微型掩膜版、掩膜版装置及激光头的制作方法

技术特征：

技术总结
本申请公开了一种微型掩膜版、掩膜版装置及激光头，该微型掩膜版包括遮光区域和开口区域，开口区域被遮光区域包围。根据本发明实施例提供的技术方案，通过开口区域被遮光区域包围微型掩膜版，能够解决传统掩膜版成本高的问题。

技术研发人员：张亮;陈旭;黄俊杰;包珊珊
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
技术研发日：2017.12.05
技术公布日：2018.05.15