05的下表面反射的第二反射光形成的干涉光。这里，将薄膜的厚度设为X，可以将反射率y表示为如下函数:
[0047]y = fy(x)，其中所述薄膜105的折射率、空气的折射率以及光线的入射角是预先设定的。灵敏度S = (dy)/(dx) = f/ (X)，也就是说，利用薄膜的厚度X对函数fy(x)进行微分从而获得函数f/ U)。因此，所述灵敏度S可以表示为如下函数:
[0048]S = f/ (X)，其中所述薄膜105的折射率、空气的折射率以及光线的入射角是预先设定的，从而可以将灵敏度定义为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值。
[0049]本实施例通过修正模块来消除所述薄膜的厚度的变化对干涉光的反射率的影响，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接。所述修正模块根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正，所述预定的灵敏度为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值，所述判断模块根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。优选的，所述检测装置还包括存储模块，所述存储模块与所述修正模块连接。所述存储模块存储所述预定的灵敏度的信息。通过所述预定的灵敏度，所述修正模块能够对一部分干涉条纹图像进行修正，这部分干涉条纹图像的干涉光具有预定范围之外的灵敏度，从而降低干涉光的反射率的变化对形成干涉条纹图像的影响，提高所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
[0050]在实际应用中，所述检测装置还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接。所述对比度加强模块用于加强所述干涉条纹图像的对比度。所述判断模块根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述对比度加强模块对所述干涉条纹图像的对比度进行强调，从而提高所述干涉条纹图像的对比度，以提高所述检测装置对薄膜厚度的均匀性检测的准确度，以确保薄膜厚度的均勾性，从而提尚显不面板的显不质量。
[0051]本实施例提供的检测方法中，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述光源模块以预定的角度向薄膜发射光线，所述接收模块接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光，所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像，所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测方法能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
[0052]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种检测装置，其特征在于，包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接； 所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线； 所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光； 所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像； 所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接； 所述修正模块用于根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正，所述预定的灵敏度为所述薄膜的反射率变化相对于所述薄膜的厚度变化的比值； 所述判断模块用于根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括存储模块，所述存储模块与所述修正模块连接； 所述存储模块用于存储所述预定的灵敏度的信息。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接； 所述对比度加强模块用于加强所述干涉条纹图像的对比度； 所述判断模块用于根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接； 所述转化模块用于将所述干涉条纹图像转化为数字信号； 所述判断模块用于将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接； 所述滤波处理模块用于过滤预定的频率范围之外的干涉光； 所述图像生成模块用于根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。
7.—种利用检测装置进行的检测方法，其特征在于，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述图像生成模块分别与所述接收模块和判断模块连接； 所述检测方法包括: 所述光源模块以预定的角度向薄膜发射光线； 所述接收模块接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光； 所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括修正模块，所述修正模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括: 所述修正模块根据预定的灵敏度对所述干涉条纹图像进行修正； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括: 所述判断模块根据修正后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
9.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括对比度加强模块，所述对比度加强模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括: 所述对比度加强模块加强所述干涉条纹图像的对比度； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括: 所述判断模块根据对比度加强后的干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。
10.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括转化模块，所述转化模块分别与所述图像生成模块和所述判断模块连接； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤之前包括: 所述转化模块将所述干涉条纹图像转化为数字信号； 所述判断模块根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀的步骤包括:所述判断模块将所述干涉条纹图像的数字信号与标准干涉条纹图像的数字信号进行比较，以判断所述薄膜的厚度是否均匀。
11.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括滤波处理模块，所述滤波处理模块分别与所述接收模块和所述图像生成模块连接； 所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像的步骤之前包括: 所述滤波处理模块过滤预定的频率范围之外的干涉光； 所述图像生成模块根据所述干涉光形成干涉条纹图像的步骤包括: 所述图像生成模块根据过滤后的干涉光形成干涉条纹图像。
【专利摘要】本发明提供一种检测装置和检测方法，所述检测装置包括光源模块、接收模块、图像生成模块和判断模块，所述光源模块用于以预定的角度向薄膜发射光线，所述接收模块用于接收所述薄膜的上表面反射的第一反射光与所述薄膜的下表面反射的第二反射光形成的干涉光，所述图像生成模块用于根据所述干涉光形成干涉条纹图像，所述判断模块用于根据所述干涉条纹图像判断所述薄膜的厚度是否均匀。所述检测装置能够对薄膜厚度的均匀性进行高精度检测，以确保薄膜厚度的均匀性，从而提高显示面板的显示质量。
【IPC分类】G02F1-13
【公开号】CN104536172
【申请号】CN201510033042
【发明人】井杨坤, 江昌俊
【申请人】合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2015年1月22日