专利名称：光纤阵列以及光纤定位板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及使用光纤的光传输通路形成技术，更具体地，涉及一种光纤阵列、一种用于制造光纤阵列的光纤定位方法，以及用于光纤定位方法的光纤定位板。
背景技术：
作为套圈(光纤托(optical fiber holder))对中方法，光纤支撑孔的位置通常通过将光纤托的外周用作参照位置来确定。采取这种对中方法的多芯光纤托是公知的，如图43所示(例如，参见公告JP-A-HEI-11-712644)。
图43所示的多芯光纤托1在托架的方形主体1的上部具有第一凹陷2和第二凹陷3。第一凹陷2形成得距端面1A一预定距离。第二凹陷3与第一凹陷2相连，并比第一凹陷2深。光纤定位孔1a至1d在端面1A和第一凹陷2之间形成贯穿托架主体的直线。C字符形横截面的光纤排列槽4a至4d并列在凹陷2的底部上，并抵达凹陷3。每条光纤排列槽具有槽4a中所示的凹陷3附近的区域5a，该区域5a在朝凹陷3的方向上直径增加。在端面1A的对立侧上，沿定位孔1a至1d的行形成有导向销孔(guide pin hole)G1和G2。
多芯光纤6具有包覆有护套7的光纤8a至8d。当多芯光纤6与多芯光纤托1组装时，护套7的一部分被切除，以暴露出光纤8a至8d。光纤8a至8d经由排列槽4a至4d自托架1的凹陷3侧插入定位孔1a至1d，以将光纤8a至8d的端部凸出在定位孔1a至1d外，并将护套7置于凹陷3上。此时，将粘接剂注入排列槽4a至4d，以将光纤8a至8d固定在定位孔1a至1d上。
根据此现有技术，光纤相对于光纤托外周的位置由定位孔1a至1d确定。因此，每个定位孔1a至1d的尺寸和位置要求具有高精度。多芯光纤托的定位孔的间距也要求具有高精度。
二维光纤阵列如图44所示那样为人所知(例如，参见公报JP-A-HEI-10-268145)。
在图44所示的二维光纤阵列中，通过精确的激光加工贯穿陶瓷片1a形成孔H1、H2、H3…。制备这样的陶瓷片1b、1c…。导向线插入多个孔H1、H2、H3…，以对准孔的位置，并堆叠和固定陶瓷片1a、1b、1c…。导向线从孔中拔出后，光纤2a、2b、2c…被插孔H1、H2、H3…并被固定。光纤2a、2b、2c…的端部通过抛光陶瓷片叠层的端面而被平齐。
根据此现有技术，多根光纤可以高精度地二维设置。然而，即使进行精确加工，多块陶瓷片之间诸多孔的位置对齐也是不容易的，此外，也不容易将光纤插入到陶瓷片叠层中的诸多孔内。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种新型的光纤定位方法和一种光纤定位板，它们能容易且高精度地在光纤托端面上相对于托架外围定位光纤。
根据本实用新型的一个方面，提供一种光纤定位方法，包括步骤准备一根或多根需要排列在适当位置的光纤、具有相应于每根需要排列在适当位置处的光纤的光纤支撑孔的光纤托、以及具有一安装孔和一光纤定位孔的定位板，该安装孔形成在定位板一主表面上，并在其中安装有光纤托的一端面，该光纤定位孔相应于光纤托的每个光纤支撑孔贯穿该安装孔的底面而形成，每个光纤定位孔相对于光纤托外周的预定位置被定义成每根光纤的邻接位置；将光纤托的一个端面安装在安装孔内，并将每根光纤插入到光纤托的相应光纤支撑孔和光纤定位板的相应光纤定位孔内；在光纤托的端面安装在安装孔内，且每根光纤插入光纤托的相应光纤支撑孔和光纤定位板的相应光纤定位孔内时，在光纤定位板的对应光纤定位孔的邻接位置上邻接每根光纤；以及在每根光纤与光纤定位板的对应光纤定位孔的邻接位置邻接时，将每根光纤固定在光纤定位板上。
根据本实用新型的另一个方面，提供一种光纤定位方法，包括步骤准备一根或多根需要排列在适当位置的光纤、具有相应于每根需要排列在适当位置处的光纤的光纤支撑孔的光纤托、以及具有一邻接孔和一光纤定位孔的定位板，该邻接孔形成在定位板的一主表面上，并具有被光纤托的一端面附近的外周所邻接的预定邻接位置，该光纤定位孔贯穿邻接孔的底部而形成，并对应于光纤托的每个光纤支撑孔，每个光纤定位孔的相对于光纤托外周的预定位置被定义为每根光纤的邻接位置；使光纤托端面附近的外周邻接在邻接孔的预定邻接位置上，并将每根光纤插到光纤托的对应光纤定位孔和光纤定位板的对应光纤定位孔内；在光纤托端面附近的外周邻接在邻接孔的预定邻接位置上，且每根光纤插入到光纤托的对应光纤支撑孔和光纤定位板的相应光纤定位孔内时，将每根光纤邻接在光纤定位板的相应光纤定位孔的邻接位置上；以及在每根光纤邻接在光纤定位板的相应光纤定位孔的邻接位置上时，将每根光纤、光纤定位板和光纤托固定在一起。
在光纤托端面安装在定位板的安装孔中，且每根光纤插入在相应的光纤支撑孔和光纤定位孔内的状态下，每根光纤邻接对应光纤定位孔的邻接位置，以进行光纤相对于光纤托外周的位置对齐。在此位置对齐的状态下，每根光纤用粘接剂固定在定位板上。定位板可以用薄膜工艺等容易地形成。安装孔和定位孔可以高精度地形成，且具有1μm或更小的尺寸和位置偏差。因此，光纤托的光纤支撑孔的尺寸和位置无需高度准确。
将要安装在光纤托端面上的光纤定位板具有安装孔和光纤定位孔，光纤托的端面安装在该安装孔内，该光纤定位孔对应于每个光纤支撑孔、并贯穿光纤定位板的底部而形成。每个光纤定位孔的相对于光纤托外周的预定位置被定义为光纤的邻接位置。取代安装孔，可以在定位板上形成邻接孔。该邻接孔具有一预定位置，邻接该位置的是光纤托端面附近的外周。
对于每根光纤的位置对齐，在光纤托邻近端面的外周邻接邻接孔的预定位置时，每根光纤邻接光纤定位孔的邻接位置。在此邻接状态下，每根光纤、定位板和光纤托用粘接剂等固定在一起。可以获得与具有安装孔的定位板相似的效果。
根据本实用新型的再一方面，提供一种光纤阵列，包括将要排列在适当位置上的一根或多根光纤；一个具有与将要排列在适当位置上的每根光纤相应的光纤支撑孔的光纤托，该光纤支撑孔贯穿光纤托从一端面向其相对端面形成；第一定位板，具有相应于光纤托的每个光纤支撑孔的第一光纤定位孔，该第一光纤定位孔贯穿第一定位板从一个主表面到其相对立的主表面形成、且朝该对立主表面其尺寸增加，该第一定位板安装在光纤托的端面上，且第一光纤定位孔与光纤托的对立主表面上的相应光纤支撑孔相连；第二定位板，具有相应于光纤托的每个光纤支撑孔的第二光纤定位孔，该第二光纤定位孔贯穿第二定位板从一个主表面到其相对立的主表面形成，且朝该对立主表面，其尺寸增加，该第二定位板安装在光纤托的对立端面上，且第二光纤定位孔在主表面上与光纤托的对应光纤支撑孔相连；以及固定装置，用于在第一和第二定位板安装在光纤托的端面和对立端面上，且每根光纤插入到第二定位板的相应第二光纤定位孔、光纤托的相应光纤支撑孔和第一定位板的相应第一光纤定位孔时，将每根光纤固定在第一和第二定位板中的至少一个上。
第一和第二定位板安装在光纤托的端面和对立端面上，且每根光纤从相应的第二光纤定位孔经光纤支撑孔插入到相应的第一光纤定位孔内。第一和第二定位板可以高精密地且容易地由薄膜工艺等形成。每个光纤定位孔的位置和尺寸以及光纤定位孔间距可以以亚微米精度设定。光纤托协助保持第一和第二定位板之间光纤的平直和平行。因此，每根光纤在光纤托端面上的端部位置可以由第一定位板定位得高度准确。
第一定位板安装在对立主表面侧上的光纤托的端面上，第一光纤定位孔在该对立主表面侧具有更大的尺寸，而第二定位板安装在主表面侧光纤托的另一端面上，第一光纤定位孔在该主表面侧具有更小的尺寸。每根光纤从大尺寸开口端插入相应的第二光纤定位孔内，并自大尺寸开口端插入到相应的第一光纤定位孔内。光纤的插入加工因而容易且平滑。除将要排列在适当位置的光纤外，组元数为三，即光纤托、第一和第二光纤定位板。装配工作因而简单。
根据本实用新型的另一方面，提供一种光纤阵列，包括一根或多根光纤；一个具有与一根或多根光纤中的每根光纤相应的光纤支撑孔的光纤托，该光纤支撑孔贯穿该光纤托自一端面向其对立端面形成，该光纤托具有自端面向对立端面延伸的第一定位销插孔(或槽)、以及在端面附近形成的且横切每个光纤支撑孔和第一定位销插孔(或槽)的定位板插槽；一光纤定位板，该光纤定位板插入到该定位板插槽中，并具有光纤定位孔和第二定位销插孔(或槽)，该光纤定位孔和第二定位销插孔(或槽)相应于光纤托的每个光纤支撑孔和第一定位销插孔(或槽)，并贯穿光纤定位板自一主表面到其对立主表面形成，每个光纤定位孔朝该对立主表面方向尺寸增大；一定位销，在第二定位销插孔(或槽)与第一定位销插孔(或槽)相连，且光纤定位板插入到该定位板插槽中、并且光纤定位板的对立主表面指向光纤托的另一端面时，该定位销插入到第一和第二定位销插孔(或槽)内，该定位销在该销插入到第一和第二定位销插孔(或槽)内时，使得光纤定位板的每个光纤定位孔与光纤托的相应光纤支撑孔相连；以及固定装置，用于在该定位销插入到第一和第二定位销插孔(或槽)内，且每根光纤插入到光纤托的相应光纤支撑孔和光纤定位板的相应光纤定位孔内时，将定位销和每根光纤固定到光纤托上。
根据本实用新型的再一个方面，提供一种光纤阵列，包括一根或多根光纤；一个具有与一根或多根光纤中的每根光纤相应的光纤支撑孔的光纤托，该光纤支撑孔贯穿该光纤托自一端面向其对立端面形成，该光纤托具有自端面向对立端面延伸的第一定位销插孔(或槽)、以及在端面附近形成的且横切每个光纤支撑孔和第一定位销插孔(或槽)的多个定位板插槽；多个光纤定位板，这些光纤定位板插入到该定位板插槽中，并且每个均具有光纤定位孔和第二定位销插孔(或槽)，该光纤定位孔和第二定位销插孔(或槽)相应于光纤托的每个光纤支撑孔和第一定位销插孔(或槽)，并贯穿光纤定位板自一主表面到其对立主表面形成，每个光纤定位孔朝该对立主表面方向尺寸增大；一定位销，在每个光纤定位板的第二定位销插孔(或槽)与第一定位销插孔(或槽)相连，且每个光纤定位板插入到相应的定位板插槽中、并且光纤定位板的对立主表面指向光纤托的另一端面时，该定位销插入到第一定位销插孔(或槽)和每个光纤定位板的第二定位销插孔(或槽)内，该定位销在该销插入到第一和第二定位销插孔(或槽)内时，使每个光纤定位板的每个光纤定位孔与光纤托的相应光纤支撑孔相连；以及固定装置，用于在每个定位销插入到每个光纤定位板的第一定位销插孔(或槽)和第二定位销插孔(或槽)内，且每根光纤插入到光纤托的相应光纤支撑孔和每个光纤定位板的相应光纤定位孔内时，将每个定位销和每根光纤固定到光纤托上。
在光纤定位板或多个光纤定位板插入到光纤托端面附近形成的一个或多个定位板插槽中时，定位销插入到光纤托的定位销插孔(或槽)和光纤定位板的定位销插孔(或槽)中，以获得光纤托和光纤定位板的位置对齐。因此，可以使光纤定位板的每个光纤定位孔与光纤托的相应光纤支撑孔准确对齐。光纤通过光纤支撑孔到光纤定位孔内的插入工作变得容易，且防止了光纤的弯曲。
因为光纤定位板插入并固定在定位板内，所以防止了光纤定位板翘曲和滑动。光纤托端面的抛光工作可以在不用特地注意光纤定位板的情形下进行。
图1是说明装配根据本实用新型第一实施例的光纤定位板和光纤托的工序的透视图；图2是说明图1所示工序后的光纤定位工序的前视图；图3是自图2所示的线X-X′截取的横截面视图；图4是说明制造根据本实用新型的光纤定位板的方法中Cu层形成工序的横截面视图；图5是说明图4所示工序后抗蚀剂图案的形成工序的横截面视图；图6是说明图5所示工序后Ni-Fe合金电镀工序的横截面视图；图7是说明图6所示工序后抗蚀剂层形成工序的横截面视图；图8是说明图7所示工序后Ni-Fe合金电镀工序的横截面视图；图9是说明图8所示工序后抗蚀剂的去除和衬底分离工序的横截面视图；图10是显示根据本实用新型第二实施例的光纤定位板和光纤托的安装状态的前视图；图11是沿图10所示线Y-Y′截取的横截面视图；图12是说明装配根据本实用新型第三实施例的光纤定位板和具有光纤托的光纤啮合板的工序的透视图；图13是说明图12所示工序后光纤定位工序的俯视图；图14是说明在光纤上溅射Ni-Fe合金的工序的侧视图；图15是说明在光纤托的光纤支撑孔的内表面上溅射Ni-Fe合金的工序的透视图；图16是截取自图13所示的线Z-Z′的横截面视图，说明了通过Ni-Fe合金电镀固定安装光纤、光纤托、定位板和啮合板的工序；
图17是根据本实用新型第四实施例的二维光纤阵列的透视图；图18是截取自图17所示的线A-A′的横截面视图；图19是光纤定位板的前视图；图20是沿图19所示的线B-B′截取的横截面视图；图21是一横截面视图，说明了根据本实用新型的制造光纤定位板的方法的示例中抗蚀剂层的形成工序；图22是说明图21所示的工序后选择性电镀工序的横截面视图；图23是说明图22所示的工序后抗蚀剂层去除工序的横截面视图；图24是说明图23所示工序后衬底分离工序的横截面视图；图25是一横截面视图，说明了根据本实用新型的制造光纤定位板的方法的另一示例中抗蚀剂层的形成工序；图26是说明图25所示工序后抗蚀剂层形成工序的横截面视图；图27是说明图26所示工序后选择性电镀工序的横截面视图；图28是说明图27所示工序后抗蚀剂层去除工序的横截面视图；图29是说明图28所示工序后衬底分离工序的横截面视图；图30是显示电镀层通过选择性电镀工序的生长状态的横截面视图；图31是一横截面视图，说明了光纤位置由图25至29所示的方法制造的定位板确定后，光纤端部的固定状态；图32是根据本实用新型第五实施例的光纤阵列的透视图；图33是沿图32所示的线X-X′截取的横截面视图；图34是显示光纤粘接区的放大横截面视图；图35是沿图32所示的线Y-Y′截取的横截面视图；图36是说明图32所示光纤阵列的制造方法示例中托架形成工序的透视图；图37是说明图36所示工序后板插槽形成工序的透视图；图38是说明图37所示工序后定位板插入工序的透视图；图39是说明图38所示工序后销插入固定工序的透视图；图40是说明图39所示工序后光纤插入固定工序的透视图；图41是说明图40所示工序后抛光工序的透视图；图42是说明托架和定位板的位置对齐方法的变体的透视图；图43是显示传统多芯光纤托的示例的透视图；以及图44是显示传统二维光纤阵列的示例的透视图。
具体实施方式
图1至3示出了根据本实用新型第一实施例的光纤定位板，且沿图2的线X-X′截取的横截面视图示于图3。
通过将光纤定位板112安装在光纤托110的端面上来使用光纤定位板112，该光纤托将光纤F11和F12与光纤支撑孔J11和J12固定。安装孔114a通过一孔形成元件114形成在定位板112的一主表面上，托架110的端面安装在此安装孔114a内。在光纤托110具有圆柱形的情况下，定位板112是圆盘形的，且安装孔114a是圆筒形的。光纤定位孔H11和H12贯穿安装孔114a的底面在相应于支撑孔J11和J12的并排位置上形成。例如，定位孔H11和H12是方形的，且孔H11的两个对角和孔H12的两个对角沿并排方向设置成直线。每个定位孔H11、H12的尺寸均大于光纤F11、F12的直径。例如，光纤F11、F12的邻接位置是定位孔H11、H12的下角。作为邻接位置的下角通过将光纤托110的外周110a用作参照位置而设定。
定位板112例如由Ni-Fe合金制造，且可通过薄膜工艺简单且高精度地形成，这将在以下参照图4至9阐述。可以以这种程度的高精度形成安装孔114a和定位孔H11和H12，即尺寸和位置误差为1μm或更小，且也可以以相似的高精度设置定位孔H11和H12之间的间距。
光纤托110由陶瓷或玻璃制造，例如氧化锆。光纤支撑孔J11和J12贯穿光纤托110从一端面到相对端面形成，且具有比光纤F11、F12大的直径。根据本实用新型，因为光纤F11和F12的位置利用定位板112设置，所以光纤支撑孔J11、J12的尺寸和位置不需要是高度精确的。
当光纤托110端面上的光纤F11和F12的位置相对于托架110的外周110a确定时，如图3所示，托架110的端面安装在定位板112的安装孔114a内。如图1至3所示，光纤F11插入到支撑孔J11和定位孔H11内，且光纤F12插入到支撑孔J12和定位孔H12内。此插入在光纤托110的端面安装在安装孔114a内之前、之后或其过程中进行。
接着，在光纤托110的端面安装在安装孔114a内，且光纤F11插入支撑孔J11和定位孔H11中，光纤F12插入支撑孔J12和定位孔H12中时，如图2和3所示，光纤F11和F12利用由金属板等制造的光纤推动器126邻接到定位孔H11和H12的下角(邻接位置)上。光纤F11和F12可以相对于光纤托外周110a对齐在适当位置处。
其后，在邻接状态(位置对齐状态)下，紫外(UV)硬化粘接剂注入到定位孔H11和H12、以及支撑孔J11和J12内，并被硬化以将光纤F11和F12固定到定位板112和光纤托110上。其后，撤掉光纤推动器126。如果使用低粘接力的粘接剂，推动器126可以容易地取下。
图3显示了光纤F11在粘接区128中固定在定位板112和光纤托110上的状态。光纤F12以与光纤F11相同的方式固定在定位板112和光纤托110上。如果定位板112相对于安装在板112内的光纤托110的固定是强的，则光纤F11和F12可以仅固定在定位板112上。如果如图3所示光纤F11在粘接区128中粘接在定位板112和光纤托110两者上，则定位板112相对于安装在板112内的光纤托110的固定可以加强。如果定位板112相对于安装在板112内的光纤托110的固定不足，则图3所示的粘接状态是所需的。
取代本实施例中的光纤推动器126，如图12所示，可以使用具有光纤啮合孔146a和146b的光纤啮合板146。当光纤F11和F12如图2所示邻接在定位孔H11和H12的下角上，则具有贯穿啮合孔146a和146b而插入的光纤F11和F12的端部的啮合板146设置在定位板112前方，并向下移动以实现邻接。
每个定位孔H11、H12的邻接位置不限于下角，只要相对于光纤托外周110a的位置对准能获得即可。例如，诸如上角、右侧角和左侧角的其它角也可以使用。每个定位孔的形状不仅限于方形，也可以使用诸如菱形和椭圆形的其它形状。
接着，参照图4至9，将说明光纤定位板制造方法的一个例子。
在图4所示的工序中，在玻璃、石英等制造的衬底20的表面上，通过溅射形成作为电镀底层的Cu层116。Cu层116的厚度为约1320nm。
在图5所示的工序中，抗蚀剂图案124、R11和R12通过光刻形成在Cu层116上。抗蚀剂图案124用于形成光纤定位板。抗蚀剂图案R11和R12用于形成光纤定位孔。用于形成抗蚀剂图案124、R11和R12的掩模通过将光纤托外周110a用作参照位置而形成。
在图6所示的工序中，通过将抗蚀剂图案124、R11和R12用作掩模，进行利用Ni-Fe合金的选择性电镀工序，以形成由Ni-Fe合金制造的、且具有对应于定位孔H11和H12的图案的定位板112。该定位板112的厚度为约10至80μm。
在图7所示的工序中，抗蚀剂图案125形成来覆盖抗蚀剂图案124、R11和R12、以及定位板112，并具有对应于安装孔形成元件的孔125A。用于形成抗蚀剂图案125的掩模通过将光纤托外周110a用作参照位置来形成。
在图8所示的工序中，通过将抗蚀剂图案125用作掩模，进行使用Ni-Fe合金的选择性电镀工序，以形成由Ni-Fe合金制造的且具有对应于孔125A的图案的孔形成元件114。孔形成元件114的厚度约为50至100μm。
在图9所示的工序中，在去除抗蚀剂图案124、R11、R12和125之后，蚀刻并去除铜层116，以将定位板112自衬底20上分离。定位板112于是可以形成，该定位板具有在板的一主表面上由孔形成元件114围绕的安装孔114a、以及贯穿安装孔114a的底部形成的光纤定位孔H11和H12。
图10显示了根据本实用新型第二实施例的光纤定位板与光纤托进行安装的状态。沿图10的线Y-Y′截取的横截面视图示于图11。在图10和11中，与图1至3中所示的相似的元件用相同的附图标记表示，其详细说明略去。
第二实施例的光纤定位板132的特征在于定位板132和安装孔134a是如方形孔形成元件134所确定的那样的方形。与第一实施例的光纤定位孔H11和H12相似，定位孔H13和H14贯穿安装孔134a的底部以并排的方式形成，定位孔与光纤托110的光纤支撑孔J11和J12对应在适当位置上。光纤F11和F12在定位孔H13和H14上的邻接位置例如是下角。作为邻接位置的下角通过将光纤托外周110a用作参照位置而形成。
当光纤F11和F12在光纤托110端面上的位置相对于光纤托外周110a确定时，托架110的端面安装在定位板132的安装孔134a中，光纤F11插入支撑孔J11和定位孔H13内，且光纤F12插入支撑孔J12和定位孔H14内。在此安装/插入状态下，光纤F11和F12通过利用光纤推动器126或光纤啮合板146而邻接在定位孔H13和H14的下角(邻接位置)上。光纤F11和F12的位置于是可以相对于光纤托外周110a高精度地设置。
其后，与定位板112相似，位置对齐的光纤F11和F12用粘接剂固定在定位板132和光纤托110上。图11显示了光纤F11在粘接区136中固定在定位板132和光纤托110上的状态。光纤F12以与光纤F11相似的方式固定在定位板132和光纤托110上。其后，除去光纤推动器126或光纤啮合板146。
通过与先前参照图4至9所述的定位板112的形成方法相似的方法，定位板132可以容易且高精度地形成。
图12和13显示了根据本实用新型第三实施例的光纤定位板。沿图13中的线Z-Z′截取的横截面视图示于图16中。在图12至16中，与图1至3所示的相似的元件用相同的附图标记代表，且其详细说明略去。
第三实施例的方形光纤定位板142的特征在于方形光纤托邻接孔142a形成在定位板142的一主表面上，且光纤托110的邻接位置是图12中邻接孔142a的左侧角。光纤定位孔H15和H16贯穿邻接孔142a的底部以并排的位置相对于光纤托110的支撑孔J11和J12形成。虽然定位孔H15和H16是椭圆形的，但是它们可以是方形的或菱形的。定位孔H15和H16的尺寸大于光纤F11、F12。定位孔H15、H16的如图12所示的左侧被用作光纤F11、F12的邻接位置。作为邻接位置的左侧位置通过将光纤托外周110a用作参照位置而确定。
当光纤F11和F12在光纤托110的端面上的位置相对于光纤托外周110a确定时，进行以下布置。首先，如图12和13所示，光纤托的邻近其一端面的外周邻接在定位板142的邻接孔142a的预定角上。然后，如图12、13和16所示，光纤F11插入支撑孔J11和定位孔H15，光纤F12插入支撑孔j12和定位孔H16。此插入可以在光纤托110邻接在邻接孔142a上之前、之后或其过程中进行。
接着，在光纤托110邻接在邻接孔142a上，且光纤F11插入支撑孔J11和定位孔H15，光纤F12插入支撑孔J12和定位孔H16时，如图12和13所示，光纤啮合板146在箭头P方向上下降，以将光纤F11和F12插入到光纤啮合板146的光纤啮合孔146a和146b中，并将啮合板146重叠在定位板142上。在此重叠状态下，啮合板146如图12和13所示那样一直沿箭头Q方向相对于定位板142移动，从而将光纤F11和F12邻接在定位孔H15和H16的左侧(邻接位置)上。光纤F11和F12的位置于是能相对于光纤托外周110a高精度地设置。
其后，在此邻接状态(位置对齐状态)下，UV硬化粘接剂注入到定位孔H15和H16、以及支撑孔J11和J12中，并被硬化以将光纤F11和F12固定在定位板142和光纤托110上。其后，撤掉啮合板146。代替啮合板146，图2和3所示的光纤推动器126可以用于形成邻接。
在固定光纤F11和F12的过程中，金属电镀法可以用以取代上述粘接方法。此时，如图14所示，将要对准位置的光纤F的护套Fp在其一端附近被除去，且作为电镀底层的Ni-Fe合金等金属层通过溅射法沉积在光纤F的暴露表面上。如图15所示，作为电镀底层的Ni-Fe合金等金属层也通过溅射沉积在将被邻接在邻接孔142a上的光纤托110的端面附近的支撑孔J11和J12的内表面上。
接着，通过使用如参照图14和15所述制备的光纤和光纤托，以与参照图12和13所述的相似方式进行光纤托的邻接和光纤的位置对准。在图13和16所示的位置对准状态下，光纤等的总成被浸入电镀液中，并向啮合板146提供一电源，以进行金属电镀工序。因此，如图16所示，电镀层148在啮合板146和定位板142的表面上(包括孔146a、146b、H15和H16的内表面)、在光纤托110的接近其一端的表面上(包括孔J11和J12的内表面)、以及在光纤F11和F12的表面上生长。在电镀层148填充了定位孔H15和H16、以及支撑孔J11和J12时，电镀工序终止。光纤F11和F12、光纤托110和定位板142于是通过电镀层148相互固定。其后，啮合板146和粘接在其上的电镀层一起被除去。
具有相应于定位孔H15和H16的啮合孔146a和146b的啮合板146可以通过参照图4至图6和图9所述的选择性电镀工序和衬底分离工序制造。定位板142可以通过参照图4至9所述的方法制造。定位板142和啮合板146可以通过选择性蚀刻而制造。
在上述第一至第三实施例中的每一个中，在通过使用定位板123、132或142的光纤F11和F12的位置对准和固定后，凸出在定位板外的光纤被切除，且切割面被抛光以使光纤端面和定位板表面平齐。通过制备具有定位板的第一和第二光纤托，并设置和固定第一和第二光纤托，使得第一和第二光纤托彼此接触、且光纤的端部彼此接触，光连接器可得以实现。
图17显示了根据本实用新型第四实施例的二维光纤阵列。沿图17的线A-A′的横截面视图示于图18。
光纤托210例如是直角棱镜，且由诸如不锈钢的金属制造。在光纤托210中，方形光纤支撑孔J211至J288(在图18中仅显示了孔J211至J281，其它孔未显示)设置成8×8的矩阵形，它们贯穿光纤托210自其一端面到相对端面基本平行地延伸。在形成光纤托210的过程中，可以使用机械切割法。托架210可以得以高精度地加工至一定的程度，即光纤之间的平行度被设置为10秒或更短(以12mm的托架长度和0.5μm的光纤间距精度)。托架210的材料不仅仅限于诸如不锈钢的金属，还可以使用诸如氧化锆的陶瓷、玻璃、石英等。
光纤定位板212A例如是如图19所示的方形，由诸如Ni-Fe合金的金属板制造。在定位板212A中，方形光纤定位孔H211至H288设置成8×8的矩阵形，对应于光纤托210的光纤支撑孔J211至J288，并贯穿托架定位板212A自其一端面到相对端面延伸。
图20是沿图19的线B-B′截取的横截面视图。如图20的定位孔H211至H218所示，定位孔H211至H288中的每一个的尺寸自定位板212A的一端面向其对立端面增大。例如，定位板212A的每侧的长度W为5.8mm，定位孔H211，...的每侧的长度L为125.5μm，定位孔间距P为250μm，且定位板的厚度t为10至80μm。
类似于定位板212A的结构，在一光纤定位板212B中，方形光纤定位孔K211至K288设置成8×8的矩阵形，相应于光纤托210的光纤定位孔J211至J288，并贯穿托架定位板212B自其一端面到对立端面延伸。定位孔K211至K288每一个的尺寸自定位板212B的一端面向其对立端面增大。
如以下将参照图21至24所述的那样，定位板212A和212B可以通过薄膜工艺容易而高精度地形成。每个定位孔的位置和尺寸、以及定位孔的间距可以以亚微米的精度设置，例如0.5μm。
当要制造二维光纤阵列时，光纤托210、定位板212A和212B、以及具有125μm直径的64根光纤(单模光纤)得以准备。定位板212A和212B通过粘接剂固定在光纤托210的一个端面及其相对端面上。更具体地，定位板212A以如下方式固定在光纤托210的一个端面上，即定位孔H211至H288在定位板212A的另一主表面(大定位孔尺寸的主表面)上与光纤托210的光纤支撑孔J211至J288相连。类似地，定位板212B以一方式固定在光纤托210的对立端面上，即定位孔K211至K288在定位板212B的主表面(小定位孔尺寸的主表面)上与光纤支撑孔J211至J288相连。如图18所示，例如，定位孔H211在大尺寸开口端与支撑孔J211相连，而定位孔K211在小尺寸开口端与支撑孔J211相连。定位板212A和212B的任一个可以先固定，也可以将它们二者同时固定。
接着，每根光纤自定位板212B的对应定位孔，并通过光纤托210的相应光纤支撑孔插入定位板212A的对应定位孔。例如，如图18所示，光纤F211从定位孔K211、并经过支撑孔F211插入定位孔H211。因为光纤F211自定位孔K211和H211的大尺寸开口端插入，所以光纤F211可以容易且平滑地插入。对其它光纤F212至F288中的每一根进行类似于光纤F211的插入工作。
其后，光纤F211至F288通过粘接层216固定在定位板212B上。光纤凸出定位板212A的端部被抛光，以使光纤端部与定位板212A的表面平齐。
在第四实施例中，在光纤F211至F288的准直度或平行度在光纤托210、以及定位板212A和212B中高度准确地维持时，每根光纤端部的位置通过光纤托210一端的定位板212A高精度地设定。插入操作简单而平滑，因为每根光纤自两个定位板212A和212B的定位孔的大尺寸开口端插入。
在第四实施例中，图17和18所示的光纤导向板214可以安装在定位板212B的另一主表面(大定位孔尺寸的主表面)上。此导向板214例如是方形的，且由诸如不锈钢的金属板制造。在导向板214中，方形光纤导向孔G211至G288(图18中，仅显示孔G211至G281，其它孔未显示)设置成8×8的矩阵形，对应定位板212B的定位孔K211至K288，并贯穿导向板214从其一端面至相对端面延伸。导向板214的每个导向孔被形成来具有比定位板212B的对立定位孔大的尺寸，以使其易于插入光纤。
在定位板212B安装在光纤托210的对立端面上之后、之前或该过程中，导向板214以这样一种方式安装在定位板212B上，即定位板212B的每个定位孔与导向板214的对应导向孔相连。每根光纤自导向板214的对应导向孔插入到定位板212B的相应定位孔中。如图18所示，例如，光纤F211自具有比定位孔K211大的尺寸的导向孔G211，经过定位孔K211的大尺寸开口端插入到定位孔K211中。因此，可以容易且平滑地插入光纤F211。对其它光纤F212至F288中的每一根进行与光纤F211类似的插入工作。光纤托210和定位板212A的光纤插入工作与前述的类似。在完成光纤F211至F288的插入工作后，通过粘接层216将光纤F211至F288固定到导向板214上。
接着，参照图21至24，将说明诸如定位板212A和212B的光纤定位板的制造方法的例子。
在图21所示的工序中，在例如由玻璃或石英制造的衬底20的一个主表面上，通过溅射形成作为电镀底层的Cu/Cr叠层(Cu层重叠在Cr层上的一种叠层)222。Cr层用于提高Cu层相对于衬底20的紧密接触。Cr和Cu层的厚度分别约为30nm和300nm。
接着，在Cu/Cr叠层222上形成抗蚀剂图案224、R21至R28。抗蚀剂图案224具有相应于光纤定位板的平面图案的孔224a。抗蚀剂图案R21至R28具有相应于将在孔224a内形成的光纤定位孔的图案。抗蚀剂图案R21至R28中的每一个具有向下其尺寸逐渐增加的形状。为了形成诸如抗蚀剂图案R21至R28的垂直锥形图案，以下方法中的一种通过利用步进器(一种渐缩投影对准器(reduction projection aligner))而得以采用(1)将焦点设置在抗蚀剂层中的方法；(2)在抗蚀剂层的下部区域处将曝光量设置得更小的方法；以及(3)逐渐改变曝光掩膜的透射系数的方法(在抗蚀剂图案的裙部中的下部位置处将透射系数增加得更高)。
在图22所示的工序中，通过将抗蚀剂图案224、R21至R28用作掩膜，进行Ni-Fe合金的选择性电镀工序，以形成由Ni-Fe合金层制造的光纤定位板212。定位板212的厚度被设置为约10至80μm。
在图23所示的工序中，抗蚀剂图案224、R21至R28由化学工艺等去除。随着抗蚀剂图案R21至R28的去除，光纤定位孔S21至S28形成在定位板212中。由于抗蚀剂图案向下其尺寸增加，所以定位板212中的每个定位孔向下尺寸降低。
在图24所示的工序中，通过蚀刻将Cu/Cr叠层222的Cu层去除，以将定位板212从衬底20上分离。Cr层222a留在衬底20的上表面上。通过将Cu层溅射到Cr层222a上，该衬底可以反复使用。
图25至29示出了制造光纤定位板的方法的另一例子。在图25至29中，与图21至24相同的元件用相同的附图标记代表，且略去其描述。
在图25所示的工序中，在由例如玻璃或石英制造的衬底20的一个主表面上，通过溅射形成作为电镀底层的Cu/Cr叠层(Cu层叠在Cr层上的一种叠层)222。Cr层用于提高Cu层相对于衬底20的紧密接触。Cr层和Cu层的厚度分别约为30nm和300nm。在形成Cu/Cr叠层222之后，通过光刻在Cu/Cr叠层222上形成对应于所需粘接孔图案(adhesion hole pattern)的抗蚀剂图案(负性抗蚀剂图案)R211至R216。
接着，在图26所示的工艺中，通过光刻在抗蚀剂图案R211至R216上形成对应所需定位孔的抗蚀剂图案(负性抗蚀剂图案)R221至R226。
在图27所示的工序中，通过利用抗蚀剂图案R211至R216和R211至R226作为掩膜，进行利用Ni-Fe合金的选择性电镀工序，以形成由Ni-Fe合金层制造的光纤定位板212。在此情形下，定位板212以这样一种方式形成，即Ni-Fe合金层形成得与图案的上部周围区处的每个抗蚀剂图案隔开(即，定位孔向上其尺寸增加)。
图30示意性示出了电镀层212相对于抗蚀剂图案R211和R221的生长状态。从抗蚀剂图案R211附近Cu/Cr叠层222上的点P看，电镀层212表面上的点Q和R是等距的。因为电镀层212是各向同性生长的，所以电镀层212自点P生长而重叠点R下的抗蚀剂图案R211，在点R处，抗蚀剂图案R211存在且电镀底层未暴露。因此，电镀层(定位板)212在图案的上部周围区域处形成得与每个抗蚀剂图案隔开。
在图28所示的工序中，抗蚀剂图案R211至R216和R221至R226通过化学加工等去除，使得定位板212具有定位孔H211至H216和粘接孔M11至M16。因此，在定位板212中，每个定位孔H211至H216自一主表面至其对立主表面贯穿定位板212延伸，并且朝该对立主表面其尺寸增加。粘接孔M211至M216中的每一个形成得在其小尺寸端与定位孔H211至H216中的相应的一个相连，且具有比小尺寸端大的尺寸。
在图29所示的工序中，Cu/Cr叠层222中的Cu层被蚀刻并除去，以将定位板212自衬底20分离。
图31显示了当光纤位置通过将以图25至29所示的方法制造的定位板212安装在图17和18所示的光纤托210的一端面上而确定时，光纤端部的固定状态。
光纤F211和F212从定位板212的对立主表面(大尺寸定位孔端部处的主表面)插入定位孔S211和S212，并经粘接孔M211和M212凸出到定位板212的主表面外。此时，粘接剂涂覆到粘接孔M211和M212中的光纤F211和F212的外周上并硬化，以通过粘接层A211和A212将光纤F211和F212固定在定位板212上。其后，相对于定位板212的主表面进行抛光工序，以去除光纤F211和F212的凸出部分(由虚线示出)、以及粘接层A211和A212的凸出部分(未示出)，从而使定位板212的主表面平坦。
当采用图31所示的光纤固定结构时，具有图17和18所示的粘接层216的光纤固定结构可以省略，或者可以混合使用。
根据上述光纤定位板制造方法，光纤定位孔S21至S28或S211至S216中的每一个的位置和尺寸、以及光纤定位孔间距可以按诸如0.5μm的亚微米精度设置。虽然具有一维设置的定位孔S21至S28或S211至S216的定位板212已经借助示例说明，但是具有二维设置的定位孔的定位板也可以由与上述相似的方法形成。该定位板可以通过能锥形蚀刻的选择性蚀刻形成。
图32显示了根据本实用新型第五实施例的二维光纤阵列。自图32中的线X-X′截取的横截面视图示于图33，且自图32中的线Y-Y′截取的横截面视图示于图35。图34是图33的局部放大图。
光纤托310例如是直角棱柱，并由陶瓷、金属、塑料等制造。在托架310中，圆形光纤支撑孔J311至J348设置成矩阵形，基本平行地自其一端面(左端面)到对立端面(右端面)贯穿托架310延伸，且圆形定位销插孔310a和310b设置成基本平行地自其一端面至对立端面贯穿托架310延伸。销插孔310a和310b大致平行于支撑孔J311至J348。支撑孔J311至J348以及销插孔310a和310b的直径在托架310的对立端面附近增大，如图33和35所示。
定位板插槽314形成在托架310内其一端附近，横穿支撑孔J311至J348，且销插孔310a和310b大致成直角。托架区310A定义在托架310的一端面与板插槽314之间。光纤定位(固定)板312插入板插槽314中。定位板312相应于托架310的垂直于纵向的横截面例如是矩形的，且由Ni-Fe合金等金属板制造。在定位板312中，对应于托架310的支撑孔J311至J348的32个光纤定位孔设置成贯穿定位板312自其一主表面到对立主表面延伸。在图33中，定位板312的32个定位孔中的四个定位孔H211、H221、H231和H241得以显示。如图35所示，在定位板312中，相应于托架310的销插孔310a和310b的定位销插孔Sa和Sb得以设置。
定位板312的图33所示的每个定位孔H211、H221、H231和H241、以及其它各定位孔朝该另一主表面其直径增加。定位板312插入定位板插槽314，该另一主表面朝向托架310的另一端面。如图33所示，粘接孔M211、M221、M231和M241形成在定位板312的一主表面上，与定位孔H211、H221、H231和H241的小尺寸开口端相连。相似的粘接孔形成得与其它定位孔的小尺寸开口端相连。粘接孔M221，...中的每一个具有比其相应定位孔大的直径。
如图35所示，粘接孔Ma和Mb形成在定位板312的一主表面上，与销插孔Sa和Sb的小尺寸开口端相连。粘接孔Ma和Mb具有比相应的销插孔大的直径。
定位销312a和312b自托架310的另一端面插入销插孔310a和Sa、以及310b和Sb内。例如，定位销312a和312b由诸如不锈钢的金属或诸如氧化铝的陶瓷制造，且具有约1mm的直径。因为销自大尺寸开口端插入销插孔310a、310b、Sa和Sb，所以插入工作容易。定位销312a和312b用粘接孔Ma和Mb中的粘接剂以与以下将参照图34所述的光纤粘接相似的方式固定到定位板312和托架310上。定位板312的位置可以与托架310以这样一种方式准确地对齐，即每个定位孔与相应的支撑孔相连。
在此位置对准状态下，如图33所示，光纤F311、F321、F331和F341自托架310的该另一端面插入到支撑孔J311和定位孔H211的连接孔、支撑孔J321和定位孔H221的连接孔、支撑孔J331和定位孔H231的连接孔、以及支撑孔J341和定位孔H241的连接孔内。其它光纤也插入到其它支撑孔和定位孔的其它连接孔内。因为光纤自大尺寸开口端插入支撑孔和定位孔内，所以插入操作简单。每根光纤用粘接孔内的粘接剂粘接并固定到托架310上。
图34示出了粘接孔M211和M221附近的粘接/固定结构。在定位板312插入到板插槽314内之前，UV硬化粘接剂填入粘接孔M211和M221内。光纤F311和F321插入到孔H211和M211、以及孔H221和M221内，其后通过光纤F311和F322向粘接孔M211和M221内的粘接层A311和A321辐射UV射线，以硬化粘接剂层A311和A321。光纤F311和F321与定位板一起通过粘接层A311和A321固定在托架310上。
接着，参照图36至41，将说明制造本实施例的光纤阵列的方法。在图36至41中，与图32至35所示的相同的元件用相同的附图标记表示，且略去其说明。
在图36所示的工序中，具有包括支撑孔J311至J342的支撑孔组、以及定位销插孔310a和310b的光纤托310通过例如氧化锆粉末的煅烧工艺(baking process)形成。
在图37所示的工序中，两个并置的切割槽形成在托架310的一个端面附近，且具有100μm至200μm宽的切割口。两个切割槽被用作定位板插槽314和318。销插孔310a和310b由板插槽314和318切割。托架区310B在托架310的一端面和板插槽318之间，且托架区310A在板插槽318和314之间。
在图38所示的工序中，制备了由图25至29所示的薄膜工艺形成的光纤定位板312和312′。如上所述，定位板312具有包括光纤定位孔H211至H241等以及粘接孔M211至M241等的粘接/定位孔组HM、以及定位销插孔Sa和Sb。定位板312′具有与定位板312相同的结构。
接着，定位板312和312′插入到板插槽314和318中。此时，如图33和35所示，定位板312以如下一种方式插入到板插槽314内，即定位孔H211等和销插孔Sa等的大尺寸侧开口端指向托架310的该对立端面(右端面)。定位板312′也以此方式插入。图39示出了插入的定位板312和312′的状态。
在图39所示的工序中，在定位板312和312′插入到板插槽314和318的状态下，定位销312a和312b自托架310的该对立端面插入到销插孔310a和310b内。如先前参照图35所述，定位销312a和312b通过销插孔310a和310b插入到定位板312的销插孔Sa和Sb中、以及托架区310A、定位板312′和托架区310B内，并如先前所述那样固定在粘接孔处。定位板312和312′的位置因此相对于托架310设置。
在图40所示的工序中，在上述位置对准状态下，自光纤带FT延伸的光纤组F的每根光纤自托架310的对立端面插入托架310的支撑孔、定位板312的定位孔、托架区310A的定位孔、定位板312′的定位孔、以及托架区310B的支撑孔内，并如前所述那样在粘接孔内固定到托架310上。图41示出了托架310内光纤组F的插入/固定状态。
在图41所示的工序中，自托架310的端面凸出的光纤和托架310的端面经历抛光工序，以从托架310的一端面到托架区310A的区域去除托架区D，如图40所示。结果，托架区310A的端面如图32所示那样得以平坦化，且定位板312得以保留。作为一抛光工序，如果需要，可以使用斜面抛光工艺(slant polishing process)。
在上述示例中，虽然抛光工序对于托架区310A内的区域进行，但是可以在托架区310B的区域内终止。此时，两个定位板312和312′得以保留。可以略去定位板312和312＇中的一个。
图42示出了托架和定位板的位置对准的一种变体。图42中，与图32至35所示的相同的元件用相同的附图标记表示，且略去其说明。
在图42所示的示例中，在托架310的顶部和两侧，定位销插槽310p、310q和310r形成为自一端面向相对端面延伸(或自一端面延伸而抵达相对端面)。销插槽310p至310r自托架区310B的一个端面，经定位板312′、托架区310A和定位板312，向托架310的对立端面延伸。
为了位置对准，定位板312和312′被插入托架310的板插槽314和318，如图42所示。其后，板形定位销312p、312q和312r如图42中的箭头所示插入销插槽310p、310q和310r中，并用粘接剂固定。在此固定状态中，进行与前述相似的光纤插入操作。自托架310(包括托架区310A和310B)以及定位板312和312′凸出的定位销通过抛光工序等去除。
在第五实施例和其变体中，定位板312和312′的位置可以相对于托架310用定位销312a和312b或312p至312r精确地设定。因为定位板312和312′插入到板插槽314和318中，所以它们不可能翘曲或滑动。定位板的每个定位孔的直径相对于光纤的直径的精度为1μm或更小。因此，光纤端面的位置对准可非常精确地设定，且光纤的平行度可以设置为0.1度或更小。
图33至35所示的光纤定位板312可以通过与图25至29所示的光纤定位板所用的相似方法制造。图33至35所示的光纤定位板312的粘接孔M211至M241、Ma和Mb可省略。此时，光纤定位板312可通过与图21至24所示的用于定位板212的相似的方法制造。
通过上述光纤定位板制造方法，每个孔H211至H218、M211至M216、以及H21至H28的位置和尺寸，以及定位孔间距可以以亚微米的精度设置，例如0.5μm。在定位板312中，孔H211至H218、孔M211至M216、以及孔H21至H28一维地设置。可以通过相似的方法形成设置成二维的定位孔和粘接孔。图35所示的销插孔Sa和Sb、以及粘接孔Ma和Mb由与定位孔H211至H218和粘接孔M211至M216所用的相似方法形成。如果需要，没有粘接孔的销插孔Sa和Sb可以通过与定位孔H21至H28所用的相似的方法形成。
本实用新型已经参照优选实施例进行了描述。本实用新型不限于以上实施例。显然，本领域技术人员可以作各种改动、改进、组合等。例如，可以有以下改变(1)光纤托310的形状不只限于直角棱柱，它可以是圆柱、多边棱柱(例如，三角棱柱和六角棱柱)等。
(2)光纤托310的每个支撑孔和销插孔的形状、以及定位板312、312′的每个定位孔和销插孔的形状不只限于圆形，它们可以是多边形(例，三角形、方形、平行四边形、以及六角形)等。如果托架310和定位板312和312′的销插孔具有多边形，则定位销具有相同的多边形。此时，因为定位销不旋转，所以可以使用单一的定位销。
(3)本实用新型不限于二维光纤阵列，而可应用于一维光纤阵列和单光纤托(一根光纤的位置对准)。
权利要求1.一种光纤定位板，其将要安装在具有一个或多个光纤支撑孔的光纤托的一端面上，该光纤定位板包括形成在光纤定位板一个主表面上的安装孔，光纤托的该端面安装在安装孔内；以及相应于光纤托的每个光纤支撑孔的光纤定位孔，该光纤定位孔贯穿安装孔的底部而形成，其特征在于，每个光纤定位孔的相对于光纤托外周的预定位置被定义为每根光纤的邻接位置。
2.一种光纤定位板，其将要安装在具有一个或多个光纤支撑孔的光纤托的一端面上，该光纤定位板包括形成在定位板的一个主表面上、并具有一预定邻接位置的邻接孔，该邻接位置被光纤托的一端面附近的外周所邻接；以及贯穿邻接孔的底部形成的、并相应于光纤托的每个光纤支撑孔的光纤定位孔，其特征在于，每个光纤定位孔的相对于光纤托外周的预定位置被定义为每根光纤的邻接位置。
3.一种光纤阵列，其特征在于，其包括将要排列在适当位置上的一根或多根光纤；一个具有与将要排列在适当位置上的每根光纤相应的光纤支撑孔的光纤托，该光纤支撑孔贯穿所述光纤托从一端面到其相对端面形成；第一定位板，具有相应于所述光纤托的每个光纤支撑孔的第一光纤定位孔，该第一光纤定位孔贯穿所述第一定位板从一个主表面到其相对的主表面形成、且朝该对立主表面其尺寸增加，所述第一定位板安装在所述光纤托的端面上，且第一光纤定位孔在该对立主表面上与所述光纤托的相应光纤支撑孔相连；第二定位板，具有相应于所述光纤托的每个光纤支撑孔的第二光纤定位孔，该第二光纤定位孔贯穿所述第二定位板从一个主表面到其相对立的主表面形成，且朝该对立主表面其尺寸增加，所述第二定位板安装在所述光纤托的对立端面上，且第二光纤定位孔在主表面上与所述光纤托的对应光纤支撑孔相连；以及固定装置，在所述第一和第二定位板安装在所述光纤托的端面和对立端面上，且每根光纤插入到所述第二定位板的相应第二光纤定位孔、所述光纤托的相应光纤支撑孔和所述第一定位板的相应第一光纤定位孔内的状态下，固定装置将每根光纤固定在所述第一和第二定位板中的至少一个上。
4.一种光纤定位板，其将要安装在具有一个或多个光纤支撑孔的光纤托的一端面上，其特征在于，该光纤定位板包括相应于光纤托的每个光纤支撑孔的第一光纤定位孔，每个光纤定位孔贯穿该光纤定位板自一个主表面到其对立主表面形成，且朝该对立主表面其尺寸增加。
5.一种光纤阵列，其特征在于，其包括一根或多根光纤；具有与一根或多根光纤中的每根光纤相应的光纤支撑孔的光纤托，该光纤支撑孔贯穿所述光纤托自一个端面到其对立端面形成，所述光纤托具有自该端面到该对立端面延伸的第一定位销插孔、以及在该端面附近形成的且横切每个光纤支撑孔和第一定位销插孔的定位板插槽；光纤定位板，该光纤定位板插入到该定位板插槽中，并具有光纤定位孔和第二定位销插孔，该光纤定位孔和第二定位销插孔相应于所述光纤托的每个光纤支撑孔和第一定位销插孔，并贯穿所述光纤定位板自一个主表面到其对立主表面形成，每个光纤定位孔朝该对立主表面其尺寸增大；定位销，在第二定位销插孔与第一定位销插孔相连，且所述光纤定位板插入到该定位板插槽中、并且所述光纤定位板的对立主表面朝向所述光纤托的另一端面的情况下，该定位销插入到第一和第二定位销插孔内，所述定位销在所述销插入到第一和第二定位销插孔内的状态下，使得所述光纤定位板的每个光纤定位孔与所述光纤托的相应光纤支撑孔相连；以及固定装置，在所述定位销插入到第一和第二定位销插孔内，且每根光纤插入到所述光纤托的相应光纤支撑孔和所述光纤定位板的相应光纤定位孔内的状态下，固定装置将定位销和每根光纤固定到所述光纤托上。
6.一种光纤阵列，其特征在于，其包括一根或多根光纤；具有与一根或多根光纤中的每根光纤相应的光纤支撑孔的光纤托，该光纤支撑孔贯穿所述光纤托自一端面到其对立端面形成，所述光纤托具有自该端面到该对立端面延伸的第一定位销插孔、以及在该端面附近形成的且横切每个光纤支撑孔和第一定位销插孔的多个定位板插槽；多个光纤定位板，这些光纤定位板插入到该定位板插槽中，并且每个均具有光纤定位孔和第二定位销插孔，该光纤定位孔和第二定位销插孔相应于所述光纤托的每个光纤支撑孔和第一定位销插孔，并贯穿每个光纤定位板自一主表面到其对立主表面形成，每个光纤定位孔朝该对立主表面其尺寸增大；定位销，在每个光纤定位板的第二定位销插孔与第一定位销插孔相连，且每个光纤定位板插入到相应的定位板插槽中、并且光纤定位板的该对立主表面朝向所述光纤托的另一端面的状态下，该定位销插入到第一定位销插孔和每个光纤定位板的第二定位销插孔内，所述定位销在所述销插入到第一和第二定位销插孔内的状态下，使每个光纤定位板的每个光纤定位孔与所述光纤托的相应光纤支撑孔相连；以及固定装置，在每个定位销插入到每个光纤定位板的第一定位销插孔和第二定位销插孔内，且每根光纤插入到所述光纤托的相应光纤支撑孔和每个光纤定位板的相应光纤定位孔内的状态下，固定装置将每个定位销和每根光纤固定到所述光纤托上。
7.一种光纤定位板，其将要插入到具有一个或多个光纤支撑孔和第一定位销插孔的光纤托的定位板插槽内，该光纤支撑孔贯穿该光纤托自一个端面到其对立端面形成，且该第一定位销插孔自该端面至该对立端面延伸，该定位板插槽横穿每个光纤支撑孔和第一定位销插孔的端面附近而形成，其特征在于，该光纤定位板包括光纤定位孔和第二定位销插孔，该光纤定位孔和第二定位销插孔相应于光纤托的每个光纤支撑孔和第一定位销插孔，并贯穿光纤定位板自一主表面到其对立主表面形成，每个光纤定位孔朝该对立主表面其尺寸增加。
专利摘要本实用新型公开了一种将要安装在具有一个或多个光纤支撑孔的光纤托的一端面上的光纤定位板，该光纤定位板包括形成在光纤定位板一个主表面上的安装孔，光纤托的该端面安装在安装孔内；以及相应于光纤托的每个光纤支撑孔的光纤定位孔，该光纤定位孔贯穿安装孔的底部而形成，其中，每个光纤定位孔的相对于光纤托外周的预定位置被定义为每根光纤的邻接位置。
文档编号G02B6/36GK2588393SQ0224204
公开日2003年11月26日 申请日期2002年7月22日 优先权日2001年7月23日
发明者中嶋敏博 申请人:雅马哈株式会社