用于屏蔽光罩的设备的制作方法

技术特征：

技术总结
本揭露提供一种用于屏蔽光罩的设备。所述设备包括场产生器，用以产生场屏蔽以保护光罩免于外来粒子的污染。

技术研发人员：郑文豪;游秋山;吴小真
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.08.04