光固化性树脂组合物、干膜、固化物以及印刷线路板的制作方法

文档序号:2815721阅读:253来源:国知局

专利名称::光固化性树脂组合物、干膜、固化物以及印刷线路板的制作方法
技术领域
:本发明涉及可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,尤其涉及能进行紫外线曝光或激光曝光的阻焊剂用组合物、其干膜、固化物以及印刷线路板。
背景技术
:随着最近半导体部件的急速进步,电子仪器存在小型轻量化、高性能化、多功能化的趋势。伴随着该趋势,印刷线路板的高密度化、部件的表面安装化也不断推进。在高密度印刷线路板的制造中,通常采用光致抗蚀剂,已开发出干膜型光致抗蚀剂和液状光致抗蚀剂。这样的阻焊剂通过使用酞菁化合物作为着色剂而着色成绿色禾口蓝色(专利文献l:曰本净争开2000-7974)。但是,使用该着色剂而用紫外线曝光的情况下,存在以下问题。即,酞菁化合物在紫外线区域吸收大且在从350nm至400nm的紫外线区域吸收的变化大。在该紫外线区域吸收大的话,难以得到固化深度。此外,各种紫外线曝光装置(灯)的紫外线波长分布各自不同。因此,在紫外线区域的吸收变化大的话,难以开发出在不同的紫外线曝光装置下具有相同的分辨率的阻焊剂。此外,使用该着色剂后应用最近普及的激光曝光的情况下,存在以下问题。即,激光曝光要求非常高的感光度,同时,还要求以高分辨率获得形状良好的抗蚀剂轮廓。此外,激光曝光与紫外线灯曝光不同,利用单一波长的光。因此,激光曝光中,重要的是抗蚀剂的吸收对其波长有某种程度的吸收,通过使光聚合引发剂有效地吸收所使用的光源的光来决定感光度。但是,由于如上述那样着色剂吸收光,因此其存在不仅对高感光度化不利,还会阻碍光透射到底部,导致底切。如上所述,酞菁化合物由于在紫外线区域的吸收大,因此为了获得充分的着色力而增加酞菁含量的话,将发生底切。为了防止这种情况,必须减少光聚合引发剂的量,结果,无法高感光度地进行曝光。相反,如果为了将酞菁化合物的量调整到无底切而提高光聚合引发剂的浓度,虽充分获得了感光度,但存在着色力不充分的问题。此外,阻焊剂的着色力不充分的话,由于在印刷线路板上形成的铜电路的污垢和变色显著,使印刷线路板的优良品率显著降低。进而,最近作为印刷线路板的后续工序的安装工序已实现自动化,由机械进行部件的安装,但图像识别时发生无法良好地识别阻焊剂和铜电路的不良情况。该现象在印刷线路板的最终才全查即AOI(AutomaticOpticalInspection,自动光学冲企测)时同样成为问题。现在市售的阻焊剂由于膜厚和基材的铜的前处理,在用CIE1^*&*1)*表色体系表示的话,绿色的LM直为4060、aM直为-10—-28,bM直为618,蓝色的LM直为40~60、aM直为一10~-28,bM直为-6~-18,进而从AOI的?见点出发,更优选绿色、蓝色LM直均为4050,该程度的着色力是必要的。此外,阻焊剂组合物其在固体成分(将溶剂干燥后的干燥皮膜)的状态下软化点低的话,则感光度高。但是,软化点过低的话,指触干燥性差,将光工具(photographictool)密合后曝光时,将涂布基板运送到曝光装置时或者是在干膜的状态下剥离保护薄膜时,存在发生黏腻、所谓的粘性(tack)差的现象的问题。
发明内容发明所要解决的问题本发明是鉴于上述问题而进行的,目的在于提供一种组合物,该组合物在调整紫外线区域吸收的同时具有充分的着色,在紫外线和激光曝光中为高感光度,进而干燥涂膜的指触干燥性良好。用于解决问题的方法为了实现该目的,本发明具有以下方案。(1)一种可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,含有(A)含羧酸树脂、(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂、(C)光聚合引发剂以及(D)分子中具有2个以上烯属不饱和基团的化合物。(2)根据(1)所述的可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,氨基蒽醌化合物(B)为下述通式(I)所示的化合物。R40薩:R1R1:直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过羰基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。R2:直接或通过NH基连接的氢、羟基、环己基、直链或支链烷基、取代或无取代苯基,任选与Ri形成环状物。R3、R4、R5:各自独立地为氢、羟基、环己基、直链或支链烷基、取代或无取代苯基、通过NH基连接的直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过酰胺基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。(3)根据(1)或(2)所述的可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂是结构不同的2种以上着色剂。(4)根据(1)~(3)的任意一项所述的可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂为下述通式(II)所示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>R1:直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过羰基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。R4、R5:各自独立地为氢、羟基、环己基、直链或支链烷基、取代或无取代苯基、通过NH基连接的直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过酰胺基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。R6:直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过羰基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。(5)—种可通过稀碱溶液显影的(1)~(4)的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂(B)为选自色调为绿色的着色剂及色调为蓝色的着色剂的组中的单一化合物或为混合物。(6)根据(1)~(5)的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,前述光聚合引发剂(C)为选自下述光聚下述通式(III)所示的肟酯系光聚合引发剂、[化学式3]—C=N—0—C—R8……(m)R70(式中,R7表示氢原子、苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数5~8的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯曱酰基(任选被碳原子数l~6的烷基或苯基取代)、R8表示苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数58的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯甲酰基(任选被碳原子数l~6的烷基或苯基取代)。)下述通式(IV)所示的ot-氨基苯乙酮系光聚合引发剂、^^E^。V2(式中,W和R"各自独立地表示碳原子数l~12的烷基或芳烷基,RH和R^各自独立地表示氬原子、碳原子数l~6的烷基、或RU与R"两者结合而成的环状烷醚基。)以及下述通式(V)所示的酰基氧化膦系光聚合引发剂[化学式5]R13o(式中,R"和R"各自独立地表示碳原子数1~IO的直链状或支链状的烷基、环己基、环戊基、芳基、烷氧基、或用卤原子、烷基或烷氧基取代的芳基、其中,R"和R"中一方任选表示R-C(二O)-基(这里,R为碳原子数l~20的烃基))(7)根据(6)所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,前述通式(III)所示的肟酯系光聚合引发剂(C)用下述式(VI)表示。~o~*C一CH3(V!》(8)根据(6)所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,前述通式(III)所示的肟酯系光聚合引发剂(C)用下述通式(VII)表示。[化学式7]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(式中,R"表示氢原子、卣原子、碳原子数112的烷基、环戊基、环己基、苯基、千基、苯曱酰基、碳原子数2~12的烷酰基、碳原子数2~12的烷氧羰基(构成烷氧基的烷基的碳原子数为2以上的情况下,烷基任选被l个以上羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、或苯氧基羰基,R16、R"各自独立地表示苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或囟原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上的羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数5~8的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯曱酰基(任选被碳原子数l~6的烷基或苯基取代),R"表示氢原子、苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上的羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数58的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯曱酰基(任选被碳原子数1~6的烷基或苯基取代))。(9)根据(1)~(8)的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,还含有(E)热固化成分。(10)根据(I)~(9)的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,组合物的色调位于绿色到蓝色的范围内。(11)一种光固化性的干膜,其是将前述(1)~(10)的任意一项所述的光固化性树脂组合物涂布在载体膜上并干燥而获得的。(12)—种固化物,其是将前述(1)~(10)的任意一项所述的光固化性树脂组合物或前述(11)所述的干膜在铜上光固化而获得的。(13)—种固化物,其是将前述(1)~(10)的任意一项所述的光固化性树脂组合物或(11)所述的干膜进行光固化而获得的。(14)一种印刷线路板,其是将前述(1)~(10)的任意一项所述的光固化性树脂组合物或(11)所述的干膜光固化后进行热固化而获得的。(15)—种包含前述(1)~(4)的任意一项所述的含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂的印刷线路板。(组合物以及阻焊剂的颜色定义)组合物以及阻焊剂的颜色可以用基于JISZ8721的色调环和孟塞尔色调环(财团法人日本色彩研究所主编新基本色表系列2蒙赛尔系统日本色研事业林式会社发行)中所表示的记号进行区别。色调在以下的范围(孟塞尔色调环参照图1)。红色从7RP到不足9R的范围橙色从9R到不足7YR的范围黄色从7YR到不足9Y的范围绿色从9Y到不足5BG的范围蓝色从5BG到不足3P的范围紫色从3P到不足7RP的范围在权利要求书和说明书的记载中,"绿色~蓝色的范围内"是指孟塞尔色调环中9Y3P的范围。此外,明度、彩度分别因基底(玻璃环氧基材或铜电路以及经表面处理的铜电路)而异,但优选彩度为l以上、不足16,明度为1以上、不足9;更优选彩度为2以上、不足15,明度为2以上、不足9(明度、彩度按照JISZ8102JISZ8721)。此外,其合适的测定条件优选为阻焊剂厚20~30pm且在铜电路上。另外,本发明中,印刷线路板是指在电绝缘性基板的表面上用丝网印刷法或光刻法等印刷技术形成有导体图案的基板,包括刚性线路板及挠性线路板。发明效果本发明提供一种组合物,其通过使用含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂,在调整紫外线区域吸收的同时具有充分的着色,在紫外线及激光曝光中为高感光度,进而干燥涂膜的指触干燥性良好。图l是示意孟塞尔色调环的说明图。图2是表示通过曝光、显影而获得的树脂组合物的截面形状的示意图,A~E分别表示不同的评价形状。图2中,la为线宽的设计值,lb为曝光、显影后的树脂组合物,lc为基板。图3是表示酞菁蓝中的颜料蓝15:3的吸光度特性图,横轴为波长、纵轴为吸光度。图4是表示通式(VIII)的吸光度特性图,横轴为波长,纵轴为吸光度。图5是表示通式(IX)的吸光度特性图,横轴为波长,纵轴为吸光度。图6是表示通式(XIII)的吸光度特性图,横轴为波长,纵轴为吸光度。具体实施例方式以下,对本发明的光固化性树脂组合物的各组成成分进行详细说明。(A)含羧酸树脂作为本发明的光固化性树脂组合物中包含的含羧酸树脂(A),可以使用分子中含有羧酸的公知常用的树脂化合物。进而,从光固化性和耐显影性方面出发,更优选分子中具有烯属不饱和双键的含羧酸感光性树脂(A,)。具体而言,可以列举出下述所举出的树脂。(1)通过将(甲基)丙烯酸等不饱和羧酸和l种以上除其以外的具有不饱和双键的化合物进行共聚而得到的含羧酸共聚树脂;(2)在(曱基)丙烯酸等不饱和羧酸与l种以上除其以外的具有不饱和双键的化合物的共聚物上,通过(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯等具有环氧基和不饱和双键的化合物、(曱基)丙烯酰氯等加成烯属不饱和基团作为侧链,从而得到的含羧酸感光性树脂;(3)使(曱基)丙烯酸缩水甘油酯、(曱基)丙烯酸3,4-环氧环己基曱酯等具有环氧基和不饱和双键的化合物与除其以外的具有不饱和双键的化合物共聚,使该共聚物与(曱基)丙烯酸等不^t包和羧酸反应,所生成的仲羟基与多元酸酐反应而得到的含羧酸感光性树脂;(4)使马来酸酐等具有不饱和双^t的酸酐与除其以外的具有不饱和双键的化合物共聚,使该共聚物与(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等具有羟基和不饱和双键的化合物反应而得到的含羧酸感光性树脂;(5)使多官能团环氧化合物与不饱和单羧酸反应,所生成的羟基与饱和或不饱和多元酸酐反应而得到的含羧酸感光性树脂;(6)使聚乙烯醇衍生物等含羟基聚合物与饱和或不饱和多元酸酐反应,然后使生成的羧酸与一分子中具有环氧基和不饱和双键的化合物反应而得到的含羟基和羧酸的感光性树脂;(7)使多官能团环氧化合物、不饱和单羧酸、一分子中具有至少l个醇羟基和l个与环氧基反应的醇鞋基以外的反应性基团的化合物反应,使该反应产物与饱和或不饱和多元酸酐反应而得到的含羧酸感光性树脂;(8)使一分子中具有至少2个氧杂环丁烷环的多官能团氧杂环丁烷化合物与不饱和单羧酸反应,使所得的改性氧杂环丁烷树脂中的伯羟基与饱和或不饱和多元酸酐反应所得的含羧酸感光性树脂;以及(9)使多官能团环氧树脂与不饱和单羧酸反应,然后使其与多元酸酐反应而得到的含羧酸感光性树脂再与分子中具有l个环氧乙烷环和l个以上烯属不饱和基团的化合物反应从而得到的含羧酸感光性树脂等,但并不受这些限定。上述例示中优选上述(2)、(5)、(7)的含羧酸树脂,特别是,从光固化性、固化涂膜特性方面出发,优选上述(9)的含羧酸感光性树脂。此外,本说明书中,(甲基)丙烯酸酯是统称丙烯酸酯、曱基丙烯酸酯及它们的混合物的用语,其它类似的表达也同样。如上所述的含羧酸树脂(A)由于主链聚合物的侧链具有多个游离的羧基,因此能通过稀碱性水溶液显影。此外,上述含羧酸树脂(A)的酸值在40~200mgKOH/的范围,更优选在45~120mgKOH/g的范围。含羧酸树脂的酸值不足40mgKOH/g的话,难以碱显影,另一方面,超过200mgKOH/g的话,显影液导致的曝光部的溶解过度进行,因此,线比需要的更细或者有时曝光部和未曝光部没有区别地在显影液中溶解剥离,难以描绘正常抗蚀剂图案,故不优选。此外,上述含羧酸树脂(A)的重均分子量因树脂骨架而不同,通常优选在2000~150000的范围,进一步优选在5000~100000的范围。重均分子量不足2000的话,有时不粘手性能恶化,曝光后的涂膜的耐湿性差,显影时发生膜减少,分辨率明显恶化。另一方面,重均分子量超过150000的话,有时显影性显著变差,储藏稳定性恶化。这样的含羧酸树脂(A)的配合量在全部组合物中为2060质量%,优选30~50质量%。少于上述范围的情况下,有时涂膜强度降低,故不优选。另一方面,多于上述范围的情况下,粘性变高或涂布性等降低,故不优选。(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂上述通式(I)所示的具有氨基蒽醌骨架的化合物在紫外线区域吸收小且/人350到400nm吸收的变化小。因此,通过将该化合物用作着色剂能够使光聚合引发剂有效地吸收所用的光源的光。其结果,能够期待组合物的高感光度化,能使光透射到底部而获得固化深度。特别是,使用结构不同的多种氨基蒽醌化合物的混合物作为着色剂的情况下,与使用单一的氨基蒽醌化合物作为着色剂的情况相比,能够以更少的量进行充分的着色,对高感光度化、高固化深度化有利。即,氨基蒽醌化合物对溶剂为可溶或微溶,因此含有溶剂时均匀分散或溶解。但是,氨基蒽醌化合物相对于本发明的组合物成分即含羧酸树脂等溶解性极差。因此,在将溶剂干燥的状态下,已溶解的氨基蒽醌容易析出成为粒状的结晶。由此,使用单一的氨基蒽醌化合物作为着色剂的情况下,为了抑制粒状结晶的产生,仅能够少量地使用。相对于此,已经确认通过使用结构不同的多种氨基蒽醌化合物,在干燥状态下不易引起粒状的结晶化,作为阻焊剂可看到充分的着色。这一见解是本发明人的新见解。此外,上述通式(I)所示的具有氨基蒽醌骨架的化合物中,上述通式(II)代表的取代基为多个的化合物,对提高干燥涂膜的指触干燥性有利。发明人推测这是由于包含该化合物的着色剂和含羧酸树脂间的相互作用而提高了软化点。这些包含氨基蒽醌化合物(B)的着色剂中,蓝或绿色的着色剂优选下述通式(VIII)~通式(XIII)所示的化合物。考虑到这些着色剂能获得充分的着色性、能获得高感光度性、高固化深度性,进而能获得指触干燥性,相对于100质量份含羧酸树脂(A),其配合量为0.010~5质量份、优选0.13质量份、特别优选0.5~2质量份。使用结构不同的多种具有氨基蒽醌骨架的化合物的情况下,能够增大其配合量而提高着色力,相对于100质量份含羧酸树脂(A),其配合量为0.010~5质量份、优选0.13质量份、特别优选0.5~2质量份。此外,在不影响本发明的目的的范围内,本发明允许包含着色剂(颜料、染料、色素任意均可)。这些着色剂例示如下。蓝色着色剂蓝色着色剂有酞菁系、蒽醌系,颜料系可列举出分类为颜并牛(Pigment)的化合物,具体而言,可列举^皮I武予如下所述的颜料索引(C丄TheSocietyofDyersandColourists7>司发行)编号的颜泮牛。颜料蓝15、颜料蓝15:1、颜料蓝15:2、颜料蓝15:3、颜料蓝15:4、颜冲牛蓝15:6、颜料蓝16、颜冲牛蓝60、染料系可以使用溶剂蓝35、溶剂蓝45、溶剂蓝63、溶剂蓝68、溶剂蓝70、溶剂蓝83、溶剂蓝87、溶剂蓝94、溶剂蓝97、溶剂蓝101、溶剂蓝104、溶剂蓝122、溶剂蓝136、溶剂蓝67、溶剂蓝70等。除上述之外,还可使用金属取代或无取代的酞菁化合物。绿色着色剂绿色着色剂同样有酞菁系、蒽醌系、茈系,具体而言,可使用颜料绿7、颜料绿36、溶剂绿3、溶剂绿5,溶剂绿20、溶剂绿28,等。除上述之外,还可使用金属取代或无取代的酞菁化合物。黄色着色剂黄色着色剂有单偶氮系、双偶氮系、缩合偶氮系、苯并咪唑酮系、异吲-呆啉酮系、蒽醌系等,具体而言,可列举以下着色剂。(蒽醌系)溶剂黄163、颜料黄24、颜料黄108、颜冲+黄193、颜并+黄147、颜料黄199、颜纟牛黄202(异吲哚啉酮系)颜详牛黄IIO、颜料黄109、颜料黄139、颜冲+黄179、颜料黄185(缩合偶氮系)颜料黄93、颜料黄94、颜料黄95、颜料黄128、颜料黄155、颜料黄166、颜冲+黄180颜详牛黄154、颜^f"黄156、颜料黄6,9,10,12,61,62,62:1,104,105,111,116,167,168,17,55,63,81,83,87,126,176,188,198(苯并。米哇酮)颜料黄120、颜冲+黄151175、颜并牛黄181(单偶氮)颜料黄l,2,3,4,5,65,73,74,75,97,100,169,182,183,(双偶氮)颜泮牛黄12,13,14,16127,152,170,172,174,红色着色剂红色着色剂有单偶氮、双偶氮、偶氮色淀系、苯并咪唑酮系、茈系、二酮吡咯并吡咯系、缩合偶氮系、蒽醌系、会吖啶酮系等。具体而言,可列举以下着色剂。(单偶氮)颜料红1,2,3,4,5,6,8,9,12,14,15,16,17,21,22,23,31,32,112,114,146,147,151,170,184,187,188,193,210,245,253,258,266,267,268,269,(双偶氮系)颜#+红37,38,41(单偶氮色淀)颜料红48:1,48:2,48:348:4,49:1,49:2,50:1,52:2,53:1,53:2,57:1,58:4,63:1,63:1,68(苯并。米哇酮)1,52:2,64:颜料红171、颜一牛红175、颜料红176、颜^牛红185、颜料红颜料红123、颜料红190、颜泮牛红149、颜泮牛红194颜料红颜料红208(茈)溶剂红135、溶剂红179、166、颜料红178、颜料红179、224(二酉同p比p各并p比p各系)颜泮牛红254、颜一牛红255、颜一牛红264、颜^牛红270、颜并牛红272(缩合偶氮)颜料红220、颜冲+红144、颜料红166、颜津牛红214、颜料红220、颜料红221、颜料红242(蒽醌系)颜一牛红168、颜料红177、颜料红216、溶剂红149、溶剂红150、溶剂红52、溶剂红207(,奎吖啶酮系)颜料红122、颜豸牛红202、颜料红206、颜豸牛红207、颜料红209此外,为了调整色调,还可以加入紫、橙、褐、黑等着色剂。具体例示的话,有颜料紫19、23、29、32、36、38、42,溶剂紫13、36C丄颜料橙l、C.I.颜料橙5、C.I.颜料橙13、C丄颜料橙14、C丄颜料橙16、C丄颜料橙17、C丄颜料橙24、C丄颜料橙34、C丄颜料橙36、C丄颜料橙38、C丄颜料橙40、C.I.颜料橙43、C丄颜料橙46、C丄颜料橙49、C丄颜料橙51、C丄颜料橙61、C丄颜料橙63、C丄颜料橙64、C.I.颜料橙71、C丄颜料橙73C丄色素褐23、C.I.色素褐25;C丄色素黑1、C丄色素黑7等。(C)光聚合引发剂作为光聚合引发剂(C),优选使用选自下述所组成的组中的l种以上的光聚合引发剂具有上述通式(III)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂、具有上述通式(IV)所示的基团的a-氨基苯乙酮系光聚合引发剂以及具有上述通式(V)所示的基团的酰基氧化膦系光聚合引发剂。作为具有上述通式(ni)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂,更优选上述式(VI)2-(乙酰氧基亚胺基曱基)噻吨-9-酮、和具有上述通式(VII)所示的基团的化合物。作为市售品可歹'J举出CibaSpecialtyChemicals制的CGI-325、IRGACUREOXEOl、IRGACUREOXE02等。这些肘酯系光聚合引发剂可单独4吏用或组合2种以上使用。作为具有前述通式(IV)所示的基团的a-氨基苯乙酮系光聚合引发剂,可列举出2-曱基-1-[4-(曱基硫)苯基]-2-吗啉代丙酮-1、2-千基-2-二曱基氨基-1-(4-吗啉代苯基)_丁烷_1_酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-曱基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮、N,N-二甲基氨基苯乙酮等。作为市售品,可列举出CibaSpecialtyChemicals制的IRGACURE907、IRGACURE369、IRGACURE379等。作为具有前述通式(V)所示的基团的酰基氧化膦系光聚合引发剂,可列举出2,4,6-三甲基苯曱酰基二苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯曱酰基)-苯基氧化膦、双(2,6-二曱氧基苯甲酰基)-2,4,4-三曱基-戊基氧化膦等。作为市售品,可列举出BASF公司制的LucirinTPO、CibaSpecialtyChemicals制的IRGACURE819等。这样的光聚合引发剂(C)的配合量,相对于100质量份前述含羧酸树脂(A)可从O.Ol~30质量份、优选0.5~15质量份的范围中选择。不足0.01质量份的话,在铜上的光固化性不足,涂膜剥离或耐化学药品性等涂膜特性降低,故不优选。另一方面,超过30质量份的话,光聚合引发剂(C)在阻焊剂涂膜表面的光吸收变得激烈,有深部固化性降低的趋势,故不优选。此外,具有前述通式(III)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂的情况下,其配合量相对于100质量份前述含羧酸树脂(A),期望从优选O.Ol~20质量份、更优选O.Ol~5质量份的范围中选择。聚合引发剂、光引发助剂及敏化剂,例如,可列举出苯偶姻化合物、苯乙酮化合物、蒽醌化合物、p塞吨酮化合物、缩酮化合物、二苯曱酮化合物、卩占吨酮化合物、和叔胺化合物等。列举苯偶姻化合物的具体例子的话,例如,苯偶姻、苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚。列举苯乙酮化合物的具体例子的话,例如,苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、l,l-二氯苯乙酮。列举蒽醌化合物的具体例子的话,例如,2-曱基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、l-氯蒽醌。列举p塞吨酮化合物的具体例子的话,例如,2,4-二曱基瘗,,屯酮、2,4-二乙基p塞p屯酮、2-氯p塞p屯酮、2,4-二异丙基p塞p屯酮。列举缩酮化合物的具体例子的话,例如,苯乙酮二甲基缩酮、千基二曱基缩酮。列举二苯曱酮化合物的具体例子的话,例如,二苯甲酮、4-苯甲酰基二苯基硫醚、4-苯甲酰基-4,-曱基二苯基硫醚、4-苯曱酰基-4,-乙基二苯基硫醚、4-苯甲酰基-4,-丙基二苯基硫醚。列举叔胺化合物的具体例子的话,例如,乙醇胺化合物、具有二烷基氨基苯结构的化合物、例如,4,4,-二甲基氨基二苯曱酮(日本曹达/>司制-、_y乂《-7—MABP)、4,4,_二乙基氨基二苯曱酮(保土谷化学公司制EAB)等二烷基氨基二苯曱酮、7-(二乙基氨基)_4-曱基_2H-1_苯并吡喃-2_酮(7-(二乙基氨基)-4-曱基邻吡喃酮)等含二烷基氨基的邻吡喃酮化合物、4-二甲基氨基安息香酸乙酯(日本化药公司制力弋軒工7—EPA)、2-二甲基氨基安息香酸乙酯(4>夕一大,>3大乂l乂《4才-、>>七工r4y夕^司制QuantacureDMB)、4-二曱基氨基安息香酸(正丁氧基)乙基(47夕一大、二3大7《寸才-,>>七工r4、乂夕^7>司制QuantacureBEA)、对二曱基氨基安息香酸异戊基乙酯(日本化药公司制力弋軒二7—DMBI)、4-二曱基氨基安息香酸2-乙基己酉旨(VanDyk公司制Eso101507)、4,4,-二乙基氨基二苯曱酮(保土谷化学^^司制EAB)。上述之中,优选p塞吨酮化合物和叔胺化合物。从深部固化性方面出发,优选含有p塞吨酮化合物,其中,优选2,4-二曱基p塞吨酮、2,4-二乙基瘗吨酮、2-氯瘗吨酮、2,4-二异丙基"塞吨酮等蓬吨酮化合物。作为这样的噻吨酮化合物的配合率,相对于100质量份上述含羧酸树脂(A)优选为20质量份以下、更优选10质量份以下。p塞吨酮化合物的配合率过多的话,厚膜固化性降低,并与产品成本提高有关,故不优选。作为叔胺化合物,优选具有二烷基氨基苯结构的化合物,其中特别优选二烷基氨基二苯甲酮化合物、最大吸收波长在350~410nm的含二烷基氨基的邻吡喃酮化合物。作为二烷基氨基二苯甲酮化合物的4,4'-二乙基氨基二苯甲酮毒性低,故优选。最大吸收波长在350~410nm的含二烷基氨基的邻吡喃酮化合物由于最大吸收波长位于紫外线区域,因此着色少,原本为无色透明的感光性组合物,使用着色颜料则能提供反映着色颜料自身颜色的着色阻焊剂膜。特别是,7-(二乙基氨基)-4-甲基-2H-1-苯并吡喃-2-酮对波长400~410nm的激光显示优异的敏化效果,故优选。这样的叔胺化合物的配合率相对于IOO质量份前述含羧酸树脂(A)优选为O.l~20质量4分、更优选O.l~10质量^f分的比例。叔胺化合物的配合率不足0.1质量份的话,存在无法获得充分的敏化效果的趋势。超过20质量份的话,叔胺化合物引起的在干燥阻焊剂涂膜表面的光吸收变剧烈,存在深部固化性降低的趋势。这些光聚合引发剂、光引发助剂和敏化剂可以单独使用或以2种以上的混合物形式^f吏用。(D)分子中具有2个以上烯属不饱和基团的化合物本发明的光固化性树脂组合物中使用的分子中具有2个以上烯属不饱和基团的化合物(D),通过活性能量线照射而光固化,使前述含羧酸树脂(A)不溶于碱性水溶液、或有助于不溶化。这样的化合物可列举出乙二醇、曱氧基四乙二醇、聚乙二醇、丙二醇等二醇的二丙烯酸酯类;己二醇、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、三羟乙基异氰尿酸酯等多元醇或它们的环氧乙烷加成物或环氧丙烷加成物等多元丙烯酸酯类;丙烯酸苯氧基酯、双酚A二丙烯酸酯以及这些酚类的环氧乙烷加成物或环氧丙烷加成物等多元丙烯酸酯类;甘油二缩水甘油醚、甘油三缩水甘油醚、三羟曱基丙烷三缩水甘油醚、三缩水甘油基异氰尿酸酯等缩水甘油醚的多元丙烯酸酯类;及蜜胺丙烯酸酯和/或与上述丙烯酸酯相应的各曱基丙烯酸酯类等。此外,可列举甲盼酚醛清漆型环氧树脂等多官能环氧树脂与丙烯酸反应生成的环氧丙烯酸酯树脂,进而该环氧丙烯酸酯树脂的羟基与季戊四醇三丙烯酸酯等羟基丙烯酸酯及异佛尔酮二异氰酸脂等二异氰酸酯的半尿烷酯化合物反应的环氧尿烷丙烯酸酯化合物等。这样的环氧丙烯酸酯系树脂能够提高光固化性而不降低指触干燥性。这样的分子中具有2个以上烯属不饱和基团的化合物(D)的配合量相对于100质量份前述含羧酸树脂(A)为5~IOO质量份、更优选l~70质量份的比例。前述配合量不足5质量份的情况下,光固化性降低,难以通过活性能量线照射后的碱显影形成图案,故不优选。另一方面,超过100质量份的情况下,相对于碱性水溶液的溶解性降低,涂膜变脆,故不优选。(E)热固化成分为了赋予耐热性,本发明的光固化性树脂组合物中可以加入热固化成分。特别优选的是分子中具有2个以上环状醚基和/或环状硫醚基(以下简称环状(硫)醚基)的热固化性成分(E)。这样的分子中具有2个以上环状(硫)醚基的热固化性成分(E)是分子中具有2个以上的3、4或5元环的环状醚基、或环状硫醚基的任意一方或2种基团的化合物,例如,可列举出分子内具有至少2个以上环氧基的化合物即多官能环氧化合物(El)、分子内具有至少2个以上氧杂环丁烷基的化合物即多官能氧杂环丁烷化合物(E2)、分子内具有2个以上硫醚基的化合物即环硫树脂(E3)等。作为前述多官能环氧化合物(El),例如,可列举JapanEpoxyResinsCo.,:Ltd.制的Epikote828、Epikote834、Epikote1001、Epikote1004、大日本油墨化学工业公司制的Epiclon840、Epiclon850、Epiclon1050、Epiclon2055、东都化成7>司制的EpototeYD-011、YD—013、YD—127、YD-128、DowChemical公司制的D.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、CibaSpecialtyChemicals制的Araldite6071、Araldite6084、AralditeGY250、AralditeGY260、住友化学工业/>司制的SumiepoxyESA-011、ESA—014、ELA—115、ELA-128、旭化成工业7>司制的A.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(均为商品名)双酚A型环氧树脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的EpikoteYL903、大日本油墨化学工业公司制的Epiclon152、Epiclon165、东都化成公司制的EpototeYDB-400、YDB-500、DowChemical乂>司制的D.E.R.542、CibaSpecialtyChemicals制的Araldite8011、住友化学工业公司制的SumiepoxyESB-400、ESB-700、旭4匕成工业乂>司制的A.E.R.711、A.E.RJM等(均为商品名)溴化环氧树脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的Epikote152、Epikote154、DowChemical公司制的D.E.N.431、D.E.N.438、大日本油墨化学工业公司制的EpiclonN-730、EpiclonN-770、EpiclonN—865、东都化成乂>司制的EpototeYDCN-701、YDCN-704、CibaSpecialtyChemicals制的AralditeECN1235、AralditeECN1273、AralditeECN1299、AralditeXPY307、日本化药公司制的EPPN-201、EOCN-1025、EOCN-1020、EOCN-104S、RE-306、住友化学工业公司制的SumiepoxyESCN-195X、ESCN-220、旭化成工业公司制的A.E.R.ECN-235、ECN-299等(均为商品名)酚醛清漆型环氧树脂;大日本油墨化学工业公司制的Epiclon830、JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制Epikote807、东老卩4匕成公司制的EpototeYDF-170、YDF-175、YDF-2004、CibaSpecialtyChemicals制的AralditeXPY306等(均为商品名)双酴F型环氧树脂;东都化成公司制的EpototeST-2004、ST-2007、ST-3000(商品名)等氩化双酚A型环氧树脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的Epikote604、东都化成公司制的EpototeYH—434、CibaSpecialtyChemicals制的AralditeMY720、住友化学工业公司制的SumiepoxyELM-120等(均为商品名)缩水甘油基胺型环氧树脂;CibaSpecialtyChemicals制的AralditeCY-350(商品名)等乙内酰脲型环氧树脂;DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制的Celoxide2021、CibaSpecialtyChemicals制的AralditeCY175、CY179等(均为商品名)月旨环式环氧杉十脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的YL-933、DowChemicak^司制的T.E.N.、EPPN—501、EPPN-502等(均为商品名)三羟苯基甲烷型环氧树脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的YL-6056、YX-4000、YL-6121(均为商品名)等的联二甲苯酚型或联苯酚型环氧树脂或它们的混合物;日本化药公司制EBPS-200、旭电化工业7^司制EPX-30、大日本油墨化学工业公司制的EXA-1514(商品名)等双酚S型环氧树脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的Epikotel57S(商品名)等只又盼A酚醛清漆型环氧树脂;JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的EpikoteYL-931、CibaSpecialtyChemicals制的Aralditel63等(均为商品名)四羟苯基乙烷型环氧树脂环氧树脂;CibaSpecialtyChemicals制的AralditePT810、日产化学工业公司制的TEPIC等(均为商品名)杂环式环氧树脂;日本油脂公司制BlemmerDGT等邻苯二曱酸二缩水甘油酯树脂;东都化成公司制ZX-1063等四缩水甘油基二曱苯酰基乙烷(tetraglycidylxylenoylethane)树脂;新日铁化学^>司制ESN-190、ESN-360、大日本油墨"匕学工业7>司制HP-4032、EXA-4750、EXA-4700等含萘基环氧树脂;大日本油墨化学工业公司制HP-7200、HP-7200H等具有二环戊二烯骨架的环氧树脂;日本油脂公司制CP-50S、CP-50M等甲基丙烯酸缩水甘油酯共聚系环氧树脂;以及环己基马来酰亚胺和甲基丙烯酸缩水甘油酯的共聚环氧树脂;环氧改性的聚丁二烯橡胶衍生物(例如DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造的PB-3600等)、CTBN改性环氧树脂(例如东都化成公司制的YR-102、YR-450等)等,但不限于这些。这些环氧树脂可以单独使用或者将2种以上组合使用。这些之中,特别优选酚醛清漆型环氧树脂、杂环式环氧树脂、双酚A型环氧树脂或这些的混合物。作为前述多官能氧杂环丁烷化合物(E2),可列举出双[(3-曱基-3-氧杂环丁烷基曱氧基)曱基]醚、双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基曱氧基)甲基]醚、1,4-双[(3-曱基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)曱基]苯、1,4-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基曱氧基)曱基]苯、(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)曱基丙烯酸酯、(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)曱基丙烯酸酯、曱基丙烯酸(3-曱基_3-氧杂环丁烷基)曱酯、曱基丙烯酸(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲基酯或它们的寡聚物或共聚物等多官能氧杂环丁烷类,以及氧杂环丁烷醇和酚醛清漆树脂、聚(对羟基苯乙烯)、cardo型双酚类、杯芳烃类、间苯二酚杯芳烃(calixresorcinarene)类或倍半娃氧烷(silsesquioxane)等具有羟基的树脂的醚化物等。此外,还可以列举具有氧杂环丁烷环的不饱和单体和(曱基)丙烯酸烷基酯的共聚物等。作为前述分子中具有2个以上环状硫醚基的化合物(E3),例如,可列举出JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制的双酚A型环硫树脂YL7000等。此外,还可以使用用同样的合成方法将酚醛清漆型环氧树脂的环氧基的氧原子置换成硫原子的环硫树脂等。前述分子中具有2个以上环状(硫)醚基的热固化性成分(E)的配合量优选为相对于前述含羧酸树脂的1当量羧基为0.6~2.5当量、更优选在0.82.0当量的范围。分子中具有2个以上环状(硫)醚基的热固化性成分(E)的配合量不足0.6的情况下,阻焊剂膜中残留有羧基,耐热性、耐碱性、电绝缘性等将降低,故不优选。另一方面,超过2.5当量的情况下,低分子量的环状(硫)醚基残留在干燥涂膜上,导致涂膜强度等降低,故不优选。使用上述分子中具有2个以上环状(硫)醚基的热固化成分(E)的情况下,优选含有热固化催化剂。作为这类热固化催化剂,例如,可列举出咪唑、2-曱基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-曱基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、1-氰基乙基_2_苯基。米哇、1-(2—氰基乙基)-2-乙基_4_曱基咪唑等咪唑衍生物;双氰胺、节基二曱基胺、4-(二曱基氨基)-N,N-二甲基千基胺、4-曱氧基-N,N-二曱基苄基胺、4-曱基-N,N-二曱基千基胺等胺化合物、己二酸二酰肼、癸二酸二酰肼等酰肼化合物;三苯基膦等磷化合物等,另外作为市售的热固化剂,例如四国化成工业乂^司制的2MZ-A、2MZ-OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(均为咪唑系化合物的商品名)、SAN-APRO公司制的U-CAT3503N、U—CAT3502T(均为二曱基胺的嵌段异氰酸脂化合物的商品名)、DBU、DBN、U-CATSA102、U-CAT5002(均为二环式脒化合物及其盐)等。特别是,并不限于这些,只要是环氧树脂或氧杂环丁烷化合物的热固化催化剂、或促进环氧基和/或氧杂环丁烷基和羧基的反应的物质即可,可单独^f吏用或将2种以上混合4吏用。此外,还可以使用胍胺、乙酰胍胺、苯并胍胺、蜜胺、2,4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧乙基-均三嗪、2-乙烯基-4,6-二氨基-均三嗪、2-乙烯基-4,6-二氨基-均三嗪异氰尿酸加成物、2,4-二氨基_6-曱基丙烯酰氧乙基-均三嗪异氰尿酸加成物等均物与前述热固化催化剂。这些热固化催化剂的配合量按照通常的量的比例即已充分,例如相对于100质量份的含羧酸树脂(A)或分子中具有2个以上环状(硫)醚基的热固化性成分(E),优选O.l~20质量份、更优选0.5~15.0质量份。填料本发明的光固化性树脂组合物为了提高其涂膜的物理强度等,可根据需要配合填料。作为这样的填料,可使用公知常用的无机或有机填料,特别优选使用硫酸钡、球状二氧化硅和滑石。此外,还可以使用在具有l个以上烯属不饱和基团的化合物或前述多官能环氧树脂(El)中分散有纳米二氧化硅的Hanse-Chemie乂/^司制的NANOCRYL(商品名)XP0396、XP0596、XP0733、XP0746、XP0765、XP0768、XP0953、XP0954、XP1045(均为产品系列名)、Hanse-Chemie公司制的NANOPOX(商品名)XP0516、XP0525、XP0314(均为产品系列名)。这些可以单独配合或配合2种以上。这些填料的配合量相对于100质量份上述含羧酸树脂(A)优选为300质量份以下、更优选O.l~300质量份、特别优选O.l~150质量份。填料的配合量超过300质量份的情况下,光固化性树脂组合物的粘度变高,印刷性降低,或者固化物变脆,故不优选。有机溶剂此外,为了合成上述含羧酸树脂(A)或调整组合物或者是为了调整涂布到基板、载体膜的粘度,本发明的光固化性树脂组合物可以使用有机溶剂。作为这样的有机溶剂,可以列举出酮类、芳香族烃类、二醇醚类、二醇醚醋酸酯类、酯类、醇类、脂肪族烃、石油系溶剂等。更具体而言,是甲基乙基酮、环己酮等酮类;曱苯、二曱苯、四曱基苯等芳香族烃类;溶纤剂、曱基溶纤剂、丁基溶纤剂、卡必醇、曱基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇二乙醚、三乙二醇单乙醚等二醇醚类;醋酸乙酯、醋酸丁酯、二丙二醇曱醚醋酸酯、丙二醇曱醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯等酯类;乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇等醇类;辛烷、癸烷等脂肪族烃;石油醚、石脑油、氩化石脑油、溶剂石脑油等石油系溶剂等。这样的有机溶剂可以单独4吏用或以2种以上的混合物形式4吏用。其它配合成分本发明的光固化性树脂组合物根据需要还可以配合氢醌、氢醌单曱醚、叔丁基邻苯二酚、连苯三酚、吩噻嗪等公知常用的热阻聚剂、微粉二氧化硅、有机膨润土、蒙脱土等公知常用的增稠剂、硅酮系、氟系、高分子系等消泡剂和/或流平剂、咪唑系、瘗唑系、三唑系等硅烷偶联剂、抗氧化剂、防锈剂等这些公知常用的添加剂类。此外,在不妨碍本发明的目的的范围内,本发明除了可以配合苯偶姻化合物、苯乙酮化合物、蒽醌化合物、瘗吨酮化合物、缩酮化合物、二苯甲酮化合物、卩占吨酮化合物、和^又胺化合物等所代表物质外,还可以配合其他光聚合引发剂、光引发助剂和敏化剂。本发明的光固化性树脂组合物其色调优选绿色或蓝色。这样的色调可通过配合单一的着色剂或多种着色剂的混合物而获3曰付。千膜、固化物、印刷线路板到载体膜上并干燥,由此获得光固化性热固化性的干膜。本发明的光固化性组合物或该干膜通过在铜上光固化而成为固化物。光固化可通过紫外线曝光装置进行,但也可通过激光发射光源、特别是通过波长为350410nm的激光而固化。本发明的印刷线路板是通过这样光固化后再热固化而获得的。具体而言,如下所述地形成干膜、固化物、印刷线路板。即,本发明的光固化性树脂组合物用例如前述有机溶剂调整到适合于涂布方法的粘度,在基材上通过浸涂法、流涂法、辊涂法、棒涂法、丝网印刷法、幕帘式涂布法等方法进行涂布,用约60~100。C的温度使组合物中包含的有机溶剂挥发而干燥(暂时干燥),由此能够形成不粘手的涂膜。此外,将上述组合物涂布到载体膜上并干燥,然后巻绕成薄膜,再将其贴合到基材上,由此能够形成树脂绝缘层。然后,通过接触式(或非接触方式),隔着形成有图案的光掩模用活性能量线选择性曝光或通过激光直接曝光机直接进行图案曝光,将未曝光部用稀碱性水溶液(例如0.3~3%碳酸钠水溶液)进行显影而形成抗蚀剂图案。进而,在含有热固化成分(E)的组合物的情况下,通过加热到例如约140~180。C的温度而热固化,由此,前述含羧酸树脂(A)的羧基和分子中具有2个以上环状醚基和/或环状碌u醚基的热固化性成分反应,能够形成耐热性、耐化学药品性、耐吸湿性、密合性、电特性等诸特性优异的固化涂膜。另外,即使不含热固化性成分(E)的情况下,通过进行热处理,也能使曝光时以未反应的状态残留的烯属不饱和键进行热自由基聚合而提高涂膜特性,因此也可根据目的、用途而进行热处理(热固化)。作为上述基材,可列举出使用纸酚醛树脂、纸环氧树脂、玻璃布环氧树脂、玻璃聚酰亚胺、玻璃布/无纺布环氧树脂、玻璃布/纸环氧树脂、合成纤维环氧树脂、氟聚乙烯聚苯醚(PPO)氰酸酯等的高频电路用覆铜层压板等材质的所有系列(FR-4等)的覆铜层压板,以及聚酰亚胺薄膜、PET薄膜、玻璃基板、陶覺基板、晶圆板等。涂布本发明的光固化性树脂组合物后进行的挥发干燥可以使用热风循环式干燥炉、IR炉、电热板、对流烘箱等(使用具备利用蒸汽的空气加热方式的热源的装置,使干燥机内的热风对流接触的方法和通过喷嘴对支持体进行吹送的方式)进行。如下面所述那样,涂布本发明的光固化性树脂组合物并挥发干燥后,对所得到的涂膜进行曝光(照射活性能量线)。涂膜的曝光部(被活性能量线照射的部分)固化。作为上述活性能量线照射所使用的曝光机激光,可以使用直接描绘装置(激光直接成像装置)、搭载有金属囟化物灯的曝光机、搭载有(超)高压汞灯的曝光机、搭载有水银短弧灯的曝光机、或使用(超)高压汞灯等紫外线灯的直接描绘装置。作为活性能量线,使用最大波长在350~410nm范围的激光的话,则气体激光、固体激光任意均可。此外,其曝光量因膜厚等而不同,但通常可在5~200mJ/cm2、优选5~100mJ/cm2、更优选在5~50mJ/cn^的范围内。作为上述直接描绘装置,可使用例如OrbotechJapanCo.,Ltd.生产、PENTAX公司生产等的产品,只要是发出最大波长在350~410nm的激光的装置就可以使用任意的装置。作为前述显影方法,可以通过浸渍法、喷淋法、喷射法、涂刷法等,作为显影液,可使用氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、碳酸钾、磷酸钠、硅酸钠、氨、胺类等》威性水溶液。二A六H下面示出实施例和比较例来更具体地说明本发明,但本发明当然不受下述实施例的限定。树脂合成例l在具备搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗和氮气导入管的2升可拆式烧瓶中,导入甲酚酚醛清漆型环氧树脂(曰本4匕药(4朱)制,EOCN-104S,库欠^f匕点92。C,环氧当量220)660g、卡必醇醋酸酉旨421.3g以及溶剂石脑油180.6g,加热到90°C并搅拌而溶解。4妻着,暂时冷却到60。C,加入丙烯酸216g、三苯基膦4.0g、甲基氢醌1.3g,在100。C下反应12小时,得到酸值为0.2mgKOH/g的反应产物。向其中加入四氢邻苯二甲酸酐241.7g、力。热到90。C反应6小时。由此,得到酸值50mgKOH/g、双键当量(每l摩尔不饱和基团的树脂的g重量)400、重均分子量7000的含羧酸树脂(A)的溶液。下面将该含羧酸树脂的溶液称为A-l清漆。配合例将实施例和比较例所示的各种成分按照配合例的比例(质量份)进行配合,用搅拌机预混后,通过3辊辊磨机混炼,调制成阻焊剂用感光性树脂组合物。这里,对感光性树脂组合物的分散度通过ERICHSEN公司生产的grindmeter进行粒度测定的评价,结果为15(im以下。比较例l-6均为未配合本发明的"(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂"的例子。A成分A-1清漆154份(固体成分100份)B成分氨基蒽醌化合物参照表C成分光聚合引发剂参照表D成分二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA/日本化药制)20/入'i刀E成分苯酚酚醛清漆型环氧树脂(DowChemical公司制DEN-431)15份联二曱苯酚型环氧树脂(JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制YX-4000)25份其它成分硫酸钡(辦化学公司制硫酸钡B30)100份热固化催化剂双氰胺0.3份颜料参照表硅酮系消泡剂3份DPM(二丙二醇单甲醚)5份表l<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>特性评价使用OrbotechJapanCo.,Ltd.制355nm激光曝光机。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>表45w激光鼸光的情况下蓝<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>表6<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>表8<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>特性评价使用OrbotechJapanCo.,Ltd.制355nm激光曝光机。表9<table>tableseeoriginaldocumentpage42</column></row><table>表IO<table>tableseeoriginaldocumentpage42</column></row><table>特性评价使用ORCMANUFACTURINGCO.,LTD.制的搭载有水银短弧灯的曝光机。*1:2-(乙酰氧基亚胺基甲基)噻吨-9-酮*2:1-[9-乙基-6-(2-曱基苯甲酰基)-9H-。卡唑-3-基]-1-(0-乙酰肝)乙酮*3:2,4,6-三甲基苯曱酰基-二苯基-氧化膦*4:Irg.369(CibaSpecialtyChemicals公司生产)特性评价使用搭载有水银短弧灯的ORC公司的EXP-2960。另外,实施例中使用的氨基蒽醌系着色剂分别用下述式(VIII)、式(IX)、式(X)、式(XI)、式(XII)和式(XIII)表示。(鹏》《ii)《x)[化学式ii]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>(謹》邻,OH0HN性能评价〈最佳曝光量/感光度〉将铜厚35pm的电路图案基板进行抛光研磨后,水洗、干燥,然后通过丝网印刷法整面涂布前述实施例和比较例的光固化性树脂组合物,用80°C的热风循环式干燥炉干燥60分钟。干燥后,使用搭载有最大波长355nm的半导体激光的直接描绘装置或搭载有水银短弧灯的曝光装置,隔着阶段式曝光表(KodakNo.2)进行曝光,以显影(30°C、0.2MPa、l质量%碳酸钠水溶液)60秒时残留的阶段式曝光表的图案为7段时作为最佳曝光量。<分辨率和线形状〉将线/间隔为300/300、铜厚35pm的电路图案基板进行抛光研磨后,水洗、干燥,然后通过丝网印刷法涂布实施例和比较例的光固化性树脂组合物,用80。C的热风循环式干燥炉干燥30分钟。干燥后,使用搭载有最大波长355nm的半导体激光的直接描绘装置或搭载有水银短弧灯的曝光装置进行曝光。曝光图案使用在间隔部描绘有20/30/40/50/60/70/80/90/1OOjim的线的直描用数据或使用光掩模。曝光量为照射活性能量线以达到感光性树脂组合物的最佳曝光量。曝光后,通过30°(3的1质量%碳酸钠水溶液进行显影、描绘图案,通过15(TCx60分钟的热固化而得到固化涂膜。化性树脂组合物的固化涂膜的最小残留线(分辨率)。此外,将线中央部切断进行镜面精加工后,使用调整为1000倍的光学显微镜测量固化涂膜的最小残留线的上部径、下部径、膜厚的数值。将此时的形状如图所示进行AE的评价(线形状)。将该形状分成AE5级进行评价。特别是,为A评价的情况为线上部、下部与设计值的偏差均在5jxm以内。A评价按照设计宽度的理想状态B评价发生由耐显影性不足等导致的表面层的腐蚀底切一犬态发生暈影等导致线变粗发生表面层的线变粗和底切这里,不仅仅是A评价,C评价、D评价也为可以用作阻焊剂的水平。相对于此,B评价的表面固化性不充分,外观和电特性差,E评价的线、底切部容易剥离,是无法作为阻焊剂使用的水平。<指触干燥性>通过丝网印刷将上述各实施例和比较例的组合物整面涂布在形成有图案的铜箔基板上,在80。C下干燥20分钟,放置冷却到室温。在该基板上放上PET制负型薄膜,用ORC公司制(EXP-2960)在减压条件下压粘一分钟,然后,评价将负型薄膜剥离时的薄膜的粘贴状态。o:薄膜能没有阻力地剥离。C评价:D评价E评价:△:薄膜能剥离,但涂膜上留有少量痕迹。x:薄膜剥离时有阻力,涂膜上痕迹清晰可见。特性试验评价基板制作法通过丝网印刷将上述各实施例和比较例的组合物整面涂布到形成有图案的铜箔基板上,在80°C下干燥20分钟,放置冷却到室温。用搭载有最大波长355nm的半导体激光的直接描绘装置或搭载有水银短弧灯的曝光装置以最佳曝光量对该基板进行阻焊剂图案的曝光,将3(TC的P/。Na2C03水溶液在喷射压力0.2MPa的条件下显影60秒钟,获得抗蚀剂图案。用UV传送式炉在累积曝光量1000mJ/cn^的条件下对该基板进行紫外线照射后,在150。C下加热60分钟进行固化。对获得的印刷基板(评价基板)如下述那样进行特性评价。<色调>对上述实施例和比较例的碱显影型阻焊剂,目视判断固化物的颜色。<焊锡耐热性〉将涂布有松香系焊剂的评价基板浸渍到预先设定为260°C的焊锡槽中,用改性醇洗涤焊剂后,目视评价抗蚀剂层的膨胀、剥离。判定基准如下。o:即使将浸渍10秒钟重复6次以上也看不到剥离。△:将浸渍10秒钟重复6次以上的话,少量剥离。x:将浸渍10秒钟进行6次以内,即有抗蚀剂层膨胀、剥离。<耐化学镀金性>使用市售品的化学镀镍浴和化学镀金浴,在镍0.5pm、金0.03(im的条件下进行镀敷,通过带剥离评价抗蚀剂层有无剥离和镀敷有无渗入,然后在前述焊锡耐热性的试验条件下,在焊料槽中浸渍10秒钟,洗涤,干燥后,通过带剥离评价抗蚀剂层o:镀敷后完全看不到变化,焊接后也没有剥离。△:镀敷后仅看到一点剥离、渗入,能看到焊接后的剥离。x:镀敷后有剥离。<耐电々虫,性〉使用IPCB-25的梳型电极B样片代替铜箔基板,在上述的条件下制作评价基板,对该梳型电极施加DC100V的偏压,确认在85。C、85。/。R.H.的恒温恒湿槽中1000小时后有无迁移。判定基准如下。o:几乎看不到变化的△:变色的x:发生迁移的<耐酸性〉将评价基板在室温下在10vo10/。H2S04水溶液中浸渍30分钟,确认渗入、涂膜的溶出以及带剥离导致的剥离。判定基准如下。o:无;参入、;容出、剥离。△:可看到少量渗入、溶出或剥离。x:可看到大量的渗入、溶出或剥离。由表l表6所示的结果可知,本发明的实施例的任意一个感光度、指触干燥性、分辨率、线形状均优异。相对于此,未配合本发明的着色剂的任意一个比较例指触干燥性、分辨率都比本发明的实施例差,像本发明的实施例那样感光度、指触干燥性、分辨率、线形状均优异的例子并不存在。另外,作为追加试验,将实施例ll~15的组合物用搭载有超高压汞灯的直接描绘装置(大日本只夕ij一^制造公司制的Mercurex)来代替搭载有水银短弧灯的曝光装置来制作评价基板。进行涂膜特性评价,结果获得与使用搭载水银短弧灯的曝光机时完全相同的结果。〈:L承a承b氺测定〉通过上述评价基板制作方法制作实施例、比较例的固化涂膜。制做涂膜以使干燥后膜厚为25士2pm。所得的固化涂膜使用分光色度计(spectroscopiccolorimeter)测定颜色。分光色度计颜色计使用KONICAMINOLTA公司制CM-2600d,表色体系使用CIEI^a^、将在铜箔基板上的均匀涂膜表面(铜电路上)、在SCI模式下测定的值作为测定颜色值。实施例对实施例23、24、25在水银短弧灯曝光的基础上,光源使用作为超高压汞灯的直描曝光机即大日本只夕'J一》制造公司制Mercurex进行曝光时,为与实施例23、24、25几乎相同的结果。实施例将按照与实施例16和23相同配方制备的感光性树脂组合物用曱基乙基酮稀释,涂布到载体膜上,加热干燥,形成厚20pm的感光性树脂组合物层,在8(TC的热风干燥器中干燥30分钟。进而在其上贴合覆盖薄膜而得到干膜。然后,剥下覆盖薄膜,在形成有图案的铜箔基板上,将薄膜进行热层压,接着,同样进行曝光,曝光后剥下载体膜,在150。C的热风干燥器中进行60分钟的加热固化而制作试验基板。对获得的具有固化皮膜的试验基板,按照后述试验方法和评价方法,进行各特性的评价试^r。结果与实施例16和23相同。比專交例对色调良好的阻焊剂即市售品的太阳油墨制造公司制PSR-4000的各个型号同样进行1^3*1*的测定。(表ll)通常市售的阻焊剂也由于膜厚、基材的铜的前处理,绿色的LM直为4060、aM直为-10-28,bM直为618、蓝色的LM直为4060、aM直为一10~-28,b承值为-6~-18。这些阻焊剂色调良好,但本发明的目的的相对于直描曝光感光度变得过高,进行355nm激光曝光(使用才A水,?夕社Paragon8000)时分辨率(线形状)的评1介均为E。表ll355nm激光曝光PSR-4000G23KPSR-4000GEC50PSR-4000SP08PSR-4000BEC50色调绿绿绿jmL"直54.947.757.246.2&*值-22.4-21.8-13.3-21.2b"直14.713.717.7-6.5感光度(m〗/cm2)250200250200线形状EEEE(实验例)关于与酞菁蓝(C丄颜料蓝15:3)相比时、通式(VIII)、通式(IX)、和通式(XIII)的化合物的紫外线吸收特性将上述4种着色剂配合、分散到A-1清漆中,使得干燥涂膜中的着色剂浓度为0.85%。将所得的着色清漆通过敷贴器涂布到玻璃上,使得干燥涂膜的膜厚为30(xm士2^im。接着,在80。C下干燥30分钟后,使用紫外可见分光光度计(日本分光抹式会公司制Ubest-V-570DS)以及积分球装置(日本分光株式会公司制ISN-470)测定吸收光谱。其结果示于图3~图6。由这些图所示的结果可知,通式VIII、通式IX、和通式(XIII)的化合物具有与酞菁蓝相比在350nm410nm的范围内的吸收少的特性。权利要求1.一种可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,含有(A)含羧酸树脂、(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂、(C)光聚合引发剂以及(D)分子中具有2个以上烯属不饱和基团的化合物。2.根据权利要求1所述的可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,氨基蒽醌化合物(B)为下述通式(I)所示的化合物,[化学式l]R4O画R1R1:直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过羰基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基,R2:直接或通过NH基连接的氢、羟基、环己基、直链或支链烷基、取代或无取代苯基,任选与R^形成环状物,R3、R4、R5:各自独立地为氢、羟基、环己基、直链或支链烷基、取代或无取代苯基、通过NH基连接的直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过酰胺基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。3.根据权利要求1或2所述的可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂是结构不同的2种以上着色剂。4.根据权利要求l~3的任意一项所述的可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂为下述通式(II)所示的化合物,[化学式2](11)R1:直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过羰基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基,R4、R5:各自独立地为氢、羟基、环己基、直链或支链烷基、取代或无取代苯基、通过NH基连接的直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过酰胺基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基,R6:直链或支链烷基、烷基取代或无取代苯基、环己基、通过羰基连接的直链或支链烷基、取代或无取代苯基。5.—种可通过稀i威溶液显影的纟又利要求l~4的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂(B)为选自色调为绿色的着色剂及色调为蓝色的着色剂的组中的单一化合物或为混合物。6.根据权利要求l~5的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,前述光聚合引发剂(C)为选自下述光聚下述通式(III)所示的將酯系光聚合引发剂、[化学式3]-k卜<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(式中,W表示氢原子、苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数5~8的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯甲酰基(任选被碳原子数l~6的烷基或苯基取代)、RS表示苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或面原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数58的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯曱酰基(任选被碳原子数l~6的烷基或苯基取代)。)下述通式(IV)所示的ot-氨基苯乙酮系光聚合引发剂、[化学式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(式中,R^和R"各自独立地表示碳原子数1~12的烷基或芳烷基,RH和R"各自独立地表示氢原子、碳原子数l~6的烷基、或RH与R^两者结合而成的环状烷醚基。)以及下述通式(V)所示的酰基氧化膦系光聚合引发剂,[化学式5]p—c—……(v)(式中,K^和R"各自独立地表示碳原子数l~10的直链状或支链状的烷基、环己基、环戊基、芳基、烷氧基、或用囟原子、烷基或烷氧基取代的芳基,其中,R"和R"中一方任选表示R-C(=0)-基(这里,R为碳原子数l~20的烃基))。7.根据权利要求6所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,前述通式(III)所示的肟酯系光聚合引发剂(C)用下述式(VI)表示。[化学式6]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(Vl》8.根据权利要求6所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,前述通式(III)所示的肟酯系光聚合引发剂(C)用下述通式(VII)表示。[化学式7]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(川)(式中,R"表示氢原子、卣原子、碳原子数112的烷基、环戊基、环己基、苯基、千基、苯曱酰基、碳原子数212的烷酰基、碳原子数2~12的烷氧羰基(构成烷氧基的烷基的碳原子数为2以上的情况下,烷基任选被l个以上羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、或苯氧基羰基,R16、R"各自独立地表示苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上的羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数5~8的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯曱酰基(任选被碳原子数l~6的烷基或苯基取代),R"表示氢原子、苯基(任选被碳原子数l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子数l~20的烷基(任选被l个以上的羟基取代,烷基链中间任选具有l个以上氧原子)、碳原子数58的环烷基、碳原子数2~20的烷酰基或苯曱酰基(任选被碳原子数1~6的烷基或苯基取代))9.根据权利要求l~8的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,还含有(E)热固化成分。10.根据权利要求l~9的任意一项所述的光固化性树脂组合物,其特征在于,组合物的色调位于绿色到蓝色的范围内。11.一种光固化性的干膜,其是将权利要求l~IO的任意一项所述的光固化性树脂组合物涂布在载体膜上并干燥而获得的。12.—种固化物,其是将权利要求l~IO的任意一项所述的光固化性树脂组合物或权利要求ll所述的干膜在铜上光固化而获得的。13.—种固化物,其是将前述l~IO的任意一项所述的光固化性树脂组合物或权利要求11所述的干膜进行光固化而获得的。14.一种印刷线路板,其是将权利要求l~IO的任意一项所述的光固化性树脂组合物或权利要求ll所述的干膜光固化后进行热固化而获得的。15.—种包含权利要求l~4的任意一项所述的含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂的印刷线路板。全文摘要本发明提供一种组合物,其为一种可通过稀碱溶液显影的光固化性树脂组合物,其特征在于,含有(A)含羧酸树脂、(B)含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂、(C)光聚合引发剂以及(D)分子中具有2个以上烯属不饱和基团的化合物,其通过使用含有具有氨基蒽醌骨架的化合物的着色剂,在调整紫外线区域的吸收的同时具有充分的着色,在紫外线及激光曝光中为高感光度,进而干燥涂膜的指触干燥性良好。文档编号G03F7/004GK101542392SQ200880000739公开日2009年9月23日申请日期2008年1月31日优先权日2007年3月29日发明者伊藤信人,加藤贤治,有马圣夫,柴崎阳子申请人:太阳油墨制造株式会社
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