养周期较长或者溅射夹具功率太大时，容易造成镀膜脱落，从而降低制程的精度，以及会增加生产成本，通过在弧形状夹嘴部的上表面增加凸起结构，能够阻挡镀膜脱落，从而避免浪费原材料、以及提高制程的精度，有利于降低生产成本。
[0042]图5中选定区域50的放大示意图参见图6，所述弧形状夹嘴16部包括弯折区域(图中未示出)，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽19。所述凹槽19的形状可为U形。所述凹槽19可沿弧形状夹嘴部16的弯曲线的切线方向排布，由于在弧形状夹嘴弯折处设置凸起结构，会增加加工难度，因此用凹槽代替凸起结构，降低加工难度，以降低生产成本。
[0043]结合图5，所述支撑部15上设置有螺丝孔17，在所述支撑部15和所述弧形状夹嘴部16之间设置有挡板21，所述挡板21用于阻挡所述弧形状夹嘴部16上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。由于镀膜会流入螺丝孔内，形成电弧放电，不利于制程，通过设置挡板防止镀膜区域往下扩展，避免镀膜流入螺丝孔形成短路。
[0044]所述挡板21可为中空状，所述支撑部15和所述弧形状夹嘴部16之间设置有卡槽，所述挡板21套在所述卡槽外围。所述挡板一边可以开有开口。通过这样设置挡片，可以更好地固定挡片。
[0045]优选地，所述挡板21的材料为铁氟龙，由于铁氟龙较便宜，从而可以节省生产成本。
[0046]本发明还提供一种溅射操作平台，其包括:溅射夹具，其用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其中所述溅射夹具包括:
[0047]操作基台和多个夹具本体；每个所述夹具本体，包括:固定件、转轴、活动件、夹持件；所述固定件固定在所述操作基台上；所述转轴用于连接所述固定件与活动件；所述活动件可以通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。
[0048]优选地，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
[0049]优选地，所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
[0050]优选地，所述挡板的材料为铁氟龙。
[0051]优选地，所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
[0052]本发明的溅射夹具及溅射操作平台，通过在其上挡板上设置凸起结构；从而防止镀膜脱落，进一步，在溅射夹具的折弯处设置凹槽取代凸起结构，以降低生产难度，在溅射夹具的螺丝孔和上挡板之间设置挡板，从而防止镀膜区域往下扩展，避免镀膜流入螺丝孔形成短路。
[0053]综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
【主权项】
1.一种溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其特征在于，包括: 操作基台； 多个夹具本体，其包括: 固定件，固定在所述操作基台上； 转轴，用于连接所述固定件与活动件； 所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；以及所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。
2.根据权利要求1所述的溅射夹具，其特征在于，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
3.根据权利要求1所述的溅射夹具，其特征在于， 所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
4.根据权利要求3所述的溅射夹具，其特征在于，所述挡板的材料为铁氟龙。
5.根据权利要求3所述的溅射夹具，其特征在于， 所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
6.一种溅射操作平台，其特征在于，包括: 溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其中所述溅射夹具包括: 操作基台； 多个夹具本体，其包括: 固定件，固定在所述操作基台上； 转轴，用于连接所述固定件与活动件； 所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动； 所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。
7.根据权利要求6所述的溅射操作平台，其特征在于，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
8.根据权利要求6所述的溅射操作平台，其特征在于，所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
9.根据权利要求8所述的溅射操作平台，其特征在于，所述挡板的材料为铁氟龙。
10.根据权利要求8所述的溅射操作平台，其特征在于，所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
【专利摘要】本发明提供一种溅射夹具及溅射操作平台，所述溅射夹具用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其包括：操作基台、多个夹具本体，其包括：固定件，固定在所述操作基台上；转轴，用于连接所述固定件与活动件；所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部，所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。本发明的溅射夹具及溅射操作平台，通过在弧形状夹嘴部的上表面设置有多个凸起结构，以解决保养周期较长或者功率较大时，镀膜容易脱落的技术问题。
【IPC分类】B25B11-00, G02F1-13
【公开号】CN104820301
【申请号】CN201510209480
【发明人】王子彦
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月27日