1.具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。
2.根据权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，所述的药剂循环系统包括4个药剂储存系统、药液信号控制药液供给开关、光刻胶输出口；其中4个药剂储存系统由4个电磁阀-气动阀-电磁阀并联连接而成，4个中的A-1药剂储存系统和A-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、一个电磁阀连接A药液信号控制药液供给开关，B-1药剂储存系统和B-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、一个电磁阀连接B药液信号控制药液供给开关，A药液信号控制药液供给开关和B药液信号控制药液供给开关分别连接光刻胶输出口。
3.根据权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，所述的药剂回收系统包括1个C药剂储存系统，所述C药剂储存系统的输入端通过1个气动阀、一个电磁阀连接废液排出口前的电磁阀，C药剂储存系统的输出端通过1个电磁阀、一个气动阀连接高压冷却泵的输出端。
4.根据权利要求2和3所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，所述的药剂储存系统包括药剂容器、容器供给输出系统、容器液位传感器；其中容器液位传感器设于药剂容器的内部，容器供给输出系统设于药剂容器的输出口。
5.如权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机的工作方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）光刻胶经过真空干燥装置作业后转变为气态形式存在，经过高压冷却泵工作后，转变为液态形式形成可供使用的药剂；
（2）当容器液位传感器感应到4个药剂储存系统中的某个药剂容器处于空状态时，发出供给信号，供给信号控制的与空状态的药剂容器对应的电磁阀收到信号，控制气动阀将管道打开，将药剂提供到空状态的药剂容器内进行填充作业，并通过容器供给输出系统将药剂输出，通过药液信号控制药液供给开关控制药剂进入光刻胶输出口；
（3）当药剂储存系统不需要进行供给作业时，供给信号关闭，在信号关闭对应的管道出口处设有药剂回收系统，通过电磁阀信号控制气动阀，将排出的溶剂填充至C药剂储存系统中的药剂容器内进行存储工作；当设备端口需要药剂时，通过信号引导阀门控制，优先将C药剂储存系统中的药剂容器内药剂供给到4个药剂储存系统中的药剂容器内。