包含光交联的含氟聚合物的钝化层的制作方法

技术总结
本公开涉及一种包含光交联含氟聚合物的钝化层和一种用于形成所述层的方法。包含所述交联的含氟聚合物的钝化层具有低介电常数、低吸水率，并且能够光成像，以便提供现代电子装置所需的非常精细的特征。

技术研发人员：R.B.莱德;J.F.赖莱;R.C.惠兰德;S.J.钟
受保护的技术使用者：科慕埃弗西有限公司
文档号码：201580040437
技术研发日：2015.05.27
技术公布日：2017.05.17