专利名称：喷墨头的制造方法及电极形成方法
技术领域：
本发明的实施方式涉及喷墨头的制造方法及电极形成方法。
背景技术：
喷墨头随着施加电压而使压电部件变形，从而喷出油墨。在压电部件上形成有用于向压电部件施加电压的电极。电极可以通过电解镀(電解> y ^ )形成在压电部件上。在先专利文献专利文献专利文献I :日本特开2003-341073号公报作为形成压电部件的材料，有时使用铅，有时不使用铅。不使用铅的压电部件一般与使用铅的压电部件相比电阻率较小。当通过电解镀在不使用铅的压电部件上形成电极时，恐怕在压电部件中的不形成电极的区域上会有微电流流过，从而导致析出镀层。
发明内容
本发明第一方面的喷墨头的制造方法，通过无铅压电部件随着被施加驱动电压的变形来喷出油墨，在所述喷墨头的制造方法中，在所述无铅压电部件上形成第一导电图案， 至少在所述无铅压电部件中的形成所述第一导电图案的区域以外的区域形成绝缘层，通过电解镀在所述第一导电图案上形成第二导电图案，从而形成用于施加所述驱动电压的电
极。
图I是第一实施方式的喷墨头的截面图。
图2是第一实施方式的喷墨头的截面图。
图3是用于说明第一实施方式的喷墨头的动作的图。
图4是用于说明第一实施方式的喷墨头的动作的图。
图5是表示第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图6是表示第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图7是表示第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图8是表示第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图9是表示第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图10是油墨供给装置的概略图。
图11是第二实施方式的喷墨头的外观图。
图12是第二实施方式的喷墨头的截面图。
图13是第二实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图14是第二实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图15是第二实施方式的喷墨头的制造工序的图。
3
图16是第二实施方式的喷墨头的制造工序的图。图17是第三实施方式的喷墨头的外观图。图18是第三实施方式的喷墨头的截面图。图19是表示第三实施方式的压电部件的驱动部的结构的图。图20是表示第三实施方式的压电部件的驱动部的形成工序的图。图21是表示第三实施方式的压电部件的驱动部的形成エ序的图。图22是表示第三实施方式的压电部件的驱动部的形成エ序的图。图23是表示第三实施方式的压电部件的驱动部的形成ェ序的图。
具体实施例方式(第一实施方式)对第一实施方式中的喷墨头进行说明。利用图I和图2，对喷墨头I的构造进行说明。图I是喷墨头的截面图。图2是与图I的纸面直交的面的喷墨头的截面图。喷墨头I具有基板10。基板10通过层压两个压电部件11、12而形成。作为压电部件11的材料，可以使用不含铅的材料、具体而言可以使用铌酸系列介电材料。作为铌酸系列介电材料，例如有铌酸钠、铌酸钾、铌酸钠钾。作为压电部件12的材料，可以使用与压电部件11相同的材料、或也可以使用与压电部件11的材料不同的材料。如图2所示，对两个压电部件11、12进行极化处理，两个压电部件11、12的极化方向P1、P2彼此不同。箭头Pl的方向是压电部件11的极化方向，箭头P2的方向是压电部件 12的极化方向。用电极50覆盖构成压力室13的压电部件11、12。基板10具有压力室13。如图2所示，多个压力室13沿一个方向排列。压力室13 由压电部件11、12构成，构成压力室13的压电部件11、12相当于驱动部。在压力室13的内壁面上形成有电极。电极用于向构成压力室13的压电部件11、 12施加电压。形成在压力室13内壁面上的电极通过形成于基板10表面上的电极与驱动电路连接。驱动电路以规定的驱动模式向压电部件11、12施加电压。框部件20被设置在基板10的表面上，框部件20挡住一部分压力室13。框部件 20具有开口部21，开口部21与压力室13连接。盖部件30被固定在框部件20上。盖部件30具有开口部31，开口部31与框部件 20的开口部21连接。开口部21、31成为向压力室13引导油墨的通道。开口部31通过软管与油墨容器(ink tank)连接。喷嘴板40被固定于基板10的端面，喷嘴板40挡住压力室13。喷嘴板40也被固定在框部件20和盖部件30上。喷嘴板40具有喷嘴41，喷嘴41与压力室13连接。与每个压力室13对应地设置喷嘴41。以下，利用图3和图4对喷墨头I的动作进行说明。如果从电极50向构成压力室 13的压电部件11、12施加电压，则如图3和图4所示，可以使压电部件11、12变形。在图3所示的状态下，由于压电部件11、12的变形，压力室13A的容积增加。由于使压力室13A的容积增加，从而可以将油墨吸入压力室13A的内部。即，油墨通过开口部 31、21向压力室13A移动。与压力室13A相邻的压力室13B的容积因压电部件11、12的变形而减少。在图4所示的状态下，压力室13A的容积因压电部件11、12的变形而减少。通过减少压力室13A的容积,从而可以使压力室13A的内压上升,从而喷出被吸入压力室13A内的油墨。压力室13A内的油墨通过喷嘴41向喷墨头I的外部喷出。与压力室13A相邻的压力室13B的容积因压电部件11、12的变形而增加。以下，利用图5至图9对喷墨头I的制造方法进行说明。首先，如图5所示，通过层压平板状的压电部件11、12来形成基板10。正如利用图2所说明的那样，压电部件11、12向箭头P1、P2的方向极化。在基板10的表面形成玻璃涂层(绝缘层)70。玻璃涂层70形成在压电部件11的表面，在本实施方式中，形成在基板 10的整个表面上。作为构成玻璃涂层70的玻璃涂层剂，可以使用例如墨东化成公司生产的 SIRAGUSITAL (墨束化成裂乃'> 9夕'' '> 夕一卟)。· ·玻璃涂层70可以利用众所周知的方法形成在基板10上。具体可以利用干法涂层或湿法涂层形成玻璃涂层70。形成玻璃涂层70时的温度如果过高，则担心基板10(压电部件11、12)会劣化，所以考虑到这点，优选形成玻璃涂层70。例如，可以使形成玻璃涂层70 的温度小于等于基板10(压电部件11、12)的居里温度的一半。然后，如图6所示，在形成有玻璃涂层70的基板10上形成多个槽71。槽71相当于压力室13。可以利用例如玻璃刀形成槽71。考虑喷墨头I的结构等，可以适当地设置形成槽71的位置、数量。在本实施方式中，多个槽71沿一个方向排列形成，且设置有两列多个槽71的列。然后，在玻璃涂层70的整个表面上涂敷抗蚀剂并进行曝光和显影，以使抗蚀剂只残留在未形成电极的区域。然后，进行电镀的前处理，从而在形成电极的区域形成电镀芯。 如果剥离抗蚀剂，则电镀芯只存在于形成电极的区域。在本实施方式中，虽然在形成了槽71之后涂敷抗蚀剂，但也可以在形成槽71之前涂敷抗蚀剂。具体地说，在玻璃涂层70的整个表面上涂敷抗蚀剂之后，进行曝光和显影，以使抗蚀剂只残留在未形成电极的区域。然后，可以在形成电极的区域的规定位置形成槽71。在使用液体抗蚀剂的情况下，优选在涂敷抗蚀剂之后形成槽71。如果在形成了槽 71之后涂敷液体抗蚀剂，则导致液体抗蚀剂将堵塞槽71，有时难以去除抗蚀剂。在形成了槽71之后涂敷液体抗蚀剂时，优选使用干膜抗蚀剂或电沉积抗蚀剂。如果使用干膜抗蚀剂或电抗蚀剂，则可以防止抗蚀剂堵塞槽71。然后，通过进行无电解Ni电镀，从而在存在电镀芯的区域形成有镍的第一导电图案72(参考图7)。第一导电图案72的区域Al形成在槽71上，与压电部件11、12接触。第一导电图案72的区域Al相当于图3中说明的电极50。第一导电图案72的区域A2形成在槽71以外的规定区域上，形成于玻璃涂层70的表面。即，玻璃涂层70处于第一导电图案 72(区域A2)和压电部件11之间。然后，通过电解镀，在第一导电图案72的表面形成第二导电图案72 (镀金)73。通过这样，可以在基板10的表面上形成用于向压电部件11、12施加驱动电压的电极50、74。 电极50、74是层压第一导电图案72和第二导电图案73的结构。电极50是相当于图7所示的区域Al的部分的电极，电极74是相当于图7所示的区域A2的部分的电极。通过形成第二导电图案72 (镀金)73，从而可以降低电极50、74的电阻值，并可防止电极50、74的电阻值变化。另外，为了防止形成氧化膜，而可以使用镀金。只要一部分与第一导电图案72连接，就容易进行电解镀。与第一导电图案72连接的部分在电解镀之后清除即可。然后，如图8所示，在电极50、74的上面配置两个框部件80。每个框部件80沿着槽71 (电极50)的列配置。框部件80具有两个开口部81，在各开口部81的内侧具有槽 71 (电极50)的列。框部件80相当于在图I中说明的框部件20，开口部81相当于框部件 20的开口部21。如果沿着三条截断线CL截断图8所示的部件，就能得到图9所示的结构体。在图 9中，如果将盖部件30固定在框部件20上，就能得到图I中说明的喷墨头I。如图9所示， 如果向框部件20的开口部21供给油墨，就可以向位于开口部21内侧的多个槽71 (压力室 13)供给油墨。根据本实施方式，通过电解镀在第一导电图案72上形成第二导电图案73时，第一导电图案72以外的区域被玻璃涂层70覆盖。在压电部件11被玻璃涂层70覆盖的状态下进行电解镀，从而可以防止镀层向第一导电图案72以外的区域析出。尤其是在密集地形成第一导电图案72时，可以明显地防止镀层的析出。压电部件11由不含铅的材料形成，其与通过PZT形成的电压部件相比电阻率较小。在这里，在不形成玻璃涂层70且压电部件11露出的状态下，如果要通过电解镀形成第二导电图案73，则担心在未形成第一导电图案72的区域有弱电流流过，从而导致析出镀层。在本实施方式中，由于利用玻璃涂层(绝缘层)70覆盖第一导电图案72以外的区域， 从而可以防止微电流在第一导电图案72以外的区域流过，并可以防止析出镀层。另外，在通过无电解镀形成第一导电图案72之前，通过用玻璃涂层70覆盖压电部件11的表面，从而可以防止无电解镀的前处理液渗入压电部件11的粒子之间。通过防止前处理液渗入压电部件11的粒子之间，从而可以将电极74只形成在规定的区域。由于玻璃涂层70是比压电部件11更致密的材质，因此可以防止电镀渗出。在本实施方式中，虽然使用了玻璃涂层剂作为玻璃涂层70的材料，但也可以使用其他材料。作为涂层70的材料，例如可以使用聚酰亚胺(PI)这样的有机材料。在通过电解镀形成第二导电图案73时，为了防止在第一导电图案71以外的区域析出镀层，只要涂层 70的材料具有绝缘性即可。在通过电解镀形成第一导电图案72时，为了防止前处理液渗入、镀层渗出，玻璃涂层70只要是比压电部件11更致密的层即可。如果考虑喷墨头I的制造工序，则优选耐无电解镀以外的处理(例如蚀刻)的玻璃涂层70。另外，在使用喷墨头时，由于与油墨接触，因此优选耐油墨的玻璃涂层70。在本实施方式中，在基板10的整个表面形成有玻璃涂层70，也可以只在基板10的一部分区域形成玻璃涂层70。具体地说，可以至少在形成电极74的区域形成玻璃涂层70。形成电极50、74的方法并不仅限于本实施方式中说明的方法。只要在槽71的表面形成有电极50，在槽71以外的区域形成有电极74即可。例如，在图6所示的状态下，对玻璃涂层70的整个表面进行无电解镀。然后，在形成电极50、74的区域形成掩膜，可以利用蚀刻去除未形成电极50、74的区域的电镀。在本实施方式中，在通过无电解镀形成第一导电图案72之前形成了玻璃涂层70， 但也可以在形成第一导电图案72之后，在第一导电图案72以外的区域形成玻璃涂层70。如果在形成第一导电图案72之后，在第一导电图案72以外的区域形成玻璃涂层70，就可以在通过电解镀形成第二导电图案73时，防止在第一导电图案72以外的区域析出镀层。(第二实施方式)对第二实施方式的喷墨头进行说明。利用图10对向本实施方式的喷墨头I供给油墨的油墨供给装置100进行说明。第一油墨容器111通过软管101与喷墨头I的油墨供给口 Ia连接。在第一油墨容器111中收容油墨I，通过第一泵121的动作(压力调整)，将第一油墨容器111内的油墨I通过软管101提供给油墨供给口 la。第一泵121通过软管102与第一油墨容器111连接。第一油墨容器111内的气压由第一泵121调整，以保持处于高于大气压的状态。可以将第一油墨容器111内的油墨I 通过软管101提供给喷墨头I。标注在第一泵121上的箭头表示通过第一泵121的动作使空气移动的方向。第二油墨容器112通过软管103与喷墨头I的油墨排出口 Ib连接，从油墨排出口 Ib排出的油墨被收容在第二油墨容器112中。第二油墨容器112内的油墨I通过输送泵 122的动作穿过软管105被导向第一油墨容器111。油墨I以第一油墨容器111、喷墨头I 及第二油墨容器112的路径循环。标注在输送泵122上的箭头表示随着输送泵122的动作油墨I的移动方向。第二泵123通过软管104与第二油墨容器112连接。第二泵123对第二油墨容器 112内的气压进行调整以保持处于低于大气压的状态。标注在第二泵123上的箭头表示通过第二泵123的动作(压力调整)使空气移动的方向。驱动电路130向喷墨头I发送驱动信号。喷墨头I接收来自驱动电路130的驱动信号后喷出油墨。以下，对本实施方式的喷墨头的构造进行说明。图11是本实施方式的喷墨头的外观图。图12是图11的Xl-Xl截面图。在图11和图12中，X轴、Y轴和Z轴是彼此直交的轴。在基板10的上面设置有驱动部14。驱动部14通过层压两个压电部件11、12而构成。基板10例如可以由氧化铝、铌酸系列介电材料形成。压电部件11、12例如可以由铌酸系列介电材料形成。与第一实施方式同样地，压电部件11、12被向彼此相反方向极化。如图11所示，多个驱动部14沿Y方向排列，设置有两个由多个驱动器14构成的列。在Y方向相邻的两个驱动部14之间具有压力室，可以通过使两个驱动部14的变形而变化压力室的容积。驱动部14的动作与在图3和图4中说明过的情况相同。在构成压力室的驱动部14的壁面上形成有电极。如果通过电极向驱动部14施加电压，则可以使驱动部14变形。如果由于驱动部14的变形使压力室的容积增加，则可以将油墨吸入压力室。如果由于驱动部14的变形使压力室的容积减少，则可以喷出油墨。基板10具有供给口 IOa和排出口 10b。供给口 IOa位于在X方向上相邻的两个驱动部14之间。排出口 IOb相对于驱动部14位于供给口 IOa侧的相反侧。在基板10的上面配置有框部件20，框部件20包围多个驱动部14。在驱动部14和框部件20的上面固定有喷嘴板40。喷嘴板40具有多个喷嘴41,与压力室对应地设置各喷嘴41。如图11所不，多个喷嘴41沿Y方向排列，且设置有两个由多个喷嘴41构成的列。在本实施方式中，虽然设置有两列沿Y方向排列的多个喷嘴41，但可以只设置一列沿Y方向排列的多个喷嘴41。可以适当地设定喷嘴41的数量。以下，对本实施方式的喷墨头的动作进行说明。图12所示的箭头表示油墨的移动方向。油墨从供给口 IOa向喷墨头I的内部移动。通过了供给口 IOa的油墨相对于供给口 IOa继续沿X方向向两侧移动。来自供给口 IOa的油墨向压力室移动。如果油墨在压力室内时驱动部14发生变形，则压力室内的油墨就可以通过喷嘴41向喷墨头I的外部喷出。 通过了压力室的油墨向基板10的排出口 IOb移动。如果油墨从供给口 IOa向排出口 IOb移动，则即使在喷墨头I的内部产生气泡，由于油墨的移动也可以将气泡排出至喷墨头I的外部。另外，如果油墨从供给口 IOa继续向排出口 IOb移动，则可以阻止喷墨头I的内部的油墨的温度变化。以下，利用图13至图16对喷墨头I的制造方法进行说明。如图13所示，在基板10的表面形成驱动部14。例如可以在层压两个压电部件11、 12之后将驱动部14加工成图13所示的形状。与第一实施方式同样地在基板10和驱动部 14的表面形成玻璃涂层70。玻璃涂层70是比压电部件11、基板10更致密的层。在本实施方式中，在基板10和驱动部14的整个表面形成玻璃涂层70。在本实施方式中，作为玻璃涂层70的材料，除了玻璃涂层剂材料以外，例如可以使用聚酰亚胺(PI) 等有机材料。在形成玻璃涂层70时，优选使用干法涂层。在用湿法涂层形成玻璃涂层70时，涂层剂容易积存在驱动部14的基端部分。然后，在玻璃涂层70的整个表面涂敷抗蚀剂，并进行曝光和显影，以使抗蚀剂只留在未形成电极50、74的区域。然后，在图14所示的驱动部14形成槽(压力室)13。如图15所示，通过形成许多槽13，从而可以形成沿Y方向排列的多个驱动部14。然后，在未形成抗蚀剂的区域和槽13 上通过无电解镀形成第一导电图案72。然后，利用电解镀在第一导电图案72上形成第二导电图案73，从而可以形成电极 50、74。电极50、74是层压了第一导电图案72和第二导电图案73而成的结构。电极50是沿槽13的壁面形成的电极，其与驱动部14接触。电极74形成在槽13以外的区域，在电极 74与基板10之间存在玻璃涂层70。如图16所示，如果准备两个图15所示的结构体，则可以形成一部分喷墨头I。在基板10上形成有排出口 10b。即使在本实施方式中，在通过电解镀形成第二导电图案73时，也可以用玻璃涂层 70覆盖第一导电图案72以外的区域，从而可以防止在进行电解镀时镀层向第一导电图案 72以外的区域析出。另外，在通过无电解镀形成第一导电图案72之前，在基板10、驱动部14的表面形成玻璃涂层70，从而可以防止电镀的前处理液渗入基板10、驱动部14的粒子之间。(第三实施方式)对第三实施方式的喷墨头进行说明。图17是本实施方式的喷墨头的外观图，图18
8是图17的X2-X2的截面图。在图17中，X轴、Y轴和Z轴是彼此直交的轴。X轴、Y轴和Z 轴的关系在图18至图23中是一样的。喷墨头I具有层压结构，从最上层向下层重叠有压电部件201、振动板202、腔板 (cavity plate) 203、隔板 204、联接板(manifold plate) 205、206 和喷嘴板 40。喷嘴板 40 具有多个喷嘴41。振动板202具有用于吸入油墨的供给口 209。隔板204和联接板205、206形成有与喷嘴41对应的开口部，通过这些开口部形成液体室207。液体室207内的油墨被导向喷嘴41。压电部件201被成膜在振动板202上，并被进行极化处理。在本实施方式中，极化方向是与振动板202的面垂直的方向。在压电部件201的上面(振动板202的相反侧的面)形成有与各液体室207对应的电极208。如图19所示，电极208沿X方向延伸。振动板202由导电性金属形成，振动板202和电极208将压电部件201夹在中间。在多个电极208上连接配线，从驱动部向多个电极208施加电压。如果向电极208 施加电压，则在与极化方向相同的方向上形成有电场。电极208作为正极，振动板202作为接地极。位于被施加有电压的电极208的正下方的压电部件201 (相当于驱动部)被驱动， 压电部件201向与极化方向直交的方向收缩。由于振动板202不收缩，因此振动板202和压电部件201向液体室207侧变形成凸状。如果振动板202和压电部件201向液体室207侧变形成凸状，则液体室207内的容积降低，液体室207的内压上升。由于液体室207的内压上升，所以液体室207内的油墨从喷嘴41喷出。如果停止对电极208施加电压，则压电部件201和振动板202从弯曲形状复原到平板形状，液体室207恢复到原来的容积。液体室207成为减压状态，从而油墨被吸入液体室207。以下，利用图20至图23对在压电部件201上形成电极208的方法进行说明。图 20至图23是从相同方向观察压电部件201时的图。首先，准备图20所示的平板状的压电部件201，如图21所示，在压电部件201的表面形成玻璃涂层70。玻璃涂层70是比压电部件201更致密的层。如图21所示，在压电部件201中的形成电极208的一部分区域Rl上未形成有玻璃涂层70。区域Rl是相当于电极208的一部分的区域。例如,可以在将区域Rl遮蔽(masking) 的状态下，在压电部件201的表面涂敷玻璃涂层剂。在涂敷了玻璃涂层剂之后将掩膜撕掉， 就可以形成图21所示的玻璃涂层70。然后，如图22所示，在形成有玻璃涂层70的面上通过无电解镀形成第一导电层 75。第一导电层75通过镀镍形成。第一导电层75形成在压电部件201的整个面上。然后，通过蚀刻来去除第一导电层75中的形成电极208的区域以外的区域。形成电极208的区域是区域Rl和区域R2。在区域R1，第一导电层75与压电部件201接触。在区域R2，在第一导电层75和压电部件201之间存在玻璃涂层70。然后，通过电解镀，在第一导电层75的表面形成第二导电层76。在本实施方式中， 第二导电层76由镀金构成。电极208具有层压了第一导电层75和第二导电层76的结构。根据本实施方式，在通过电解镀形成第二导电层76时，由于第一导电层75以外的区域被玻璃涂层70覆盖，因此在第一导电层75以外的区域可以防止镀层因电解镀而析出。在本实施方式中，在区域R2，在第一导电层75和压电部件201之间设置有玻璃涂层70。通过设置玻璃涂层70，从而即使进行无电解镀，也可以防止电镀渗出。尤其区域R2 由于形成在彼此接近的位置，因此通过在区域R2形成玻璃涂层70，从而可以防止在彼此接近的两个区域R2之间电镀渗出。在上述实施方式中，虽然已经对喷墨头I的制造方法进行了说明，但喷墨头I的制造方法以外也可以使用本实施方式。也就是说，通过无电解镀在压电部件上形成电极时也可以使用本实施方式。虽然已经对本发明的几个实施方式进行了说明，但这些实施方式只是作为例示， 没有限制发明范围的意思。这些实施方式可以通过其他各种方式实施，在不超出发明宗旨的范围内，可以进行各种省略、替换、更改。这些实施方式及其变形落入发明范围和宗旨内， 同样落入权利要求记载的范围所述的发明及其同等范围内。符号说明
I喷墨头10基板
11压电部件12压电部件
13压力室20框部件
21开口部30盖部件
31开口部40喷嘴板
41喷嘴50电极
权利要求
1.一种喷墨头的制造方法，所述喷墨头通过无铅压电部件随着被施加驱动电压的变形来喷出油墨，所述喷墨头的制造方法的特征在于，在所述无铅压电部件上形成第一导电图案，至少在所述无铅压电部件中的形成所述第一导电图案的区域以外的区域形成绝缘层， 通过电解镀在所述第一导电图案上形成第二导电图案，从而形成用于施加所述驱动电压的电极。
2.根据权利要求I所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，在形成了所述绝缘层之后，在所述绝缘层上形成所述第一导电图案。
3.根据权利要求2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述绝缘层是比所述无铅压电部件致密的层。
4.根据权利要求I至3中任一项所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，通过无电解镀形成所述第一导电图案。
5.根据权利要求I至3中任一项所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述无铅压电部件由铌酸系列介电材料形成。
6.根据权利要求I至3中任一项所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，利用玻璃涂层剂形成所述绝缘层。
7.一种电极形成方法，其是在所述无铅压电部件上形成用于向无铅压电部件施加电压的电极的方法，所述电极形成方法的特征在于，在所述无铅压电部件上形成第一导电图案；至少在所述无铅压电部件中的形成所述第一导电图案的区域以外的区域形成绝缘层；以及通过电解镀在所述第一导电图案上形成第二导电图案，从而形成所述电极。
全文摘要
一种喷墨头的制造方法及电极形成方法。通过电解镀在压电部件上形成电极。通过无铅压电部件随着被施加驱动电压的变形来喷出油墨，其中，在所述无铅压电部件上形成第一导电图案，至少在所述无铅压电部件中的形成所述第一导电图案的区域以外的区域形成绝缘层，通过电解镀在所述第一导电图案上形成第二导电图案，从而形成用于施加所述驱动电压的电极。
文档编号B41J2/16GK102582261SQ2011104183
公开日2012年7月18日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年1月17日
发明者下里正志 申请人:东芝泰格有限公司