调节装置与其应用的制作方法

技术特征：

1.一种调节装置，所述调节装置用于调节两个部件处于平行状态，两个所述部件分别为第一部件与第二部件，所述第一部件与所述第二部件相对且间隔设置，所述第二部件的靠近所述第一部件的表面上设置有结构层，其特征在于，所述调节装置包括：

感应单元，与所述第一部件连接，用于感知所述第一部件的位置信息；

处理器，一端与所述感应单元电连接，用于根据所述第一部件的位置信息判断所述第一部件与所述第二部件的位置关系；以及

调整单元，一端与所述处理器电连接，另一端与所述第二部件连接，当所述第一部件与所述第二部件不平行时，所述调整单元根据所述处理器的判断结果调节所述第二部件的位置，以使所述第二部件与所述第一部件平行。

2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述感应单元包括间隔设置的至少三个感应器(10)，三个所述感应器(10)位于第一平面内，所述第一平面与所述第一部件平行。

3.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述感应器(10)为压力传感器。

4.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述调整单元包括第一调位部，所述第一调位部包括间隔设置的至少三个调位器(30)，三个所述调位器(30)设置在所述第二部件的远离所述第一部件的表面上，各所述调位器(30)用于调整所述第二部件的位置。

5.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述感应单元包括三个感应器(10)，所述感应器(10)为压力传感器，所述第一调位部包括三个所述调位器(30)。

6.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，三个所述压力传感器分别是第一压力传感器、第二压力传感器与第三压力传感器，三个调位器(30)分别是第一调位器、第二调位器与第三调位器，所述第一压力传感器与所述第二压力传感器之间的距离等于所述第一调位器与所述第二调位器之间的距离，所述第一压力传感器与所述第三压力传感器之间的距离等于所述第一调位器与所述第三调位器之间的距离，所述第三压力传感器与所述第二压力传感器之间的距离等于所述第三调位器与所述第二调位器之间的距离。

7.根据权利要求6所述的调节装置，其特征在于，三个所述压力传感器设置在第一部件的靠近所述第二部件的表面上或者各所述压力传感器至少有一部分嵌在所述第一部件内，三个所述压力传感器在第二平面上的投影位于所述结构层在所述第二平面上的投影的外部，三个所述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个所述调位器(30)在所述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，所述第一三角形与所述第二三角形关于所述第二平面上的一条直线对称，所述第二平面为所述第一部件的远离所述第二部件的表面的延展平面。

8.根据权利要求6所述的调节装置，其特征在于，三个所述压力传感器嵌在所述第一部件内，三个所述压力传感器在第二平面上的投影位于所述结构层在第二平面上的投影的外部，三个所述压力传感器在第二平面上的投影形成的三角形为第一三角形，三个所述调位器(30)在所述第二平面上的投影形成的三角形为第二三角形，所述第一三角形与所述第二三角形重合，所述第二平面为所述第一部件的远离所述第二部件的表面的延展平面。

9.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述调节装置还包括：

支撑层(20)，设置在所述第一部件的靠近所述第二部件的表面上，所述感应单元设置在支撑层(20)的靠近所述第二部件的表面上或者所述感应单元的至少一部分嵌在所述支撑层(20)内。

10.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述调整单元还包括：

支撑台(40)，设置在所述第一调位部的远离所述第二部件的表面上；以及

第二调位部(50)，设置在所述支撑台(40)的远离所述第一调位部的表面上，所述第二调位部(50)用于提升所述支撑台(40)。

11.根据权利要求10所述的调节装置，其特征在于，所述第二调位部(50)为提升马达。

12.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述感应单元包括三个压力传感器，三个所述压力传感器位于第一平面内，所述第一平面与所述第一部件平行，所述调整单元包括第一调位部，所述第一调位部包括间隔设置的三个调位器(30)，三个所述调位器(30)设置在所述第二部件的远离所述第一部件的表面上，各所述调位器(30)用于调整所述第二部件的位置，所述压力传感器与所述调位器(30)一一对应，所述处理器包括：

判断模块，与各所述压力传感器电连接，用于判断所述压力传感器的输出值是否等于预设值；以及

控制模块，一端与所述判断模块电连接，另一端与各所述调位器(30)电连接，当所述压力传感器的输出值不等于预设值时，所述控制模块发出控制信号调整对应的所述调位器(30)的高度。

13.根据权利要求4至8、10与11中任一项所述的调节装置，其特征在于，所述调位器(30)为电缸或气缸。

14.一种权利要求1至13中任一项所述的调节装置的应用，其特征在于，所述第一部件为吸附紫外线光罩(4)的光罩基板(5)，所述紫外线光罩(4)靠近所述第二部件设置，所述第二部件为工作基台(1)，所述结构层包括沿远离所述工作基台的方向依次设置在工作基台的靠近所述紫外线光罩(4)的表面上的基板(2)与透镜层(3)。