专利名称：液体喷射头及液体喷射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及从喷嘴吐出液体而在被记录介质形成图像、字符或者薄膜材料的液体喷射头、使用该液体喷射头的液体喷射装置。
背景技术：
近年来，将墨滴吐出至记录纸等而描绘字符、图形，或者将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头得到利用。该方式将墨、液体材料从液体罐经由供给管供给至液体喷射头，并使填充于通道的墨、液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出墨时，使液体喷射头、记录喷射的液体的被记录介质移动，记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。例如在专利文献I中记载有这种液体喷射头。图9是示出专利文献I所记载的打印头101的墨的流路的概略的图(专利文献I的图2)。在打印头101的下部设置有向下方吐出墨的墨吐出喷嘴201、以及将墨供给至该墨吐出喷嘴201的喷嘴液室202。在打印头101的上部的右侧设置有将墨供给至喷嘴液室202的出(OUT)液室301、以及将墨经由头过滤器203供给至出液室301的进(IN)液室204。垂直或者倾斜地配置头过滤器203。压送至管114的墨流入至进液室204的下部，并从进液室204的上部流出至管115。出液室301与进液室204之间设置有头过滤器203，构成为墨经由管114、进液室204及管115而进行循环。另外，相对于喷嘴液室202将出液室301设置于上方。由此，清洗时气泡不通过头过滤器203，而利用气泡的浮力随着墨的循环排出至外部。因此，与以往比较能够显著地减少循环清洗所使用的墨流量。专利文献1:日本特开2004-351641号公报。
发明内容
在上述现有例中，设置于进液室204与出液室301之间的头过滤器203是为了除去混入至墨的尘埃而设置的。然而，如果在墨流入部与墨吐出喷嘴201之间插入头过滤器203，则流入的墨的压力损失变大，示出用于稳定地吐出墨的条件范围的打印稳定区域变窄。例如，能够稳定地打印的电压范围变窄。另外，随着使用打印头101，气泡附着并积累于头过滤器203的进液室204，头过滤器203的有效面积下降而在喷嘴液室202侧产生墨的供给不足。而且，积累于进液室204的气泡穿过头过滤器203而流出至喷嘴液室202，成为点缺少等打印质量下降的原因。本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于提供防止由于打印稳定区域变窄，或气泡积累等导致吐出特性变差的液体喷射头。本发明的液体喷射头具备头芯片，层叠形成有液体吐出用的通道的致动器基板和形成用于将液体供给至所述通道的液体供给室的盖板；以及流路部件，设置于所述盖板并将液体供给至所述液体供给室，所述流路部件具备流入液体的流入口、流出液体的流出口、以及使液体从所述流入口至所述流出口循环的循环路，过滤器不介于所述流入口或所述流出口与所述通道之间的任意流路。另外，在所述致动器基板的所述盖板一侧的表面排列有多个所述通道，所述液体供给室与所述通道连通并在所述通道的排列方向形成为长尺状，所述循环路与液体流动的方向正交的方向的截面积比与所述液体供给室的长度方向正交的方向的截面积更大。另外，所述液体供给室在所述盖板的所述流路部件侧的表面开口，所述循环路在所述流路部件的所述盖板侧的表面开口，并且所述循环路的开口以与所述液体供给室的开口重叠的方式设置。另外，与所述循环路的液体流动的方向正交的方向的截面积从上游侧向下游侧逐渐变小。另外，所述头芯片具有层叠第一头芯片和第二头芯片的结构。另外，所述第一头芯片和所述第二头芯片具有致动器基板彼此相对并接合的对称结构，所述流路部件包含设置于所述第一头芯片的第一流路部件、以及设置于所述第二头芯片的第二流路部件，所述头芯片具备从所述第一流路部件一侧贯通至所述第二流路部件一侧的流入贯通孔和流出贯通孔，并且所述第二流路部件经由所述流入贯通孔从所述第一流路部件流入液体，并经由所述流出贯通孔将液体流出至所述第一流路部件。另外，所述第一头芯片和所述第二头芯片具有致动器基板彼此相对并接合的对称结构，所述流路部件包含设置于所述第一头芯片的第一流路部件、以及设置于所述第二头芯片的第二流路部件，并且所述第一流路部件和所述第二流路部件具有夹着所述第一及第二头芯片对称的结构。另外，在重力方向上所述循环路比所述液体供给室靠上方位置设置。本发明的液体喷射装置具备上述任一个所记载的液体喷射头、使所述液体喷射头往复移动的移动机构、将液体供给至所述液体喷射头的液体供给管、以及将所述液体供给至所述液体供给管的液体罐。本发明的液体喷射头具备头芯片，层叠形成有液体吐出用的通道的致动器基板和形成用于将液体供给至通道的液体供给室的盖板；以及流路部件，设置于盖板并将液体供给至液体供给室，流路部件具备流入液体的流入口、流出液体的流出口、以及使液体从流入口至流出口循环的循环路，过滤器不介于流入口或流出口与通道之间的任意流路。由此，混入流入的液体中的气泡、尘埃经由循环路从流出口流出。另外，因为过滤器不介于流入口或流出口与通道之间，所以能够提供防止气泡积累于过滤器而流路截面积逐渐减少，或由于过滤器的压力损失吐出稳定区域缩小的情况的液体喷射头。
图1是表示本发明所涉及的液体喷射头的基本结构的概念图。图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的分解立体图。图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的纵截面示意图。图4是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的头芯片部的纵截面示意图。图5是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的立体图。图6是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的头芯片部的纵截面示意图。图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的头芯片部的纵截面示意图。
图8是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性的立体图。图9是示出现有公知的打印头的墨的流路的概略的图。附图标记说明
I液体喷射头；2头芯片；3致动器基板；4盖板；5通道；6液体供给室；7流路部件；8流入口 ；9流出口 ；10循环路；11喷嘴；12连通口 ；13喷嘴板；14流入连接部；15流出连接部；25头芯片部；30液体喷射装置。
具体实施例方式图1是表示本发明所涉及的液体喷射头I的基本结构的概念图。液体喷射头I具备头芯片2、以及设置于盖板4并将液体供给至液体供给室6的流路部件7，其中，头芯片2具备形成有液体吐出用的多个通道5的致动器基板3、以及形成有用于将液体供给至这些通道5的液体供给室6的盖板4。流路部件7具备流入液体的流入口 8、流出液体的流出口 9、从流入口 8至流出口9使液体循环的循环路10、以及用于将液体供给至液体供给室6的连通口 12。液体经由连通口 12从流路部件7供给至盖板4的液体供给室6。从液体供给室6供给至各通道5的液体从致动器基板3的喷嘴11吐出。过滤器不介于流入口 8与多个通道5之间、或流出口 9与多个通道5之间的任意流路。由于该结构，混入从流入口 8流入的液体中的气泡、尘埃经由循环路10从流出口9流出。而且，因为过滤器不介于流入口 8、流出口 9与多个通道5之间，所以能够防止气泡积累于过滤器而流路截面积逐渐减少，或由于过滤器的压力损失示出用于使液体稳定地吐出的条件范围的吐出稳定区域缩小的情况。此外，虽然在图1所示的液体喷射头I中经由连通口 12连续地形成有流路部件7的循环路10和液体供给室6，但本发明不限于该方式，也可以在流路部件7的循环路10与盖板4的液体供给室6之间设置分离壁，并在该分离壁设置使循环路10与液体供给室6连通的连通口 12。在该情况下，如果在流入口 8 一侧与流出口 9 一侧这两侧设置连通口 12，则能够使液体供给室6作为循环路起作用。此外，如图1所示，由于通过连续地形成液体供给室6和循环路10而液体供给室6也作为循环路起作用，所以能够进一步发挥本发明的效果O另外，如果使与循环路10的液体流动的方向正交的方向的截面积SI比与液体供给室6的通道5排列的方向正交的方向的截面积S2更大，则与液体供给室6相比更多的液体流过循环路10 (液体供给室6在通道5排列的方向具有长尺状的细长形状)。因此，从流入口 8流入的气泡、尘埃经由循环路10从流出口 9流出，气泡、尘埃难以堵塞于喷嘴11。另外，如果在重力方向上将循环路10比所述液体供给室6靠上方位置设置，则t匕液体轻的气泡不流入液体供给室6，而经由循环路10从流出口 9流出。因此，与以往相比能够大幅度地减少清洗时的液体的废弃量。此外，在以喷嘴11相对于未图示的被记录介质位于重力方向的下方位置的方式配置液体喷射头I的情况下，通过以相对循环路10位于重力方向的上方位置的方式配置流出口 9，能够更有效地将气泡从液体供给室6、循环路10排除。在该情况下，关于流入口 8与循环路10连通的方向，以怎样的方向连接都可以。该具体的方式记载于以下的第一实施方式。
(第一实施方式)
图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头I的示意性的分解立体图。如图2所示，液体喷射头I包括致动器基板3、接合于致动器基板3上的盖板4、以及接合于盖板4上的流路部件7。在致动器基板3的表面形成有平行的多个槽。通过将盖板4接合至致动器基板3而构成通道5。致动器基板3和盖板4的各前方端面接合有具有与各通道5连通的喷嘴11的喷嘴板13。液体供给室6设置于盖板4的后方一侧，与各通道5的后方端连通，能将液体供给至各通道5。液体供给室6在流路部件7—侧开口。在致动器基板3及盖板4的前方端接合有喷嘴板13。头芯片2由致动器基板3、盖板4和喷嘴板13构成。在喷嘴板13形成有多个喷嘴11，各喷嘴11分别与通道5连通。邻接的通道5由侧壁16隔开，在侧壁16的侧面形成有驱动电极。驱动电极与形成于致动器基板3的后方端的表面的电极端子17电连接。在流路部件7的内部形成有循环路10和其他流路(例如流入口 8与液体供给室6之间的流路)，在流入口 8设置有流入连接部14，在流出口 9设置有流出连接部15。循环路10在盖板4 一侧开口。以循环路10的开口与液体供给室6的开口重叠的方式接合流路部件7与盖板4。因此，循环路10与液体供给室6相接，液体供给室6也具有将液体供给至通道5的功能和作为使从流入口 8流入的液体流出至流出口 9的循环路的功能。液体喷射头I如下地进行动作。从未图示的液体存积部供给至流入连接部14的液体，例如墨，从与流入连接部14连通的流入口 8引入至流路部件7。引入至流路部件7的液体的一部分流入液体供给室6，供给至各通道5。引入至流路部件7的液体的残余流过循环路10而流出至流出口 9，经由流出连接部15返回未图示的液体存积部。然后，由未图示的驱动部生成的驱动信号供给至致动器基板3的电极端子17，并施加至形成于侧壁16的侧面的驱动电极。侧壁16按照施加的驱动信号而变形，通道5的内容积变化，填充至通道5的液体从喷嘴11吐出。在本第一实施方式中，液体从流入口 8的X方向向循环路10流入，沿流出口 9的-X方向流出，并从喷嘴11沿X方向吐出。另外，由于通道5沿y方向排列，所以液体供给室6在I方向具有长的长尺状的形状。流路部件7的循环路10与液体供给室6同样在y方向具有长的长尺形状。在液体喷射头I中，液体的流入、流出的方向和液滴的吐出方向全都为X方向，并且能够较薄地形成与液体的流入、流出及吐出方向正交的z方向的厚度。在此，如果与液体供给室6的长度方向正交的Xz平面的截面积S2相比更大地形成与循环路10的液体流动的方向正交的XZ平面的截面积SI，则循环路10的流路截面积比液体供给室6的流路截面积大。因此，即使在气泡、尘埃混入至从流入口 8流入的液体中的情况下，与液体供给室6相比，液体更多地流过循环路10并从流出口 9流出。因此，气泡、尘埃难以滞留于液体供给室6，从而降低堵塞喷嘴11而成为点缺少的缺陷的发生。另外，如果在重力方向上将循环路10比液体供给室6靠上方位置设置，则从流入口 8流入的气泡流过上方位置的循环路10并从流出口 9流出，而不浸入至液体供给室6。因此，能够消除气泡堵塞于喷嘴11而成为点缺少的缺陷的发生。例如在相对于重力方向以X方向为下方、-X方向为上方的方式设置液体喷射头I的情况下，将循环路10的上端kl形成为相对液体供给室6的上端k2位于上方位置。由此，能够以从流入口 8流入的气泡流过循环路10，而不流入液体供给室6的方式构成。此外，在本实施方式中，虽然示出了喷嘴11的配置沿通道5的并列方向呈一直线的方式，但喷嘴的配置也能为锯齿形排列，也能采用三个喷嘴11沿通道5的深度方向以期望的距离互相错开位置，该喷嘴群成为一组并驱动的方式(三周期型，three cycle type)。另外，在本实施方式中，虽然示出了全部的通道5与液体供给室6连通的方式(壁共有型)，但也能在通道5之中形成供给液体的通道和不供给液体的通道。在该情况下，液体供给室6在通道5开口的位置设有狭缝，该狭缝以在想要供给液体的通道5开口的方式形成。因为壁共有型难以从相邻的通道同时吐出液体，所以适当地采用这些变形例即可。(第二实施方式)
图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头I的纵截面示意图。其相当于图2所示的AA部分的纵截面。与第一实施方式不同的部分是形成于流路部件7的循环路10的形状，其他部分与第一实施方式相同。如图3所示，液体喷射头I具备致动器基板3、盖板4及流路部件7层叠的结构。致动器基板3具备并列于其上表面的多个通道5，各通道5与形成于盖板4的液体供给室6连通。头芯片2由致动器基板3和盖板4构成。流路部件7具备在头芯片2侧的表面开口的循环路10，并且在-X方向的端面的-y方向侧具备流入口 8，在-X方向的端面的+y方向侧具备流出口 9，其中流入口 8和流出口9分别与循环路10连通。而且，循环路10具有与液体的流动(向+y方向的流动)正交的方向的截面积Sx从流入口 8的一侧向流出口 9的一侧逐渐变小的形状。此外，与液体供给室6的长度方向正交的方向的截面积S2比从流入口 8侧向流出口 9侧缓缓变小的截面积Sx(最小的截面积Sx)小。由此，在从喷嘴11吐出液体的情况下，虽然液体随着沿y方向流动而消耗，但由于循环路10的流路截面积从液体的流入侧向流出侧变窄，所以能够将循环路10内的流速与各通道5的内部压力从流入侧至流出侧维持在既定值以上。其结果是，能够从液体的流入侧的通道至流出侧的通道均等化液体的吐出条件。另外，能够使混入循环路10中的气泡、尘埃不滞留于循环路10而向流出口 9流出。(第三实施方式)
图4及图5是用于说明本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头I的图，其中，图4是头芯片部25的纵截面示意图，图5是将头芯片部25组装于基体21的液体喷射头I的立体图。对相同的部分或具有相同功能的部分标记了相同的标号。如图4所示，在头芯片部25中，第一头芯片2a和第二头芯片2b具有使致动器基板3a、3b彼此相对并接合的对称结构。即，第一头芯片2a中，在表面形成有液体吐出用的通道5a的致动器基板3a和具备用于将液体供给至通道5a的液体供给室6a的盖板4a接合。第二头芯片2b中，在表面形成有液体吐出用的通道5b的致动器基板3b和具备用于将液体供给至通道5b的液体供给室6b的盖板4b接合。而且，致动器基板3a和致动器基板3b使通道5a、5b的相反侧的表面彼此相对并接合。而且，从形成于盖板4a的液体供给室6a的一个端部到形成于盖板4b的液体供给室6b的一个端部，形成有贯通2块致动器基板3a、3b的流入贯通孔18。另外，从液体供给室6b的另一个端部到液体供给室6a的另一个端部，形成有贯通2块致动器基板3b、3a的流出贯通孔19。流路部件7a具备流入口 8、流出口 9和在盖板4a侧开口的循环路10a，并以循环路IOa的开口部与液体供给室6a的开口部重叠的方式接合至盖板4a的表面。流路部件7b具备循环路10b，并以循环路IOb的开口部与液体供给室6b的开口部重叠的方式接合至盖板4b的表面。从流路部件7a的流入口 8流入的液体填充至盖板4a的液体供给室6a,供给至致动器基板3a的各通道5a，并经由循环路IOa流出至流出口 9。而且，从流入口 8流入的液体经由流入贯通孔18供给至液体供给室6b，供给至致动器基板3b的通道5b。并且，经由循环路IOb从流出贯通孔19流出至流出口 9。如此，因为形成有2列通道5a、5b,所以能够进行高密度的记录。而且，由于在2个液体供给室6a、6b的外侧分别设置有循环路10a、10b，所以混入从流入口 8流入的液体中的气泡、尘埃经由循环路10a、IOb从流出口 9流出。而且，因为过滤器不介于流入口 8、流出口9与多个通道5a、5b之间，所以防止气泡积累于过滤器而流路截面积逐渐减少，或由于过滤器的压力损失而吐出稳定区域缩小的情况。此外，如果相对与液体供给室6a连通的通道5a的排列方向正交的方向的截面积更大地形成与循环路IOa的液体流动的方向正交的方向的截面积，则从流入口 8流入的液体比液体供给室6a更多地流过循环路10a。因此，能够使混入液体中的气泡、尘埃随着液体从流出口 9流出，难以滞留于液体供给室6a，从而降低堵塞喷嘴而成为点缺少的缺陷的发生。如果相对与液体供给室6b连通的通道5b的排列方向正交的方向的截面积更大地形成与循环路IOb的液体流动的方向正交的方向的截面积，则同样能够使气泡、尘埃从流出口 9流出，从而降低堵塞喷嘴而成为点缺少的缺陷的发生。另外，如果在重力方向上将循环路10a、10b分别比液体供给室6a、6b靠上方位置设置，则从流入口 8流入的气泡流过上方位置的循环路10a、IOb并从流出口 9流出，而不流入液体供给室6a、6b。例如，将+X方向作为相对于重力方向的下方位置的方向，将-X方向作为相对于重力方向的上方位置的方向。然后，相对于液体供给室6a、6b以向-X方向突出的方式形成循环路10a、10b即可。此外，形成有流入贯通孔18和流出贯通孔19的位置只要在位于多个通道5的最外侧的通道5与在y方向的致动器基板3a、3b的端部之间，无论哪里都可以，另外，如图4所示，即使与液体供给室6a、6b直接连通也无妨，并且也能在盖板4a、4b设置隔壁与液体供给室6a、6b隔开。在与液体供给室6a、6b隔开的情况下,在盖板4a、4b中需要与流入贯通孔18和流出贯通孔19连通的未图示的孔部，且该孔部分别连通至循环路10a、10b。如图5所示，将头芯片部25组装于基体21。在头芯片部25设置有液体的流入用的流入连接部14和使液体流出并循环的流出连接部15。在基体21设置有散热板22和电路基板23。头芯片部25与散热板22之间、以及散热板22与电路基板23之间通过柔性基板20电连接。在散热板22的背面安装有未图示的驱动1C，其基于来自电路基板23的信号生成驱动致动器基板3a、3b的驱动信号。这样，因为液体从流入口 8的X方向流入循环路10a、10b，沿流出口 9的-χ方向流出，并从喷嘴11沿X方向吐出，所以能够较薄地形成与X方向正交的Z方向的厚度。从而能够将多个液体喷射头I沿Z方向紧凑地配设于滑架(carriage)单元。
(第四实施方式)
图6是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头I的头芯片部25的纵截面示意图。与第三实施方式的头芯片部25不同的部分是流路部件7a、7b的结构，其他与第三实施方式相同，因此以下主要对不同的部分进行说明，对于相同的部分则省略说明。如图6所示，流路部件7a具备流入口 8和在盖板4a侧开口的循环路10a，并以循环路IOa的开口部与液体供给室6a的开口部重叠的方式接合至盖板4a的表面。流路部件7b具备在盖板4b侧开口的循环路IOb和流入口 9，并以循环路IOb的开口部与液体供给室6b的开口部重叠的方式接合至盖板4b的表面。在头芯片部2a、2b的一个端部与另一个端部形成有贯通盖板4a、致动器基板3a、致动器基板3b及盖板4b的流入贯通孔18和流出贯通孔19。因此，从流入口 8流入的液体填充至盖板4a的液体供给室6a，供给至致动器基板3a的各通道5a，并流过循环路10a。然后，从流入口 8流入的液体经由流入贯通孔18填充至液体供给室6b，供给至致动器基板3b的各通道5b，并流过循环路10b。流过循环路IOb的液体与从循环路IOa流出并流过流出贯通孔19的液体合流并从流出口 9流出。形成于头芯片部25的流路具有关于通过中心点P的纸面垂直方向的直线呈线对称的结构。因此，分别流过循环路IOa和循环路IOb的流量相等。另外，因为流路部件7a、7b与头芯片2a、2b具有相同的形状，所以能够共用，并且设计、制造变得简单。(第五实施方式)
图7是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头I的头芯片部25的纵截面模式图。与第三实施方式的头芯片部25不同的部分是流路部件7a、7b的结构和不形成流入贯通孔18及流出贯通孔19这一点，其他与第三实施方式相同，因此以下主要对不同的部分进行说明，对于相同的部分则省略说明。如图7所示，流路部件7a具备流入口 8a、在盖板4a侧开口的循环路IOa和流出口 9a。流路部件7b同样具备流入口 8b、在盖板4b侧开口的循环路IOb和流出口 ％。而且，在盖板4a、4b及致动器基板3a、3b没有形成贯通孔。即，具有使在层叠有致动器基板3a和盖板4a的头芯片2a之上层叠流路部件7a的2个层叠体翻转，以贴合致动器基板3a、3b的面Q为基准的面对称的结构。此外，流入口 8a、8b和流出口 9a、9b在y方向位于相同侧。通过这样形成，变得容易共有位于即将流入至流入口 8a、8b之前的流路管。而且，独立各层叠体而使液体循环。如果这样构成，则能够独立控制流过2个循环路10a、IOb的流量、以及供给至2个液体供给室6a、6b的液量、压力，因此能够降低2个通道5a、5b的吐出特性的偏差。另外，能够独立实施清洗等维护。(第六实施方式)
图8是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性的立体图。液体喷射装置30具备使液体喷射头1、I’往复移动的移动机构40、将液体供给至液体喷射头1、I’的供给管35、35’、从液体喷射头1、1’回收液体的回收管45、45’、将液体压送至供给管35、35’的液体泵33、33’和液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’具备多个吐出槽，并从与各吐出槽连通的喷嘴吐出液滴。液体喷射头1、1’使用已经说明的第一 第五实施方式的任一个。
液体喷射装置30具备沿主扫描方向输送纸等被记录介质44的一对输送单元41、42、将液体吐出至被记录介质44的液体喷射头1、1’、承载液体喷射头1、1’的滑架单元43、将存积于液体罐34、34’的液体按压供给至供给管35、35’的液体泵33、33’、以及使液体喷射头1、1’沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描的移动机构40。未图示的控制部控制驱动液体喷射头1、I’、移动机构40、以及输送单元41、42。一对输送单元41、42沿副扫描方向延伸，具备接触辊面且旋转的栅格辊(gridroller)和压紧棍(pinch roller)。由未图示的马达使栅格棍和压紧棍沿主扫描方向输送被转移到轴周围而夹入辊间的被记录介质44。移动机构40具备沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37、能够沿着一对导轨36、37滑动的滑架单元43、连结滑架单元43并使其沿副扫描方向移动的无接头带38、以及经由未图示的滑轮(pulley)使该无接头带38旋转的马达39。滑架单元43承载多个液体喷射头1、I’，吐出例如黄色、品红、青色(cyan)、黑色的4种液滴。液体罐34、34’存积对应的颜色的液体，将其经由液体泵33、33’、供给管35、35’供给至液体喷射头1、1’，并经由回收管45、45’将液体回收至液体罐34、34’。各液体喷射头1、I’按照驱动信号吐出各色液滴。在使液体从液体喷射头1、I’吐出的时刻，通过控制驱动滑架单元43的马达39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意的图案。因为本发明的液体喷射装置30在头芯片的流路部件设有用于使液体循环的循环路，所以混入液体中的气泡、尘埃经由循环路流出。另外，因为过滤器不介于流入口或流出口与通道之间的任意流路，所以能够提供不存在气泡积累于过滤器而流路截面积减少，或由于过滤器的压力损失而吐出稳定区域缩小情况的液体喷射装置。
权利要求
1.一种液体喷射头，具备头芯片，层叠形成有液体吐出用的通道的致动器基板和形成用于将液体供给至所述通道的液体供给室的盖板；以及流路部件，设置于所述盖板并将液体供给至所述液体供给室，所述流路部件具备流入液体的流入口、流出液体的流出口、以及使液体从所述流入口至所述流出口循环的循环路，过滤器不介于所述流入口或所述流出口与所述通道之间的任意流路。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，在所述致动器基板的所述盖板一侧的表面排列有多个所述通道，所述液体供给室与所述通道连通并沿所述通道的排列方向形成为长尺状，所述循环路的与液体流动的方向正交的方向的截面积大于与所述液体供给室的长度方向正交的方向的截面积。
3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，所述液体供给室在所述盖板的所述流路部件侧的表面开口，所述循环路在所述流路部件的所述盖板侧的表面开口，并且以所述循环路的开口与所述液体供给室的开口重叠的方式设置。
4.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，与所述循环路的液体流动的方向正交的方向的截面积从上游侧向下游侧逐渐变小。
5.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，所述头芯片具有层叠第一头芯片和第二头芯片的结构。
6.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，所述第一头芯片和所述第二头芯片具有致动器基板彼此相对并接合的对称结构，所述流路部件包含设置于所述第一头芯片的第一流路部件、以及设置于所述第二头芯片的第二流路部件，所述头芯片具备从所述第一流路部件的一侧贯通至所述第二流路部件的一侧的流入贯通孔和流出贯通孔，所述第二流路部件经由所述流入贯通孔从所述第一流路部件流入液体，并经由所述流出贯通孔将液体流出至所述第一流路部件。
7.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，所述第一头芯片和所述第二头芯片具有致动器基板彼此相对并接合的对称结构，所述流路部件包含设置于所述第一头芯片的第一流路部件、以及设置于所述第二头芯片的第二流路部件，所述第一流路部件和所述第二流路部件夹着所述第一及第二头芯片并具有对称的结构。
8.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，在重力方向上所述循环路比所述液体供给室靠上方位置设置。
9.一种液体喷射装置，具备权利要求1或2所述的液体喷射头；移动机构，使所述液体喷射头往复移动；液体供给管， 将液体供给至所述液体喷射头；以及液体罐，将所述液体供给至所述液体供给管。
全文摘要
本发明的液体喷射头(1)具备形成有液体吐出用的通道(5)的致动器基板(3)和形成有将液体供给至通道(5)的液体供给室(6)的盖板(4)层叠的头芯片(2)、以及设置于盖板(4)并将液体供给至液体供给室(6)的流路部件(7)。在此，流路部件(7)具备流入液体的流入口(8)、流出液体的流出口(9)、以及使液体从流入口(8)至流出口(9)循环的循环路(10)，并且过滤器不介于流入口(8)或流出口(9)与通道(5)之间的任意流路。从而防止混入液体中的气泡、尘埃滞留于头内，或者堵塞喷嘴而使吐出特性变差的情况。
文档编号B41J2/045GK103009810SQ20121036890
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月27日 优先权日2011年9月27日
发明者坂田明史, 堂前美德 申请人:精工电子打印科技有限公司