技术特征：
技术总结
本发明提供一种在线监测补偿掩膜版热变形的装置和方法，在掩膜台上设置第一电极单元，在掩膜版上设置于第一电极单元极性相反的第二电极单元，第一电极单元与第二电极单元形成电极回路且构成微电容单元，并设置能够监测微电容单元电容值的控制单元，通过测量电容从而计算得到掩膜版变形后与掩膜台之间的距离，并且通过控制单元控制电极回路电压，从而控制掩膜版与掩膜台之间的静电力使得掩膜版向掩膜台运动，减少两者之间的距离从而补偿掩膜版的热变形，这样既可以在线实时监测掩膜版的热变形度也可以实时补偿掩膜版的热变形。
技术研发人员：程蕾丽;朱岳彬
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
技术研发日：2015.12.31
技术公布日：2017.07.07