1.一种升降机构，用于承载待加工基板，其特征在于，包括多个支杆，所述支杆的支撑端设置有支承部，所述支承部用于在所述升降机构承载所述待加工基板时通过所述支承部的支承面与所述待加工基板相接触；
所述升降机构还包括离子风供应装置，在所述支杆内部设置有贯通的通道，用于将所述离子风供应装置输出的离子风输送至所述支杆的通道内；
在所述支承部上至少位于支承面的位置设置有与所述支杆的通道相连通的出气孔，所述离子风供应装置输送的离子风通过所述出气孔吹向所述待加工基板。
2.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述支承部为中空结构，所述支承部除所述支承面以外的部分为所述支承部的侧壁，所述支承部的侧壁上也设置有与所述支杆的通道相连通的出气孔。
3.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，在所述支杆上设置有护罩，所述护罩围绕所述支承部的周边且与所述支承部之间具有间隙，所述护罩的顶端低于所述支承部的顶端。
4.根据权利要求3所述的升降机构，其特征在于，所述护罩的纵截面图形为矩形或梯形，所述梯形的上底边设置于靠近所述支杆的一侧，所述纵截面为所述支杆的中心线所在的平面。
5.根据权利要求4所述的升降机构，其特征在于，所述护罩的横截面图形为圆形，所述横截面为垂直于所述支杆中心线的平面。
6.根据权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述支承部上还设置有辅助支承部，所述辅助支承部包括设置在所述支承部的支承面的球罩，在所述球罩内设置有浮动球，所述球罩的顶端设置有直径小于所述浮动球直径的开口。
7.根据权利要求6所述的升降机构，其特征在于，所述浮动球的直径大于所述球罩的高度。
8.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述离子风供应装置包括固定在所述支杆的通道内壁的离子源以及设置在所述支杆的通道入口的送风装置。
9.根据权利要求8所述的升降机构，其特征在于，所述离子源设置在靠近所述支杆的支撑端处，所述离子源为金属放电针。
10.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述支杆连接驱动装置，所述驱动装置驱动所述支杆上、下运动。
11.根据权利要求10所述的升降机构，其特征在于，所述驱动装置为直线电机，所述直线电机的次级与所述支杆固定连接。
12.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，还包括承载平台，在所述承载平台上设置有与所述支杆一一对应的安装孔，所述安装孔的直径大于所述支杆的直径。