技术总结
本实用新型提供一种反射镜固定装置，包括反射镜支座(109)、固定板(101)、连接螺钉(110)、透镜预紧装置(100)，所述透镜预紧装置(100)包括球形联接座(108)，与所述球形联接座(108)球铰连接有球头轴(102)，所述球头轴(102)套接有压缩弹簧(104)，所述球头轴(102)的外圆周滑动连接有螺柱(105)，所述螺柱(105)与所述固定板(101)螺纹连接，所述球头轴(102)的止推端通过卡环(103)与所述螺柱(105)固定连接；所述球形联接座(108)的底面连接有缓冲垫(107)。本实用新型提供的反射镜固定装置，能够提高反射镜固定安装的精度和稳定性。
技术研发人员：程海林;袁伟杰
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201620518899
技术研发日：2016.05.31
技术公布日：2016.12.07