防尘薄膜组件收纳容器以及防尘薄膜组件的取出方法与流程

本发明涉及对在半导体装置、印刷基板或者液晶面板等制造时作为除尘器使用的光刻用防尘薄膜组件进行收纳、保管、运送的防尘薄膜组件收纳容器以及从该防尘薄膜组件收纳容器将防尘薄膜组件取出的方法。

背景技术：

在LSI、超LSI等半导体制造或者液晶面板等制造中，要对半导体晶片或者液晶用原板进行光照射以进行图案制作，此时如所用的光掩模或者中间光掩模(以下称光掩模)附着灰尘，该灰尘就会吸收光或使光弯曲，致使转印的图案变形、前部不齐，此外还会使基底脏污等，还有使尺寸、品质、外观等受损的问题。

因此，这样的作业通常在无尘室中进行，但即使如此，也难以总是保持光掩模的清洁，因此，要将作为防尘器的防尘薄膜组件贴附在光掩模表面之后进行露光。在这种场合下，异物不会直接附着在光掩模的表面，而是附着在防尘薄膜组件上，这样在光刻时只要将焦点对准光掩模的图案即可，防尘薄膜组件上的异物与转印就无关系了。

一般如此形成所述防尘薄膜组件，将由透光良好的硝酸纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等构成的透明防尘薄膜组件膜贴附或接着在铝、不锈钢、树脂复合材料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面。另外，防尘薄膜组件框架的下端设置为了安装光掩模的聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂、硅树脂等构成的粘着层，以及为了护粘着层的离型层(分离片)。

这样的防尘薄膜组件，虽然对从掩模贴附后形成的封闭空间的外部向内部的异物侵入的防止有效果，但是，防尘薄膜组件本身附着异物时，由于在封闭空间的内部，所以难于防止异物附着至光掩模。因此，也要求防尘薄膜组件本身的高清洁性，从而在保管、运送中也要维持使用的防尘薄膜组件收纳容器的清洁性。具体地说，要求防带电性优良、在滑擦时出现灰尘也少的材质，以及可以极度防止防尘薄膜组件以及构成的部件间的接触的构造和在施加外力时防变形的高刚性的构造。

通常，这样的防尘薄膜组件收纳容器可以用ABS、PMMA、PC等树脂注射模塑成形或真空成形来制造。利用这样的成形方法的理由是具有平滑表面、异物附着和灰尘出现的可能性小、一体成形、接缝出现灰尘和异物侵入的可能性小、复杂形状的物体也容易制造、量产性优良、成本低等优点。

例如，用于半导体和印刷基板的防尘薄膜组件的收纳容器的外形的边长为约200mm-300mm，通常利用注射模塑成形来制造。这样边长为200mm-300mm的防尘薄膜组件收纳容器，由于具有可以保持防尘薄膜组件收纳容器的清洁性、施加外力时也难以变形的高刚性，如在用于小型时易于确保刚性，另外，注射模塑成形中由于厚度易于局部改变而对壁厚进行补强，故刚性问题少。

另一方面，主要用于液晶面板的防尘薄膜组件的、边长为大于500mm的大型防尘薄膜组件收纳容器通常用ABS、PMMA等合成树脂片进行真空成形来制造。因为，在要从1处或者数处的口向模具内高速注入树脂的注射模塑成形中树脂的流动距离过长，制法上困难。在真空成形的场合下，模具中覆盖加热的树脂片，仅进行真空吸引就可以容易地形成大型品，但是不能成形壁厚的物品，虽然可以进行肋筋骨程度的补强，但其基本上是仅为将具有相同板厚的片折弯，所以具有难以制作高刚性物的问题。

在防尘薄膜组件收纳容器的场合，除了上述那样的刚性问题之外，还具有防尘薄膜组件如何被防尘薄膜组件收纳容器收纳的问题。例如，专利文献1公开了在防尘薄膜组件在载置台上用支持体进行支持并载置时，盖体内面的接触部对防尘薄膜组件框架的上端面进行按压来保持固定防尘薄膜组件不进行上下以及水平移动的收纳方法。该方法具有防尘薄膜组件和容器的各部相互摩擦而产生尘埃的可能性少、部件数量也少的优点，所以一般用在小型的用于半导体的防尘薄膜组件中。

但是，在该收纳方法的场合，盖体和防尘薄膜组件收纳容器本体都要高精度成形，故在边长为大于500mm的大型的用于液晶的防尘薄膜组件收纳容器中不能被使用。因为，在这样的大型防尘薄膜组件收纳容器的真空成形制造的场合中，难以得到精度良好的成形品，还有难以确保收纳容器本身的刚性、难以避免在处理和搬送时收纳容器的变形，在该场合，可能出现容器和防尘薄膜组件框架的滑擦、出现灰尘发生、品质低下。

因此，对于边长大于500mm的大型的防尘薄膜组件的收纳方法，专利文献2公开了一种使对掩模粘着层进行保护的衬层的一部分向外侧突出，并用粘着带将其固定在容器本体上的收纳方法。但是，在该收纳方法的场合，具有必须用人手来进行作业、难以将清洁的状态保持在盘上的问题。另外，还有在将带剥离取出时，有人手接近防尘薄膜组件框架附近从而有异物附着的担心。

另外，专利文献3公开了一种在防尘薄膜组件框架外侧面设置凹部插入针从而将防尘薄膜组件在容器本体上固定的收纳方法。该收纳方法的场合，由于在装卸时人手不太接近防尘薄膜组件，由作业人员造成的异物附着的可能性小，但是具有要持续维持运送中针的插入位置的问题。为了解决这一问题，专利文献4公开了将针用插入位置来固定的方法，根据该方法，可以利用简单的构造并且在运送中将针进行牢靠固定。

进一步，专利文献5公开了为了使在针卸下时的异物附着进一步降低，在容器的盖体为关闭的状态下，从容器的外部对防尘薄膜组件固定针进行操作，以使防尘薄膜组件从容器本体卸下的防尘薄膜组件收纳容器。在该防尘薄膜组件收纳容器的场合，由于防尘薄膜组件异物附着可能性大的针的解除作业是在盖体关闭的状态下进行，并且从收纳容器的外部进行操作，所以防止了在针的解除操作时作业人员带入的异物附着在防尘薄膜组件的问题。

另外，在该防尘薄膜组件收纳容器中，在防尘薄膜组件从容器本体上解除之后打开盖体，然后利用处理夹具等将防尘薄膜组件取出，所以作业人员接近防尘薄膜组件的时间就会缩短，因此，作业人员带来的异物附着的可能性就会大幅度降低。另外，如果先将针解除，再打开盖体将防尘薄膜组件取出的作业装置化就变得比较容易，特别是，用自动机器将防尘薄膜组件的取出作业就会变得适宜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实公平6-45965号

专利文献2：日本特开2004-36164号

专利文献3：日本专利4391435号

专利文献4：日本专利5586559号

专利文献5：日本专利5586560号

但是，专利文献1公开了防尘薄膜组件收纳容器，特别是防尘薄膜组件固定部18的复杂构造。例如，在防尘薄膜组件固定部18中，作为将针28的转动加以防止的转动防止部件，突出设置了由针28的后端部和凹凸止动的止动部组成的柱状部44，所以有在确保该转动防止部件的安装精度的情况下的制造以及运用的问题。另外，针28以及针装着部32等和转动防止部件通过制造误差大的盖体的侧面设置的开口部14a而安装，所以有对针28的先端部的位置精度进行管理的难题。因此，在防尘薄膜组件收纳容器量产的场合下，要对每个防尘薄膜组件收纳容器进行针28和转动防止部件等的位置调整作业，在量产上有运用困难的问题。

因此，鉴于防尘薄膜组件收纳容器的上述问题，本发明对防尘薄膜组件收纳容器进行改良，本发明的目的是提供一种对防尘薄膜组件收纳容器的制造的容易化和量产化适宜的结构简易的，即使盖体在容器本体上嵌合的状态下也可以对针进行嵌合和/或解除的防尘薄膜组件收纳容器，另外，还提供一种从防尘薄膜组件收纳容器中将防尘薄膜组件取出时减少异物附着的防尘薄膜组件的取出方法。

为了达成上述目的，本发明人进行了充分研究，对现有技术的防尘薄膜组件固定部的针进行了改良，在设置可能进行针的嵌合和/或解除的针操作部的同时，对该针操作部的接着装置进行了改良，从而可能使现有技术的防尘薄膜组件固定部的复杂构造的简易化。

技术实现要素：

本发明提供一种由对防尘薄膜组件进行收纳的容器本体和覆盖容器本体上并在其周缘部嵌合止动的盖体构成的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：在容器本体上载置在水平方向上可动的、其先端部插入防尘薄膜组件框架侧面设置的凹部中的针和对该针进行固定的针支持装置，在盖体上设置贯通到容器本体内部的开口部，所述针具有从针本体向盖体的开口部的方向延伸的针操作部，所述针操作部被在其上端部为了密闭开口部而贴附的粘着片固定。

另外，本发明的针优选通过以针轴部为中心的回转操作从而在针支持装置上嵌合固定，更优选在所述针上设置的突起部与在针支持装置上设置的缺口部嵌合固定。

进一步地，本发明提供一种防尘薄膜组件的取出方法，其特征在于：将在所述防尘薄膜组件收纳容器的盖体的开口部贴附的粘着片剥离，在将开口部开放之后，在盖体在容器本体上嵌合止动的状态下，从盖体的外侧对针操作部进行操作，将插入凹部的针的先端部拔出，将在容器本体上固定的防尘薄膜组件解除，然后将盖体卸下，将防尘薄膜组件取出。

发明效果

根据本发明，提供了一种适宜于量产化的具有简易构造的防尘薄膜组件收纳容器、可靠性高的防尘薄膜组件收纳容器，在将防尘薄膜组件固定部的针牢靠固定的同时，没有在其内部收纳的防尘薄膜组件的破损和异物附着至防尘薄膜组件的可能性。另外，在防尘薄膜组件取出时，将盖体的粘着片剥离，开口部开放，将插入防尘薄膜组件框架的凹部的针的先端部拔出，在盖体原封不动地在容器本体嵌合的状态下，可以将防尘薄膜组件从容器本体容易地取出，因此，随着取出作业由作业人员带入的异物的附着被减少。

附图说明

图1为本发明的实施方式的立体图。

图2为本发明的实施方式的平面图。

图3为本发明的实施方式的平面图(盖体透视)。

图4为本发明的实施方式的图3的AA断面图。

图5为本发明的实施方式的图4的B部放大图(防尘薄膜组件固定部)。

图6为本发明另一个实施方式的针支持装置的立体图。

图7为本发明另一个实施方式的具有突起部的针的立体图。

图8为本发明另一个实施方式具有突起部的针和针支持装置组合后的立体图。

图9为本发明另一实施方式的具有突起部的针和针支持装置的缺口部组合的防尘薄膜组件固定部的立体图。

图10为比较例的防尘薄膜组件固定部的立体图。

具体实施方式

以下根据附图对本发明的实施方式进行详细说明。本发明在用于收纳特别是收纳边长大于500mm、主要用于面板制造用途的大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件的收纳容器的场合效果大，但是，也可适用边长为150mm的用于半导体制造的或者边长为300mm的用于印刷基板制造的防尘薄膜组件，其用途不受大小的限定。

如图1所示，防尘薄膜组件收纳容器10由将防尘薄膜组件20载置的容器本体11和将容器本体11覆盖的同时在周缘部嵌合的盖体12构成。盖体12与容器本体11优选用夹子(未示出)或搭扣(未示出)缔结，或者优选用粘着带(未示出)粘贴。

容器本体11和盖体12由ABS、PC、PMMA、PVC等树脂通过注射模塑成形或真空成形制作，为了提高附着异物的易于发现度，容器本体11为黑色，为了易于对内部进行确认，盖体12优选为透明。另外，为了防止异物的附着，优选向树脂材料掺入导电物质或者在表面进行涂布来赋予带电防止功能。

在防尘薄膜组件的边长大于1000mm的特别大型的收纳容器中，为了确保刚性，容器本体11的外侧可以安装由金属和纤维强化塑料等制作的补强体，但是，防尘薄膜组件收纳容器10的本体本身也可以用铝合金等轻金属来制作。

如图3所示，针支持装置14用螺栓(未示出)被安装在容器本体11的四处，在其中插入针13的针轴部13a，这样就可以形成不太偏而且可以顺利拔出的间隙。

针13用环氧树脂、ABS、PPS、PE、PEEK等树脂以注射模塑成形或传递模塑法等一体成形来制作。根据需要，优先将玻璃纤维等填料等混入以提高强度。另外，为了确保针13的针轴部13a的刚性，可以用不锈钢等金属构成，优选将其压入树脂制作的针本体13b或者与其接着构成。

针支持装置14，优选与针13一样，用环氧树脂、ABS、PPS、PE、PEEK等树脂通过注射模塑成形或传递模塑法等一体成形来制作。用防尘薄膜组件框架21固定的针13的个数在本实施方式中为4处，但是，更多的个数例如在边长为特别长的防尘薄膜组件框架中也可以为6处或者8处。另外，在本实施方式中，针可以在长边上设置，也可以在短边上设置，另外也可以在长边和短边的两者上设置。

在针13的先端部中设置台阶部13c，在该台阶部13c上嵌入弹性体15，优选防尘薄膜组件框架21的凹部22不直接与针部件接触，这样可以防止出现灰尘。台阶部的形状为如图5所示的环状物嵌入针先端的细径部，另外，台阶部本身也可以形成弹性体安装(未示出)。弹性体15的材质可以是丁腈橡胶、乙烯丙烯橡胶、硅橡胶、氟橡胶等。

图5为本发明的防尘薄膜组件固定部的实施方式的立体图。防尘薄膜组件20如图5所示由在防尘薄膜组件框架21的角部附近设置的凹部22中插入针13来支持，针13被容器本体11上的针支持装置14来支持。在此，在针13上设置由针本体13b向盖体12延伸的针操作部13d。针操作部13d可以用与针13全体相同的树脂进行一体成形，也可以在针本体13b处设置孔，将由不锈钢等金属形成的棒状的部件压入或接着而构成。

如图5所示，在紧挨针操作部13d的正上方附近的盖体12中，设置与内部贯通的开口部12a，且开口部12a通过贴附粘着片12b被密闭。开口部12a在盖体12成形之后切削加工而形成，为了将盖体12的刚性变低限制在最小，开口部12a大小优选为使针操作部13d的操作为必要的最小限的大小。另外，开口部12a的形状可以为圆形、椭圆形、矩形等等，但是从提高清洁度的角度来看，优选为无角的形状，且范围在约20mm×20mm–40mm×40mm。

从针本体13b延伸的针操作部13d，其长度为其先端到达与盖体12的外侧平面为同一平面的位置，其与为了开口部12a密闭而贴附的粘着片12b接触(接着)而固定。

在防尘薄膜组件20取出时，将粘着片12b剥离，在出现开口部12a的同时，针操作部13d的固定被解除。然后，由于针操作部13d的后退操作，从防尘薄膜组件框架21的凹部22将针13的先端部拔出，将在容器本体11上的防尘薄膜组件20的固定解除。

另外，在盖体12卸之前，防尘薄膜组件收纳容器10通过开口部12a内外通气，所以不会由于盖体12的卸下使容器内变为负压，除了易于卸下之外，也防止异物的卷入。

对于本发明的防尘薄膜组件20，除了在防尘薄膜组件框架21的侧面要设置凹部22之外，没有特别的限制。另外，凹部22由于和针13的先端部嵌合以及加工容易性，优选直径为0.5mm-4mm、深度为1mm-5mm的圆孔，但是也可以是其它形状。

防尘薄膜组件框架21由以铝合金为首的金属、树脂或树脂复合材料等制成，在其中可以设置通气孔(未示出)和安装将其表面覆盖的过滤器(未示出)。另外，为了便于处理，其侧面也可在各所设置沟和凹部等。

如图5所示，在防尘薄膜组件框架21的一个面上形成掩模粘着层23，其表面上安装保护用的分离片24。防尘薄膜组件框架21一般为矩形，但是也可以为多角形状、圆形等其它形状。如果有代替的其它装置来进行掩模粘着层23的保护的话，分离片24也可以省略。另外，在掩模粘着层23的相反侧的面上设置防尘膜接着层25，防尘薄膜26被绷紧地设置在其上。

在图5所示的防尘薄膜组件固定部的实施方式，针支持装置14上的针13的固仅依赖粘着片12b和针操作装置13d的接着，存在可靠性不足的地方。

因此，为了使针13更牢靠地被固定，以图6和图7所示的另一个实施方式的采用为佳。在针13的一部分上设置突起部13e，在针支持装置14中也设置与突起部13e嵌合的缺口部14c。在该实施方式中，通过对以针轴部13a为中心的回转操作，使嵌合和/或解除变为可能，也设置从针本体13b延伸的操作部13d，这样的组合，如通过回转操作使针13固定的话，即成为图8所示的防尘薄膜组件固定部的实施方式。

图9为在粘着片12b和针操作装置13d的接着之外用图8所示的防尘薄膜组件固定部将针支持装置14上的针13更牢靠固定的另一个实施方式的立体图。

在图9所示的另一个实施方式中，针支持装置14具有如图6所示的为孔的针插入部14a以及向另一方面开放的U字型的沟状导入部14b，在导入部14b的一部分中，进一步设置缺口部14c。如图8所示，在将针13插入直至与针支持装置14的导入部14b的深处相碰时，所述突起部13e的设置是为使其回转时与缺口部14c嵌合。然后，通过该构成可以通过回转操作使针嵌合和/或解除。此时的回转操作角度，从操作性和嵌合的牢靠性的观点来看，优选为30度-180度，进一步优选为45度-90度。

针操作部13d为如图5所示的实施方式一样，其长度要达到与盖体12的外面为同一平面的位置，将开口部12a密闭，与贴附的粘着片12b接触(接着)而被固定。另外，在所述另一个实施方式中，如图9所示，通过将针支持装置14的缺口部14c和针13的突起部13e嵌合以使针13的位置固定，从而，针操作部13d进一步通过与盖体12上的粘着片12b接触(接着)而固定，所以可以更牢靠地将针13的位置固定。

在本发明的图5以及图9所示的实施方式中，盖体12上没有设置任何保持针13的位置的机械部件，各部件的制造误差和组装误差的积累少。另外，针13的固定和从外部的操作通过在针操作部13d、盖体12上设置的开口部12a以及粘着片12b的组合的简易构成来达成，对尺寸误差的容许度大，从而极其适合量产化。

另外，在图9所示实施方式中，其操作方法与图5所示的实施方式没有大的差别，仅加上了针13的旋转动作。将盖体12上贴附的粘着片12b剥离，在开口部12a开放之后，从盖体12的外侧用可与针接合的或类似的工具进行使针操作部13d回转的操作，使针13和针支持装置14的嵌合解除，接着使其后退，将防尘薄膜组件框架21的凹部22中插入的针13的先端部拔出，使容器本体11和防尘薄膜组件20的缔结解除。然后，将盖体12卸下，用处理夹具(未示出)等将防尘薄膜组件20取出。

因此，即使图9所示的实施方式伴随针解除的作业人员的手与防尘薄膜组件接近但防尘薄膜组件20为被盖体12覆盖的状态，所以由作业人员带入的异物的附着可以大幅度地降低。

实施例

以下对本发明的实施例进行详细地说明。在实施例中，首先，使用树脂片材由真空成形制作图1、图2、图3以及图4所示形状的容器本体11以及与其嵌合的盖体12。图1为两者组合的状态的所示立体图，该外尺寸为1080mmx960mm，高度为92mm。容器本体11是黑色、厚度为5mm的难燃ABS。。盖体12是厚度为5mm的透明的难燃PMMA，在成形之后进行带电防止涂装(商品名：SEPLEGYDA，信越聚合物(株)制)。

接着，将ABS注射模塑成形制作针支持装置14将PPS注射模塑成形制作针13。图6以及图7分别为显示出针支持装置14和针13的详细形状的立体图，图8为两者组合在一起的状态的立体图。

针13如图7所示由针轴部13a、针本体13b、针操作部13d、突起部13e构成。针轴部13a由SUS304不锈钢进行机械切削而制作，压入用PPS树脂进行注射模塑成形的针本体13b中。另外，针操作部13d也同样用SUS304不锈钢机械切削制作，被压入针本体13b上设置的孔。进一步地，在针轴部13a的先端设置台阶部13c，其中将粗0.5mm的氟橡胶制的环状弹性体15嵌入。

另一方面，针支持装置14如图6所示由针插入部14a、导入部14b、缺口部14c构成。然后，针13的针轴部13a插入针支持装置14的针插入部14a，在向右旋转45度回转时，突起部13e与针支持装置的缺口14c嵌合，成为如图8所示的针13和针支持装置14的组合状态。

接着，将图8所示的组合状态的部件载置于容器本体11上，如图9所示那样，对针13在防尘薄膜组件框架21设置的凹部22中的嵌合位置进行调整，从外侧用不锈钢制的螺栓(未示出)进行安装。另外，在盖体12嵌合于容器本体11时，在针操作部13d的紧挨正上方的区域通过机械加工设置20mmx30mm大小的角孔12a。

然后，这样组装的防尘薄膜组件收纳容器10一次量产20台，将防尘薄膜组件20收纳，对安装状态进行确认，得知都没有部件交换和再调整必要的话，20台全部都可以原封不动地使用。

接着，该防尘薄膜组件收纳容器10移入10级的无尘室，在用表面活性剂和纯水进行良好洗净之后进行完全干燥。然后，为了对该防尘薄膜组件收纳容器10进行评价，将防尘薄膜组件20收纳，进行了运送试验。

该试验使用的防尘薄膜组件20的外尺寸为937.5mmx756mm，内尺寸为925.5mmx740mm，高度为约7.2mm。另外，使用的防尘薄膜组件框架21是黑色的A5052铝合金制成的，并进行了氧膜处理，其外尺寸为937.5mmx756mm，内尺寸为925.5mmx740mm，高度为5.8mm。进一步地，其角部为外侧R5，内侧为R2，在各长边中以100mm间隔设置4个的通气孔(未示出)和以850mm间隔设置2个x深度1.8mm的凹部22。将用PTFE制成的片状过滤器用丙烯酸粘着剂安装在通气孔中。

掩模粘着层23使用厚度约1.2mm的硅粘着剂(信越化学工业(株)制)以便表面保护，分离片24使用离型剂涂布厚度0.1mm的PET片。防尘薄膜组件膜26的接着层25进行厚度约0.1mm的硅粘着剂(信越化学工业(株)制)涂布，在此上面接着对防尘薄膜组件膜26进行厚度3.0μm的氟系树脂(商品名CYTOP，旭硝子(株)制)涂布。

接着，将防尘薄膜组件20搬入暗室内，用集光灯进行异物检查，在上述防尘薄膜组件收纳容器10的容器本体111上载置的同时将针13先端部插入防尘薄膜组件框架21侧面的凹部22，回转操作使突起部13e与针支持装置14的缺口部4c嵌合。随后，将盖体12关闭，在开口部12a贴附用PET制成的粘着带制作的粘着片12b，在将开口部12密封时，使其与从开口部12a出现的针操作部13d的端部接着。

另外，容器本体11和盖体12的周缘部用宽幅35mm的PET制成的粘着带(未示出)贴附固定后，将内部用清洁洗涤的带电防止PVC制成的袋2重包装，在内部具有缓冲材的强化瓦楞纸制包装箱(未示出)收纳。

将这样包装的防尘薄膜组件收纳容器10装上卡车，进行约1000公里的运送。然后，运送后的防尘薄膜组件收纳容器10搬入10级的无尘室，对内部进行确认，得知盖体12贴附的粘着片12b为保持密封状态。

另外，将粘着片12b剥离，对容器内部进行目视观察，针12的突起部13e处于与针支持装置14的缺口部14c嵌合的状态，针13的先端部也与防尘薄膜组件框架21的凹部22处于嵌合的状态。

接着，用先端有橡胶的针组件(未示出)，通过操作部13d使针13回转，向后进行约10mm程度的移动后，将盖体12卸下，对内部进行确认，可以看到防尘薄膜组件20在容器本体11上，无异常地处于载置状态。然后，在该状态下使周围变暗，用集光灯对容器本体11和防尘薄膜组件20照射，对表面进行观察，没有看到异物的附着。

防尘薄膜组件20在针13拔出时，在防尘薄膜组件20从容器本体11解除的作业期间，由于盖体12的覆盖，所以没有必要担心从作业人员的手有异物附着在防尘薄膜组件20上，该作业可以极容易地进行。另外，在盖体12卸下时，会从开口部12a通气，可以将盖体12顺利地拿起。

最后，从容器本体11解除的防尘薄膜组件20用专用处理夹具(未示出)搬运到暗室内，用集光灯对表面附着的异物进行检查，防尘薄膜组件20完全没有异物的附着，处于极清洁的状态。

比较例

图10是为了比较而制作的防尘薄膜组件固定部30的立体图。在该比较例中，防尘薄膜组件固定部30由针31和针支持装置14构成，在防尘薄膜组件框架的凹部中，针被插入而固定的方式与上述实施例相同，但是如图10所示，在针31与实施例的针操作部13d相当的装置没有被设置的点上与实施例不同。从而，针支持装置14与实施例相同，设置突起部31e。

比较例的针31由针轴部31a、针本体31b、突起部31e构成，是将PPS树脂用注射模塑成形的针本体31b上压入SUS304不锈钢制作的针轴部31a而构成。另外，突起部31e的构成是为了使针31回转时和针支持装置14的缺口部14c嵌合，在针31回转固定的状态下将盖体12覆盖时，该突起部31e的高度要达到与盖体12的内面接触的高度。进一步地，在针本体31b的端部设置操作用的六角穴31f，在针轴部31a的先端的台阶部31c安装氟橡胶弹性体15。

该比较例与实施例相同，在容器本体将与实施例相同的规格的防尘薄膜组件20收纳后，在该容器本体上将盖体嵌合，从而防尘薄膜组件收纳容器组被组装，该盖体12中没有设置与实施例的开口部12a和粘着片12b相当的零部件。

接着，这样组装的防尘薄膜组件收纳容器，在进行完全相同的运送试验时，将运送后的防尘薄膜组件收纳容器搬入10级的无尘室，随后从容器本体将盖体卸下，进行内部确认，防尘薄膜组件20处于由针31在容器本体上被牢靠地固定的状态。

另外，作业人员的手进行良好地吹风洗涤之后，小心地将六角扳手插入位于针31的后端的六角穴31f中，在将此回转解除嵌合的同时，将针31向后移动，从凹部22拔出。然后，保持该状态使周围变暗，用集光灯照射对容器本体和防尘薄膜组件20的表面进行观察，防尘薄膜组件20的膜面清洁，但是容器本体上和防尘薄膜组件固定部30的周边发现大小为5-20μm的数个异物飞散。

进一步地，在该比较例中，针31的解除作业是在从容器本体将盖体卸下的状态，即防尘薄膜组件膜面露出的状态下非常慎重进行的，但是，如果与实施例那样的盖体在容器本体嵌合的状态下进行的解除作业相比，其需要的时间为约1.5倍。

最后，从容器本体被解除的防尘薄膜组件20用专用的处理夹具(未示出)搬入暗室内，用集光灯对表面附着的异物进行检查，发现防尘薄膜组件膜上有直径10-20μm的一个异物附着。该异物可以利用压力2kgf/cm²的吹风被容易地除去，但是在对容器本体观察时，防尘薄膜组件20的膜面是清洁的，所以可以推测出防尘薄膜组件20在从容器本体11搬起时容器本体上的异物被卷起而附在防尘膜面上的。

附图标记说明

10 防尘薄膜组件收纳容器

11 容器本体

12 盖体

12a 开口部

12b 粘着片

13 针

13a 针轴部

13b 针本体

13c 台阶部

13d 针操作部

13e 突起部

14 针支持装置

14a 针插入部

14b 导入部

14c 缺口部

15 弹性体

20 防尘薄膜组件

21 防尘薄膜组件框架

22 凹部

23 掩模粘着层

24 分离片

25 防尘薄膜组件膜接着层

26 防尘薄膜组件膜

30 防尘薄膜组件固定部(比较例)

31 针

31a 针轴部

31b 针本体

31c 台阶部

31e 突起部

31f 六角穴