技术总结
本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法，更详细地说，涉及如下的抗蚀剂剥离液组合物，该抗蚀剂剥离液组合物通过包含有机胺化合物、化学式1所表示的酰胺和在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂，从而显示出优异的剥离能力，与此同时，能够使对下部金属配线、绝缘膜的腐蚀最小化，并且经时稳定性优异，能够从根本上抑制自身反应导致的抗蚀剂剥离能力下降、副产物生成等问题。
技术研发人员：崔汉永;高京俊;金正铉
受保护的技术使用者：东友精细化工有限公司
文档号码：201610670016
技术研发日：2016.08.15
技术公布日：2017.03.01