技术总结
本发明实施例提供一种升降机构，涉及基板承载机械装置领域，能够减少待加工基板在升降过程中的静电击穿现象的发生。该升降机构，用于承载待加工基板，包括多个支杆，支杆的支撑端设置有支承部，支承部用于在升降机构承载待加工基板时通过支承部的支承面与待加工基板相接触。升降机构还包括离子风供应装置，在支杆内部设置有贯通的通道，用于将离子风供应装置输出的离子风输送至支杆的通道内。在支承部上至少位于支承面的位置设置有与支杆的通道相连通的出气孔，离子风供应装置输送的离子风通过出气孔吹向待加工基板。
技术研发人员：徐敏;魏振;郭世波;张强;巩永波;申明明
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
文档号码：201610743003
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2016.11.23