光。作为光源32例如利用LED (LightEmitting D1de:发光二极管)。照明光学系统33将来自光源32的光向空间光调制设备34引导。照明光学系统33例如具有积分器331、透镜332和反光镜(mirror) 333。积分器331提高来自光源32的光的照度分布的均匀性。作为积分器331例如使用石英棒。
[0057]作为空间光调制设备34例如使用将能够单独改变朝向的多个微小镜面排列在平面上的光学元件即DMD(数字微镜设备)。图3是表示空间光调制设备34的图。空间光调制设备34具有设置在硅基板341上的微小镜面组342。在微小镜面组342中，多个微小镜面343以2维的方式排列(即，排列在相互垂直的2个方向上)。实际的微小镜面组342包括比图3所示的数量多的多个微小镜面343。在空间光调制设备34中，按照写入与各微小镜面343对应的存储单元中的数据，借助静电作用，使各微小镜面343相对于硅基板341的表面仅倾斜规定的角度。另外，向如图2所示的投影光学系统35引导仅由处于与规定的打开状态对应的姿势的微小镜面343发出的反射光形成的光(即，空间调制后的光)。
[0058]通过投影光学系统35，将由空间光调制设备34进行空间调制后的光向工作台21上的基板9(参照图1)引导。来自投影光学系统35的光照射至在光学上与空间光调制设备34的微小镜面组342 (参照图3)共轭的基板9上的照射区域。
[0059]如图2所示，检查部4的采光头42插入在作为检查对象的从描绘头31的光源32至空间光调制设备34为止的光路上。采光头42在该光路上取得从光源32朝向空间光调制设备34的光的至少一部分。在图2所示的例子中，采光头42插入在从积分器331至空间光调制设备34为止的光路上。具体地说，采光头42插入在紧邻积分器331之后的位置，即插入在积分器331和透镜332之间。其它采光头42也同样地，插入在其它描绘头31的从光源32至空间光调制设备34为止的光路上，取得从光源32朝向空间光调制设备34的光的至少一部分。在图1所示的描绘装置I中，其它的采光头42也插入在其它的描绘头31的从积分器331至空间光调制设备34为止的光路上。
[0060]多个束状光纤43将多个采光头42分别与检查头41连接。束状光纤43是将几百至几千根作为线材的细光纤扎束而成的。在图2中对于3个束状光纤43中的2个束状光纤43仅不出了其一部分。
[0061]检查头41具有固定在检查头41的外壳上的积分器(例如，石英柱)和透镜等。采光头42取得的光经由与采光头42连接的束状光纤43被引导至检查头41，通过检查头41提高照度分布的均匀性，然后被引导至光量传感器44。检查头41以及在图2中示出整体的束状光纤43是将该束状光纤43所连接的采光头42取得的光，向光量传感器44引导的测定光学系统。另外，该检查头41以及其它的束状光纤43是将其它的束状光纤43所连接的其它的采光头42取得的光，向光量传感器44引导的其它的测定光学系统。检查头41在多个测定光学系统中共用。
[0062]如图1所不，米光头移动机构45使多个米光头42相对于多个描绘头31移动。在图1所不的例子中，通过米光头移动机构45使多个米光头42同时在上下方向(即，Z方向)上移动。由此，如图2所示，多个采光头42分别插入多个描绘头31的光路上，另外分别从该光路上离开。在图2中，通过双点划线描绘位于从光路上离开的位置上的采光头42。在图2中，省略图示采光头移动机构45。作为采光头移动机构45例如使用气缸。
[0063]如上所述，光量传感器44配置在工作台21上。如图1所示，光量传感器44的受光面441与保持在工作台21上的基板9的上表面91在Z方向上大致位于同一位置。在描绘装置I中，通过移动机构22使工作台21在X方向以及Y方向上移动，这样光量传感器44也在X方向以及Y方向上移动。
[0064]检查部4还具有对描绘部3的描绘头31的异常进行检测的描绘头异常检测部。图4是表示描绘头异常检测部46的功能的框图。描绘头异常检测部46是通过总线将用于进行各种运算处理的CPU、用于存储基本程序的ROM以及用于存储各种信息的RAM等进行连接的一般的计算机系统的结构。描绘头异常检测部46具有异常检测部461和另一个异常检测部462。在以下的说明中，为了区分异常检测部461、462，分别称为“第一异常检测部461”以及“第二异常检测部462”。在图4中，一并示出描绘装置I的与描绘头异常检测部46连接的其它结构。
[0065]接着，一边参照图5 —边说明描绘装置I的多个描绘头31的检查流程。在描绘装置I中，首先，通过移动机构22移动工作台21，如图6所示，使光量传感器44位于最靠+X侧的描绘头31的正下方(S卩，-Z侧)(步骤Sll)。在以下的说明中，将图6所示的光量传感器44的位置称为“描绘光量测定位置”。描绘光量测定位置为相对于位于最靠+X侧的描绘头31而决定的位置。
[0066]在光量传感器44位于描绘光量测定位置时，图2所示的最靠+X侧的描绘头31的光源32被点亮，来自光源32的光经由照明光学系统33、空间光调制设备34以及投影光学系统35，被引导至图6所示的位于描绘光量测定位置的光量传感器44。光量传感器44接受来自投影光学系统35的光，取得该光的光量(步骤S12)。在以下的说明中，将位于描绘光量测定位置的光量传感器44接受的来自投影光学系统35的光的光量(即，照度)称为“描绘光量”。在描绘头31中，调整向光源32供给的电流，使得描绘光量与规定的目标光量(例如，在基板9上描绘图案时的光量)相等。
[0067]在取得图6中的最靠+X侧的描绘头31的描绘光量时，通过第二移动机构24使光量传感器44与工作台21 —起向-X方向移动，并位于3个描绘头31中的中央的描绘头31的正下方。换而言之，光量传感器44位于下一个描绘头31的描绘光量测定位置(步骤S13、Sll) ο在光量传感器44位于下一个描绘光量测定位置时，点亮中央的描绘头31的光源32，通过光量传感器44接受来自该描绘头31的投影光学系统35的光，取得该光的光量即描绘光量(步骤S12)。另外，调整向光源32供给的电流，使得描绘光量与上述的目标光量相等。
[0068]在描绘装置I中，依次向与多个描绘头31对应的多个描绘光量测定位置移动光量传感器44，依次取得多个描绘头31的描绘光量，调整向光源32供给的电流，使得描绘光量与目标光量相等(步骤Sll?S13)。多个描绘头31的各自的描绘光量从光量传感器44发送至图4所示的描绘头异常检测部46的第一异常检测部461。送至第一异常检测部461的多个描绘头31的描绘光量大致与目标光量相等。
[0069]在取得了多个描绘头31的描绘光量时，通过第二移动机构24使光量传感器44向+X方向移动，如图1以及图2所示，使其位于检查头41的正下方(即，-Z侧)(步骤S14)。在以下的说明中，将图1以及图2所示的光量传感器44的位置称为“中间光量测定位置”。中间光量测定位置是相对于检查头41而预先决定的相对位置。
[0070]在描绘装置I中，中间光量测定位置以及分别与多个描绘头31对应的多个描绘光量测定位置配置在与X方向平行的大致直线上。第二移动机构24是传感器移动机构，使工作台21相对于检查头41以及多个描绘头31在X方向上移动，来使光量传感器44在中间光量测定位置和多个描绘光量测定位置之间移动。
[0071]在光量传感器44位于中间光量测定位置时,通过米光头移动机构45使各米光头42下降，如在图2用实线所示，使其插入在对应的描绘头31的光路上(步骤S15)。另外，在多个描绘头31中的I个描绘头31中，点亮光源32，在其它描绘头31关闭光源32。例如，仅点亮最靠+X侧的描绘头31的光源32，关闭其它描绘头31的光源32。并且，通过插入在点亮光源32的描绘头31的光路上的采光头42，取得来自该光源32的一部分光。被采光头42取得的光通过与该采光头42对应的测定光学系统(即，与该采光头42连接的束状光纤43以及检查头41)，被引导至位于中间光量测定位置的光量传感器44，被该光量传感器44接受。在以下的说明中，将位于中间光量测定位置的光量传感器44接受的来自测定光学系统的光的光量(即，照度)称为“中间光量”。
[0072]在取得了最靠+X侧的描绘头31的中间光量时，点亮3个描绘头31中的中央的描绘头31的光源32，关闭其它描绘头31的光源32。另外，与上述相同，通过插入在中央的描绘头31的光路上的中央的采光头42，取得来自该描绘头31的光源32的一部分光。被采光头42取得的光通过与该采光头42对应的测定光学系统被引导至位于中间光量测定位置的光量传感器44。来自测定光学系统的光被光量传感器44接受，由此取得中央的描绘头31的中间光量。
[0073]在描绘装置I中，按照上述的顺序，分别依次取得多个描绘头31的中间光量(步骤S16)。在依次取得多个描绘头31的中间光量的期间，光量传感器44不从中间光量测定位置移动。多个描绘头31的各个中间光量被输送至图4所示的描绘头异常检测部46的第一异常检测部461以及第二异常检测部462。各描绘头31的中间光量为描绘光量以下。在各描绘头31中，中间光量例如为描绘光量的10%以上且100%以下。此外，多个描绘头31的中间光量不需要一定相互相等。
[0074]在取得各描绘头31的中间光量的动作结束时，通过采光头移动机构45使多个采光头42上升，使它们从多个描绘头31的光路上离开(步骤S17)。并且，通过描绘头异常检测部46的第一异常检测部461，基于各描绘头31的中间光量和描绘光量，检测各描绘头31是否异常。具体地说，首先，通过第一异常检测部461，基于来自光量传感器44的输出，求出描绘头31的描绘光量与中间光量之间的比例(以下，称为“测定光量比例”)。在第一异常检测部461中预先存储有描绘头31处于正常的状态时的测