用于大功率半导体器件的高可靠滑动定位块的制作方法

本实用新型涉及一种用于大功率半导体器件的高可靠滑动定位块，属于半导体加工治具领域。

背景技术：

半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。

在半导体制造工艺过程中，需要将半导体模块固定在专用夹具上执行各种制造工艺。由于半导体产品制造精度高、集成度高度，因此在半导体产品的操作和处理过程中容易使产品受到损伤，从而使废品率上升，提高了制造成本。因此需要使用高精度治具来夹持半导体器件，尤其是对于大功率半导体器件，由于其体积相对较大，对于治具的稳定性以及精准度都有更高的要求。

申请号为CN200910001047.9的中国发明专利公开了一种半导体模块制造工艺专用夹具，该夹具包括主体和滑块组件，在夹具主体上具有多个滑动槽、多个顶针孔和多个定位突起，滑动槽的一侧具有缺口，该缺口与外部相通，滑块组件布置在对应的滑动槽中，其特征在于，滑块组件包括：滑块，在对应的滑动槽中滑动，滑块的一端从滑动槽的缺口伸出；弹性构件，沿着滑块的滑动方向布置，一端由滑块的所述一端的相对端支撑，另一端由滑动槽的具有缺口的一侧的侧壁支撑，用于通过其回复力使滑动槽向着对应的顶针孔的方向滑动；盖片，用于覆盖滑块和弹性构件，以防止滑块和弹性构件与滑动槽脱离。所述夹具利用内置弹性构件直向运动，其滑块复位性能好，使用盖片盖住滑块和弹性构件的方式方便维修。该专用夹具可以实现对半导体器件的夹持，但是只能适合夹持特定规格且功率较小的小型半导体器件，且不能移动器件的位置，对于那些大功率半导体器件，不能满足使用需求。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种能够稳定夹持半导体器件，同时可以精准移动半导体器件到预设位置的用于大功率半导体器件的高可靠滑动定位块。

一种用于大功率半导体器件的高可靠滑动定位块，包括台面、导轨、滑块、固定杆、滑套，其中导轨有两根，并通过固定杆平行等高固定在台面上，滑块的底面设置滑套，且滑套套在导轨上，其特征在于：所述滑块的顶面后边沿设置固定挡沿，顶面前边沿设置滑动挡沿，且滑动挡沿的两端伸出滑块，并在滑动挡沿的两段下部固定设置连接头；在滑块的左右两侧安装伸缩杆，且伸缩杆的顶端固定连接对应的连接头；在滑块的右侧，有摆杆一个中心固定轴设置在台面上，且摆杆位于中心固定轴左侧的部分短于位于中心固定轴右侧的部分，且摆杆的左端从导轨下方伸入到滑块中部下方；滑块的底面中部设置固定柱，且在固定柱下端设置可以转动的转动套，摆杆的左端穿过转动套，并可以相对于转动套内滑动；所述摆杆的右端设置弧形齿条，齿条的弧形中心与中心固定轴的轴心重合；在齿条的右侧设置有驱动装置，驱动装置上设置与齿条啮合的啮合轮。

上述装置设置了带有固定挡沿和滑动挡沿的滑块，在伸缩杆的作用下，滑动挡沿将半导体器件固定在滑块上，防止在加工过程中半导体器件松动。滑块的移动依靠摆杆的摆动，由于摆杆的左端短于右端，因此啮合轮带动摆杆移动时，滑块以更小的行程移动，这有利于减少移动误差，提高移动精准度，使半导体器件准确地处于预设位置，有利于提高半导体的加工精度。

作为优选方案，所述中心固定轴固定连接摆杆左端的三分之一处。摆杆一方面用于带动滑块移动，另一方面用于降低摆杆左端的线速度，从而提高滑块的移动精度，将中心固定轴两侧的摆杆设置为一比二，既能满足此要求，又不至于占用过大空间。

作为优选方案，所述固定挡沿和滑动挡沿的形状相同，两挡沿朝向滑块中部的侧面向下倾斜。该装置中，伸缩杆带动滑动挡沿向固定挡沿移动，这一过程将半导体器夹紧，将固定挡沿和滑动挡沿的相向面设置为向下倾斜可以在半导体器夹紧被夹紧的过程中向下微微移动，使半导体器件充分固定。

作为优选方案，所述固定挡沿的中部设置有中部基准刻度。在将半导体器件放置在滑块上时，固定挡沿上的中部基准刻度可以作为参考，方便人们准确定位半导体器件。

作为优选方案，所述滑块的顶面中部设置凹槽，该凹槽靠近滑动挡沿，在凹槽内以可转动方式安装着起弹片，且在起弹片的下方有弹性件安装在凹槽内。

作为优选方案，所述起弹片的转动轴心设置在靠近滑动挡沿的一侧，即起弹片可以绕着其前边沿转动。起弹片的作用在于当滑动挡沿移开时将半导体器件弹起，方便人们卸下半导体器件。

作为优选方案，所述固定杆等间距设置在导轨下部，且滑块在相邻的两个固定杆之间移动。滑块只能在一定范围内移动，在导轨上设置多个固定杆既不影响滑块的移动，又可以增加对导轨的支撑，防止导轨变形，有利于保证该装置的精准度。

附图说明

图1为本实用新型并列使用时的顶视图。

图2为本实用新型并列使用时的透视图。

图3为本实用新型的单体左侧视图。

图4为本实用新型的单体的前侧视图。

图5为本实用新型的滑块的结构示意图。

图6为本实用新型的滑块的左视图。

图中，台面1、导轨2、滑块3、摆杆4、齿条5、啮合轮6、驱动装置7、固定杆8、固定挡沿9、滑动挡沿10、伸缩杆11、连接头12、滑套13、中部基准刻度14、起弹片15、转动套16、固定柱17、中心固定轴18、弹性件19、凹槽20。

具体实施方式

如图所示，一种用于大功率半导体器件的高可靠滑动定位块，包括台面1、导轨2、滑块3、固定杆8、滑套13，其中导轨2有两根，并通过固定杆8平行等高固定在台面1上，滑块3的底面设置滑套13，且滑套13套在导轨2上。所述滑块3的顶面后边沿设置固定挡沿9，顶面前边沿设置滑动挡沿10，且滑动挡沿10的两端伸出滑块3，并在滑动挡沿10的两段下部固定设置连接头12；在滑块3的左右两侧安装伸缩杆11，且伸缩杆11的顶端固定连接对应的连接头12；在滑块3的右侧，有摆杆4一个中心固定轴18设置在台面1上，且摆杆4位于中心固定轴18左侧的部分短于位于中心固定轴18右侧的部分，且摆杆4的左端从导轨2下方伸入到滑块3中部下方；滑块3的底面中部设置固定柱17，且在固定柱17下端设置可以转动的转动套16，摆杆4的左端穿过转动套16，并可以相对于转动套16内滑动；所述摆杆4的右端设置弧形齿条5，齿条5的弧形中心与中心固定轴18的轴心重合；在齿条5的右侧设置有驱动装置7，驱动装置7上设置与齿条5啮合的啮合轮6。所述中心固定轴18固定连接摆杆4左端的三分之一处。摆杆4一方面用于带动滑块3移动，另一方面用于降低摆杆4左端的线速度，从而提高滑块3的移动精度，将中心固定轴18两侧的摆杆4设置为一比二，既能满足此要求，又不至于占用过大空间。所述固定挡沿9和滑动挡沿10的形状相同，两挡沿朝向滑块3中部的侧面向下倾斜。该装置中，伸缩杆11带动滑动挡沿10向固定挡沿9移动，这一过程将半导体器夹紧，将固定挡沿9和滑动挡沿10的相向面设置为向下倾斜可以在半导体器夹紧被夹紧的过程中向下微微移动，使半导体器件充分固定。所述固定挡沿9的中部设置有中部基准刻度14。在将半导体器件放置在滑块3上时，固定挡沿9上的中部基准刻度14可以作为参考，方便人们准确定位半导体器件。所述滑块3的顶面中部设置凹槽20，该凹槽20靠近滑动挡沿10，在凹槽20内以可转动方式安装着起弹片15，且在起弹片15的下方有弹性件19安装在凹槽20内。所述起弹片15的转动轴心设置在靠近滑动挡沿10的一侧，即起弹片15可以绕着其前边沿转动。起弹片15的作用在于当滑动挡沿10移开时将半导体器件弹起，方便人们卸下半导体器件。所述固定杆8等间距设置在导轨2下部，且滑块3在相邻的两个固定杆8之间移动。滑块3只能在一定范围内移动，在导轨2上设置多个固定杆8既不影响滑块3的移动，又可以增加对导轨2的支撑，防止导轨2变形，有利于保证该装置的精准度。

本实用新型设计了一种用于大功率半导体器件的高可靠滑动定位块，该装置设置了带有固定挡沿和滑动挡沿的滑块，在伸缩杆的作用下，滑动挡沿将半导体器件固定在滑块上，防止在加工过程中半导体器件松动。滑块的移动依靠摆杆的摆动，由于摆杆的左端短于右端，因此啮合轮带动摆杆移动时，滑块以更小的行程移动，这有利于减少移动误差，提高移动精准度，使半导体器件准确地处于预设位置，有利于提高半导体的加工精度。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。