技术特征：
技术总结
本发明公开了一种制备纳米光栅的装置，包括安装底座和L形安装支架，且L形安装支架固定焊接在安装底座的一侧顶部，所述安装底座的底部固定焊接有支撑架，所述安装底座的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴连接有第二转动连接件，所述第二转动连接件远离电机的一端设有匀胶台，所述第二转动连接件与匀胶台转动连接。本发明提出的一种制备纳米光栅的装置，结构简单，设计合理，利用匀胶台完成光刻胶旋涂工序，利用电子束曝光机、中间掩膜版、聚光透镜和反射镜完成基片的曝光工作，本发明提出的装置用于制备纳米光栅，设备投资小，制备成本低，操作简单，易于控制，制备周期短，所得纳米光栅性能好、质量高，成品合格率高，值得推广。
技术研发人员：仇凯弘
受保护的技术使用者：仇凯弘
技术研发日：2017.04.18
技术公布日：2017.07.04