一种基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构的制作方法

文档序号:18429435发布日期:2019-08-13 21:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构,其特征在于:包括由上到下依次设置的金属层一(1)、介质层(2)以及金属层二(3);所述介质层(2)包括ZnO纳米管;所述ZnO纳米管的径向截面外形为六边形,而其内部空腔的径向截面也是六边形;所述金属层一(1)紧贴在ZnO纳米管外表的一个平面上;而该平面相对的另一个平面与金属层二(3)相紧贴;所述金属层一(1)、金属层二(3)以及ZnO纳米管均位于空气中。

2.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构,其特征在于:所述金属层一(1)、金属层二(3)采用金、银、铜或铝做成薄膜状。

3.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构,其特征在于:所述金属层一(1)、金属层二(3)的厚度几十纳米到几百纳米。

4.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构,其特征在于:所述ZnO纳米管的外六边形边长在几十纳米到微米量级,内部空腔的六边形边长在几个纳米到几百纳米之间变化。

5.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构,其特征在于:所述ZnO纳米管的纳米管长度在微米量级。

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