一种溅射夹具及溅射操作平台的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器领域，特别是涉及一种溅射夹具及溅射操作平台。
【背景技术】
[0002]液晶显示面板的制程中，常使用溅射夹具来固定玻璃基板，以便在玻璃基板上进行制程作业，譬如真空镀膜，真空镀膜可用于制作第一金属层，常用纯铝来制造第一金属层。随着真空镀膜中所用材料的改进，使得溅射夹具的保养周期变长。保养周期较长时，溅射夹具容易造成镀膜脱落，特别当溅射夹具功率达到15000?30000k/hr时，这种情况更容易出现；而且因长时间镀膜，镀膜区域逐渐由溅射夹具往下扩展，最终流入溅射夹具上的螺丝孔内形成短路，进而出现电弧放电。
[0003]故，有必要提供一种溅射夹具及溅射操作平台，以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种溅射夹具及溅射操作平台，以解决现有的溅射夹具由于长时间未保养或者功率太大时，容易造成镀膜脱落的技术问题。
[0005]为解决上述问题，本发明提供一种溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其包括:
[0006]操作基台；
[0007]多个夹具本体，其包括:
[0008]固定件，固定在所述操作基台上；
[0009]转轴，用于连接所述固定件与活动件；
[0010]所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；以及
[0011]所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。
[0012]在本发明的溅射夹具中，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
[0013]在本发明的溅射夹具中，所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
[0014]在本发明的溅射夹具中，所述挡板的材料为铁氟龙。
[0015]在本发明的溅射夹具中，所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
[0016]本发明还提供一种溅射操作平台，其包括:
[0017]溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其中所述溅射夹具包括:
[0018]操作基台；
[0019]多个夹具本体，其包括:
[0020]固定件，固定在所述操作基台上；
[0021]转轴，用于连接所述固定件与活动件；
[0022]所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；
[0023]所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。
[0024]在本发明的溅射操作平台中，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
[0025]在本发明的溅射操作平台中，所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
[0026]在本发明的溅射操作平台中，所述挡板的材料为铁氟龙。
[0027]在本发明的溅射操作平台中，所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
[0028]本发明的溅射夹具及溅射操作平台，通过在其上挡板上设置凸起结构；从而防止镀膜脱落，进一步，在溅射夹具的折弯处设置凹槽取代凸起结构，以降低生产难度，在溅射夹具的螺丝孔和上挡板之间设置挡板，从而防止镀膜区域往下扩展，避免镀膜流入螺丝孔形成短路。
[0029]为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下:
【附图说明】
[0030]图1为本发明溅射夹具的俯视图；
[0031]图2为图1中溅射夹具沿AA’方向的剖面示意图；
[0032]图3为本发明夹具本体的放大结构示意图；
[0033]图4为本发明夹具本体的移动过程示意图；
[0034]图5为本发明优选实施例的夹具本体的结构示意图；
[0035]图6为图5中选定区域50的放大示意图。
【具体实施方式】
[0036]以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
[0037]在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。
[0038]请参照图1，图1为本发明溅射夹具的俯视图；
[0039]本发明的溅射夹具如图1和2所示，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，所述溅射夹具包括:操作基台10、多个夹具本体20，多个夹具本体从基板的四周夹紧基板，结合图3，每个所述夹具本体20包括:固定件11、转轴12、活动件13、夹持件14，所述固定件11固定在所述操作基台10上；所述转轴12用于连接所述固定件11与所述活动件13 ；可以通过所述转轴的转动使得所述活动件13相对所述固定件11运动，以带动所述夹持件14移动；在使用过程中，通过转动所述转轴12，从而使得所述活动件13带动所述夹持件14远离或者夹紧基板，譬如所述夹持件14夹紧基板的状态为图4中的30位置，所述夹持件14不需要夹紧基板的状态为图4中的40位置，以及所述夹持件14设置在所述活动件13上，譬如所述活动件13开有孔，所述夹持件14固定在该孔内，该孔的孔径略大于所述夹持件与所述孔接触部分的外径。
[0040]结合图5，所述夹持件14包括相互连接的支撑部15和弧形状夹嘴部16 ;结合图6，所述弧形状夹嘴部16的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构18。所述凸起结构的形状可为长方体，优选地，所述凸起结构18沿弧形状夹嘴部16的弯曲线的切线方向排布，能够更好地阻挡镀膜脱落。还可在所述凸起结构的上设置多个凹陷，或者在所述凸起结构的表面上设置多个凸点，以便进一步阻挡镀膜脱落。
[0041]由于在镀膜过程中，保