一种版库装置及掩模版存取方法与流程

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其是涉及一种版库装置及相应的掩模版存取方法。

背景技术：

在光刻半导体技术领域中，通常使用版盒来存储与保护掩模版，目前常用的6寸掩模版版盒类型有nikon版盒、canon版盒和smif版盒三种。

不论何种类型的版盒均包括罩壳及基体，而基体又包括底板与设置在底板上的版架，罩壳通过与底板锁定对版架进行密封保护，版架用于存放掩模版。与之对应的，存放、解锁版盒的版库一般有一个垂向升降模组，在版盒罩壳与版盒基体解锁后，通过垂向升降模组实现版盒罩壳部分与版盒基体部分的分离。

而现有版库设备一般采用版盒罩壳固定不动，版盒基体上下往下运动的方式来实现二者的分离。通过版盒基体的上下运动，使得传输机械手可在同一取放版工位实现对版架不同层上的掩模版的取放。在设计中，为了防止传输机械手取放掩模版时机械手版叉和版架的侧面干涉，要求版盒基体的垂向运动方向和版架中掩模版上表面垂直，这一要求对版库设计精度要求较高。同时，光刻机设备要求版库的尺寸越来越小，针对常用的6槽版盒，一般采用产线天车取放版盒，设计时需要避让天车取放版盒时的空间，要求版库的垂向空间较小。

因此，如何提供一种结构更合理、设计精度要求相对不高、垂向空间小的版库装置是目前亟需解决的技术问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种用来存放、解锁版盒的版库装置，以降低版库结构的精度要求。

为了达到上述目的，本发明提供了一种版库装置，用来存放和解锁版盒，所述版盒包括罩壳及基体，所述基体包括底板与设置在所述底板上的版架，所述罩壳通过与所述底板锁定对所述版架进行密封保护，所述版架用于存放掩模版，所述版库装置包括支撑座、定位支撑板、解锁模块以及升降驱动模块；

所述定位支撑板固定在所述支撑座上，用来放置所述版盒；

所述解锁模块可滑动地设置在所述支撑座上，用来对所述版盒解锁，使得所述罩壳与所述底板断开连接，所述罩壳在解锁后与所述解锁模块相连；

所述升降驱动模块固定在所述支撑座上且偏置在所述定位支撑板的一侧，通过驱动所述解锁模块相对于所述定位支撑板进行垂向升降带动解锁后的所述罩壳运动，使得所述罩壳与所述基体分离，暴露出所述版架。

可选的，所述升降驱动模块包括电机和丝杠，所述电机固定在所述支撑座上，所述丝杠包括丝杠轴和丝杠螺母，所述丝杠轴和所述丝杠螺母相啮合，所述丝杠轴与所述解锁模块相连，所述丝杠螺母与所述支撑座可旋转连接，所述电机带动所述丝杠螺母转动，进而驱动所述丝杠轴相对于所述定位支撑板进行垂向升降运动。

可选的，所述升降驱动模块包括还包括一中空的转动件，所述丝杠螺母固定在所述转动件中，所述转动件通过轴承固定在所述支撑座上，所述电机通过同步带轮和同步带与所述转动件构成传动连接。

可选的，所述电机和丝杠螺母的顶端低于所述定位支撑板的承载面。

可选的，所述版库装置还包括一升降导向模块，所述升降导向模块包括固定组件和滑动组件，所述固定组件固定在所述支撑座上，所述滑动组件可滑动地设置在所述固定组件上，所述解锁模块与所述滑动组件相连。

可选的，所述升降导向模块为直线导轨，所述固定组件为轨道，所述滑动组件为滑块。

可选的，所述升降导向模块为双层阶梯直线导轨，所述升降导向模块包括第一直线导轨和第二直线导轨，所述第一直线导轨的轨道通过第一支撑板固定在所述支撑座上，所述第一直线导轨的滑块通过第二支撑板与所述第二直线导轨的轨道相连，所述第二直线导轨的滑块通过第三支撑板与所述解锁模块相连。

可选的，所述版库装置还包括气浴系统，通过所述气浴系统向所述版架通入气浴，以吹扫所述版架上掩模版的颗粒污染，同时避免外部颗粒进入版库装置内。

可选的，所述版库装置还包括分别设置在所述解锁模块及所述升降导向模块上的抽排管道，通过所述抽排管道抽气排出所述解锁模块及所述升降导向模块在运动过程中产生的颗粒。

可选的，所述版库装置还包括版库密封罩，所述版库密封罩与所述解锁模块固定连接，用来对所述版库装置的内部环境进行密封。

可选的，所述定位支撑板上设有定位孔，通过所述定位孔对所述底板进行固定，进而对所述版盒进行定位。

为了达到上述目的，本发明还提供了一种掩模版的存取方法，用于从版盒中存取掩模版，包括：

解开锁定的版盒，使得版盒的罩壳与底板断开连接；

移走所述罩壳，暴露出版盒的底板及底板上的版架；

向所述版架通入气浴；

通过传输机械手取出所述版架上的掩模版；

通过传输机械手将所述掩模版放回到所述版架上；

放回所述罩壳；

关闭气浴并锁定所述版盒。

可选的，在解开锁定的版盒之前，还包括步骤：通过所述底板对所述版盒进行定位。

可选的，通过解锁模块相对于所述底板的垂向升降运动移走或放回所述罩壳。

可选的，通过调节所述传输机械手相对于所述底板的垂向高度对所述版架上不同层的掩模版进行取出或放回。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

(1)、本发明的版库装置通过偏置在定位支撑板一侧的升降驱动模块驱动解锁模块相对于定位支撑板进行垂向升降带动解锁后的版盒罩壳运动，以“版盒基体固定不动、版盒罩壳垂向升降”的方式分离打开版盒，再结合本发明的掩模版存取方法中调节传输机械手垂向高度的手段，可实现对版盒版架上不同层掩模版的取放，不要求“升降驱动模块的垂向运动方向和版架中掩模版上表面严格垂直”，大大降低了版库结构的精度要求；

(2)、本发明的版库装置通过“丝杠螺母旋转运动、丝杠轴垂向直线运动、轴承布置在丝杠轴下方”的方式减少了升降驱动模块占用的垂向空间，再结合偏置在定位支撑板的一侧且丝杠螺母和电机低于定位支撑板的承载面的结构与双层阶梯的直线导轨，进一步减小了版库的垂向空间；

(3)、本发明的版库装置通过偏置的升降驱动模块和抽排管道减少版库内部的颗粒污染源，再结合版库的气浴系统进一步保证了版库内部环境和掩模版的洁净；

(4)、本发明的掩模版存取方法通过调节传输机械手的垂向高度以适应版架上不同层掩模版的取放，提高了掩模版的取放灵活性，不再严格固定一个取版工位，而在存取掩模版的过程中持续通入气浴，能有效降低外部环境对掩模版的污染。

附图说明

图1为本发明实施例一的版库装置示意图；

图2为本发明实施例一的版库装置的升降驱动模块剖视图；

图3为本发明实施例一的掩模版存取方法的流程示意图；

图4为本发明实施例一的版盒罩壳处于高位时的版库装置的状态图；

图5为本发明实施例一的版盒罩壳处于低位时的版库装置的状态图；

图6为本发明实施例二的版库装置的升降导向模块的正视图；

图7为本发明实施例二的版库装置的升降导向模块的侧视示意图；

图8为本发明实施例三的版库装置解锁版盒时的状态图；

图9为本发明实施例三的版库装置示意图；

图10为本发明实施例三的版库装置的气浴及取放掩模版示意图；

图中，1-支撑座，2-定位支撑板，3-解锁模块，31-解锁组件，32-解锁电机，33-解锁模块连接件，341-转接件，342-丝杠固定件，4-升降驱动模块，41-电机，42-丝杠，421-丝杠轴，422-丝杠螺母，431-第一同步带轮，432-同步带，433-第二同步带轮，44-转动件，451-第一轴承，452-第二轴承，453-锁紧螺母，5-升降导向模块，51-第一直线导轨，52-第二直线导轨，511-第一直线导轨的轨道，512-第一直线导轨的滑块，521-第二直线导轨的轨道，522-第二直线导轨的滑块，61-第一支撑板，62-第二支撑板，63-第三支撑板，71-第一颗粒抽排管道，72-第二颗粒抽排管道，8-版库密封罩。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

在研究现有的版库结构时，发明人发现如下几个问题：

(1)、传统版库的版盒分离方式要求版盒基体(版盒底板+版架)的垂向运动方向和版架中掩模版上表面垂直，这一要求对版库设计精度要求很高；

(2)、光刻机设备要求版库设备的尺寸越来越小，针对6槽版盒，一般采用产线天车取放版盒，设计时需要避让天车取放版盒时的空间，要求版库的垂向空间较小；

(3)、传统版库结构的内部洁净度没有保障，打开的版盒中的掩模版易被污染。

而取放掩模版的传输机械手本身带有垂向升降功能，可以在不同高度取放掩模版，因而其可以代替传统版盒分离方式中版盒基体(版盒底板+版架)的升降。基于此，本发明提出了一种处理常用的6槽版盒的版库装置以及对应的掩模版存取方法。

实施例一

如图1所示，本发明的版库装置通过版盒基体(版盒底板+版架)固定，版盒罩壳垂向运动的方式实现版盒罩壳与版盒基体的分离，结合传输机械手的垂向运动实现机械手版叉在版架不同槽位取放掩模版，有效地降低了版库的精度要求。

具体地，结合图1，本发明的版库装置主要由支撑座1、定位支撑板2、解锁模块3以及升降驱动模块4组成。

如图1所示，定位支撑板2固定在支撑座1上，用来放置版盒，待处理的版盒包括罩壳及基体，而所述基体包括底板与设置在所述底板上的版架，所述罩壳通过与所述底板锁定对所述版架进行密封保护，所述版架用于存放掩模版；解锁模块3可滑动地设置在支撑座1上，用来对定位支撑板2上的版盒解锁，使得所述版盒的罩壳与底板断开连接，所述版盒的罩壳在解锁后与解锁模块3相连；升降驱动模块4固定在支撑座1上且偏置在定位支撑板2的一侧，通过驱动解锁模块3相对于定位支撑板2进行垂向升降带动解锁后的版盒罩壳运动，实现版盒罩壳与版盒基体的解锁分离，暴露出放置在定位支撑板2上的版盒底板及所述版盒底板上的版架。

可选的，如图1所示，定位支撑板2上设有定位孔(图中未标出)。当版盒通过天车放到定位支撑扳2上时，通过所述定位孔对所述版盒的底板进行固定，从而对所述版盒进行定位，使得后续在对所述版盒进行解锁/锁定或者取放掩模版时其位置不在外界干扰下发生偏移，提高后续操作的准确度和效率。

可选的，本发明的版库装置还包括一升降导向模块5，如图1所示，升降导向模块5固定在支撑座1上，解锁模块3通过升降导向模块5可滑动地连接在支撑座1上，且解锁模块3位于定位支撑板2的上方。

可选的，解锁模块3包括解锁组件31、解锁电机32及解锁模块连接件33。如图2所示，并结合图1，解锁电机32固定在解锁模块连接件33的下侧，位于整个解锁模块3的下侧。且解锁组件31和解锁电机32偏置于定位支撑板2的承载面之外，在解锁时，解锁电机32位于定位支撑板2的承载面的外侧、下侧。从而，能有效避免解锁模块3解锁之时摩擦产生的颗粒对定位支撑板2乃至于整个版库装置内部环境的影响。

其中，解锁组件31和解锁电机32可旋转、滑动地连接在解锁模块连接件33上，而解锁组件31和解锁电机32的具体结构及连接关系可以参考现有技术，在此不做赘述。解锁电机32驱动解锁组件31实现版盒底板与版盒罩壳的解锁或者锁定。

当解锁组件31对所述版盒解锁之后，所述版盒的罩壳与所述版盒的底板断开连接，且在解锁模块连接件33与解锁组件31的共同作用下，所述版盒的罩壳与解锁模块3连在一起，从而可以在升降驱动模块4的作用下带动解锁模块3及其上的版盒罩壳相对于所述版盒的底板(或者基体)做垂向升降运动实现版盒罩壳与版盒基体的分离。

可选的，升降驱动模块4包括电机41和丝杠42，如图2所示，电机41固定在支撑座1上；而丝杠42包括丝杠轴421和丝杠螺母422，丝杠轴421和丝杠螺母422通过螺纹副相啮合，丝杠轴421的顶端通过丝杠固定件342和转接件341与解锁模块连接件33相连，从而丝杠轴421与整个解锁模块3相连，丝杠螺母422与支撑座1可旋转连接。电机41带动丝杠螺母422转动，进而驱动丝杠轴421相对于定位支撑板2进行垂向升降运动。

具体地，参见图2，升降驱动模块4还包括一中空的转动件44，丝杠螺母422通过螺栓固定在转动件44中，而转动件44通过第一轴承451、第二轴承452以及锁紧螺母453固定在支撑座1上。其中，第一轴承451、第二轴承452的内圈分别和转动件44的上下两侧配合，实现转动件44的转动，而锁紧螺母453用来紧固第二轴承452。

可选的，电机41通过同步带轮和同步带与转动件44构成传动连接。如图2所示，第一同步带轮431固定在电机41的转动轴上，第二同步带轮433通过同步带432和第一同步带轮431实现转动传递，而第二同步带轮433通过顶丝和转动件44固定。

具体地，结合图2，升降驱动模块4的工作原理如下：电机41转动，带动第一同步带轮431转动，通过同步带432的传动带动第二同步带轮433转动，从而带动转动件44转动，转动件44转动带动丝杠螺母422转动，丝杠螺母422和丝杠轴421通过螺纹副将丝杠螺母422的转动转化为丝杠轴421的升降直线运动，转动件44的中空部分a为丝杠轴421升降直线运动的运动空间，丝杠轴421的上下升降运动带动解锁模块3和版盒罩壳的上下升降运动，实现版盒的解锁分离。

针对本发明的版库装置，本发明还提供了一种对应的操作版盒以及存取掩模版的方法，如图3所示，包括步骤：

s1、解开锁定的版盒，使得版盒的罩壳与底板断开连接；

s2、移走版盒的罩壳，暴露出版盒的底板及底板上的版架；

s3、通过传输机械手取放所述版架上的掩模版；

s4、放回版盒的罩壳并锁定版盒。

在步骤s3中，采用本发明的版库装置垂向上升移走版盒的罩壳之后，调节传输机械手相对于定位支撑板2的垂向高度，以取出定位支撑板2上暴露出的版架上不同层的掩模版，同时也可以通过传输机械手将用过不再用的掩模版放回到板架上。

在完成掩模版的取出或者放回后，执行步骤s4，放回版盒的罩壳并对版盒进行锁定。

可选的，如图2所示，本发明的版库装置还包括一与解锁模块3相连的版库密封罩8，版库密封罩8对整个版库装置的内部环境进行密封，防止外部环境对版库内部环境的污染。在解锁时，版库密封罩8随着解锁模块3被上升抬高，暴露出定位支撑板2及其上的版盒基体(版盒底板+版架)。

如图4为版盒罩壳(图中未画出)处于高位时的状态图，解锁模块3和版库密封罩8处于最高位，此状态下，版盒罩壳处于顶端，版盒罩壳与版盒基体(版盒底板+版架)分离，传输机械手可以从版库密封罩8完全开放面向传输内部的一面进入版库内部，对版架上不同层的掩模版进行取放。

在对一个版盒内所需的掩模版进行存取操作之后，放回版盒的罩壳并锁定版盒，再通过天车对版库装置中的版盒进行取放，以实现不同版盒的更换，满足对不同型号掩模版的取用需求。

更换版盒时，解锁模块3和版库密封罩8通过升降驱动模块4向下运动，如图5所示为版盒罩壳(图中未画出)处于低位时的状态图，此时版盒罩壳底面和版盒底板重合，此位置为版盒解锁/锁定工位，也是天车取放版盒的工位。

本发明的版库装置通过版盒基体固定不动、版盒罩壳垂向升降的方式的打开分离版盒，再结合本发明的掩模版存取方法中调节传输机械手垂向高度的手段，可实现对版盒版架上不同层掩模版的取放。本发明采取的不再是传统版库装置的“版库装置的升降模块精确适应传输机械手的取放版工位”，而是“通过调整传输机械手来适应版库装置的升降模块”，大大降低了版库结构的设计精度要求，提高了版库装置的设计与生产效率，有利于版库装置的大规模量产。

相对于现有的“丝杠轴转动、丝杠螺母直线运动、轴承布置在丝杠轴两侧”这一常用的运动轴布置方式，本发明通过“丝杠螺母转动、丝杠轴上下运动、轴承布置在丝杠轴下侧”的方式缩小了版库的(相对于定位支撑板2的承载面的)垂向空间尺寸。

可选的，如图2所示，电机41和丝杠螺母422的顶端低于定位支撑板2的承载面。参见图2，整个升降驱动模块4中除了丝杠轴421以外的部分全都位于定位支撑板2的承载面下侧，且整个升降驱动模块4偏置在定位支撑板2的一侧。进一步减小了升降驱动模块4所占用的垂向空间，有利于减小整个版库的垂向空间。

实施例二

针对本发明提出的第二个问题，如何进一步压缩减小版库装置的垂向空间。在实施例一的基础上，发明人提出了一种双层阶梯导轨的设计。

本发明的升降导向模块5包括固定组件和滑动组件，所述固定组件固定在支撑座1上，所述滑动组件可滑动地设置在所述固定组件上，解锁模块3与所述滑动组件相连，从而使得解锁模块3可滑动地连接在支撑座1上。

可选的，本实施例的升降导向模块5采用直线导轨，所述固定组件为轨道，所述滑动组件为滑块。

可选的，如图6所示，并结合图7，本实施例的升降导向模块5为双层阶梯直线导轨，升降导向模块5包括第一直线导轨51和第二直线导轨52。第一直线导轨51的轨道511通过螺栓固定在第一支撑板61的一面上，而第一支撑板61的另一面通过螺栓固定在支撑座1上，第一直线导轨51的512滑块通过螺栓与第二支撑板62的一面固定；第二直线导轨52的轨道521通过螺栓固定在第二支撑板62的另一面，第二直线导轨52的滑块522通过螺栓与第三支撑板63的一面固定，第三支撑板63的顶端通过螺栓与解锁模块连接件33相连。

此外，本实施例的双层阶梯导轨还可以采用交叉滚子导轨等其他形式代替。

本实施例通过这种双层呈阶梯式直线导轨的升降导向模块设计，能有效减少版库装置处于低位时(即如图5所示的版盒罩壳处于低位)占用的垂向空间，从而有利于缩减整个版库装置的垂向空间尺寸。

在实施例一的“丝杠螺母转动、丝杠轴上下运动、轴承布置在丝杠轴下侧”的运动轴布置方式及“整个升降驱动模块4中除了丝杠轴421以外的部分全都位于定位支撑板2的承载面下侧”的结构设计基础上，再结合本实施例的双层阶梯导轨能进一步缩减版库装置的垂向空间。

实施例三

针对本发明提出的第三个问题，发明人在实施例一和实施例二的基础上改进了版库装置的结构设计，以清洁版库装置内部的环境。

分析实施例一和实施例二中版库装置的结构，发现升降驱动模块4中的电机、同步带、同步带轮、轴承以及转动件等运动件的旋转运动，丝杠轴和丝杠螺母的螺纹啮合等存在相对摩擦的位置均设置在定位支撑板2的下面，且整个升降驱动模块4偏置在定位支撑板2的一侧，故升降驱动模块4在运动摩擦中产生的颗粒不会掉落到定位支撑板2上，从而不影响版库内部的环境。

所以版库装置自身产生颗粒的位置主要来自于解锁模块3以及升降导向模块5。如图7所示，版库装置对版盒解锁时，解锁模块3中的解锁电机32以及连接轴承等处于定位支撑板2的下面，且解锁电机32及其连接轴承偏置在定位支撑板2的承载面之外，解锁模块3的驱动部分运动产生的颗粒会掉落到版库装置之外，不影响版库内部的环境，更不影响定位支撑板2上的版盒。

此外，版库装置在使用时处于整个光刻机设备的最外侧，版库装置产生排出的颗粒掉落到机台外部，并不影响光刻机设备。

但是，如图7所示，解锁模块3中的解锁组件31始终位于定位支撑板2上方，解锁组件31解锁时产生的颗粒容易掉落到定位支撑板2上，污染版库装置的内部环境；参见图8，在版库装置(版盒罩壳)运动到高位时，升降驱动模块5中的第二直线导轨52超过定位支撑板2的承载面，即此时第二直线导轨52位于版库装置内部，第二直线导轨52上滑块和轨道摩擦产生的颗粒会落到定位支撑板2上，影响版库装置内部环境。

基于此，如图8所示，本实施例中的版库装置分别在解锁模块3及升降导向模块5上设有颗粒抽排管道，通过所述颗粒抽排管道抽气排出解锁组件31及升降导向模块5在运动过程中产生的颗粒。

具体地，参见图8，本实施例中的版库装置还包括设置在第二直线导轨52上的第一颗粒抽排管道71和设置在解锁组件31上的第二颗粒抽排管道72，通过第一颗粒抽排管道71抽气精准地排出第二直线导轨52产生的颗粒，通过第二颗粒抽排管道72抽气精准地排出解锁组件31产生的颗粒。

不可避免地，第二直线导轨52与解锁组件31产生的颗粒仍会有一部分落定位支撑板2上；同时，分离、打开版盒之后，版库密封罩8也被抬升打开，版库装置外部环境中的尘埃颗粒会飘落到版库装置内部，进而会污染版盒版架中的掩模版。

基于此，本实施例的版库装置还包括一套气浴系统，通过气浴系统向版库装置内部的定位支撑板2上通入气浴，以清除版盒罩壳与版盒底板分离之后暴露出来的版盒版架上掩模版的颗粒污染，同时防止版库装置外部颗粒进入版库装置内。

如图9(图中未画出气浴系统)所示，在版盒罩壳处于高位时，即所述版盒被打开之后，版库装置的顶面为版盒罩壳(图中未画出)加解锁模块3，版库装置的底面为定位支撑板2，与定位支撑板2相互垂直的3个面为版库密封罩8，剩余的1个垂直面正对传输内部并向传输内部开放，是传输机械手取放掩模版的空间。

基于此，可以利用这个空间，接入一套气浴系统，把剩余的1个垂直且对传输内部开放的面作为版库装置的气浴吹入口，气浴从此面吹入版库装置内部，实现版库装置内部相对于外部环境的局部正压，避免版库装置外部颗粒进入版库装置的内部，同时能吹扫掩模版上的颗粒污染，实现版库内部环境的洁净。

相应地，实施例一中的掩模版存取方法也可以加上一个步骤，参考图3，可以在s2、s3之间加上一个步骤：对存放掩模版的版架区域进行气浴，直到锁定版盒或者更换版盒。这样一来，能降低掩模版从版盒存取过程中的污染。

本实施例中通过颗粒抽排管道精准地抽排版库装置产生的颗粒，同时加入一套气浴系统，对打开后的版库装置和版盒进行气浴，实现版库装置内部相对于外部环境的局部正压，清洁版库装置内部环境和掩模版，再结合实施例一实施例二中“将解锁模块3、升降驱动模块4以及升降导向模块5的大部分结构设置在定位支撑板2的承载面之外”的结构设计，能有效地降低版库装置内部的污染。

综上所述，在本发明实施例一提供的版库装置中，通过版盒基体(版盒底板+版架)固定不动、版盒罩壳垂向升降的方式打开分离版盒，再结合实施例一的掩模版存取方法中调节传输机械手垂向高度的手段，可实现对版盒版架上不同层掩模版的取放；采取的不再是传统版库装置的“版库装置的升降模块精确适应传输机械手的取放版工位”，而是“通过调整传输机械手来适应版库装置的升降模块”，大大降低了版库结构的设计精度要求，提高了版库装置的设计与生产效率，有利于版库装置的大规模量产。

此外，在实施例一的“丝杠螺母转动、丝杠轴上下运动、轴承布置在丝杠轴下侧”的运动轴布置方式及“整个升降驱动模块中除了丝杠轴以外的部分全都位于定位支撑板的承载面下侧”的结构设计基础上，再结合实施例二的双层阶梯导轨能进一步缩减版库装置的垂向空间；在实施例一实施例二的“将解锁模块、升降驱动模块以及升降导向模块的大部分结构设置在定位支撑板的承载面外部”的设计基础上，再结合实施例三的颗粒抽排管道和气浴系统，能有效地降低版库装置内部环境的污染，同时清洁打开版盒中的掩模版。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”、“第二”之类的关系术语仅仅用来将一个部件与另一个部件区分开来，而不一定要求或者暗示这些部件之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。