具有水冷机构的纳米热压印装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有水冷机构的纳米热压印装置，其包括：加热机构，其内设置有加热腔；水冷机构，其设置于加热机构的底部，水冷机构具有腔体，腔体内充有冷却液体，腔体的底部设置有制冷片，且腔体的内部还设置有将冷却液体抽到加热腔处的驱动单元。本实用新型可以在保证冷却效率的同时有效地缩小冷却机构对空间的占用，降低整体设备的体积，并保证外观的美观性。
【专利说明】
具有水冷机构的纳米热压印装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种纳米热压印装置，具体涉及一种具有水冷机构的纳米热压印
目.0
【背景技术】
[0002]热压工艺是在微纳米尺度获得并行复制结构的一种成本低而速度快的方法，仅需一个模具，完全相同的结构可以按需复制到大的表面上，其基本概念是把坚硬的压模毛坯加工成一个压模，然后再用来绘制纳米图案的基片上旋涂一层聚合物薄膜，将其放入压印机加热并且通过一定压力把压模压在基片上的聚合物薄膜上，再把温度降低到聚合物凝固点附近并且把压模与聚合物层相分离，就在基片上做出了凸起的聚合物图案。
[0003]目前已有的微结构热压印设备，一般是通过气缸将上下压印腔密合，对压印腔的冷却则通过外置的冷却水箱实现。为了保证冷却速率，水箱体积通常都会做的较大，且需将管路外露，影响美观，且整个设备占用空间较大。
【实用新型内容】
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可以降低体积且保证外观美观的具有水冷机构的纳米热压印装置。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0006]具有水冷机构的纳米热压印装置，其包括:
[0007]加热机构，其内设置有加热腔；
[0008]水冷机构，其设置于加热机构的底部，水冷机构具有腔体，腔体内充有冷却液体，腔体的底部设置有制冷片，且腔体的内部还设置有将冷却液体抽到加热腔处的驱动单元。
[0009]本实用新型通过将水冷机构直接设置于加热机构的底部，并在水冷机构的腔体内设置冷却液体和制冷片以及将冷却液体抽到加热机构的加热腔处的驱动单元，从而使得对加热腔的冷却可以直接在加热机构的底部完成，同时通过制冷片将升温后的冷却液体继续冷却，因此可以在保证冷却效率的同时有效地缩小冷却机构对空间的占用，降低整体设备的体积，并保证外观的美观性。
[0010]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以作如下改进:
[0011 ]作为优选的方案，上述的加热机构包括底座和盖体，该底座上开设有第一腔体，该盖体上开设有第二腔体，盖体和底座盖合后，第一腔体和第二腔体形成加热腔。
[0012]采用上述优选的方案，可以方便打开和关闭加热腔。
[0013]作为优选的方案，上述的制冷片的底部还连接有散热片，散热片上布置有多个翅片。
[0014]采用上述优选的方案，可以形成对制冷片和腔体的散热作用，保证冷却效率。
[0015]作为优选的方案，上述的底座上设置有可转动的杆体，盖体上对应杆体设置有U形的卡接部，盖体和底座盖合后，杆体卡入卡接部内。
[0016]采用上述优选的方案，可以保证盖体和底座之间的紧密盖合。
[0017]作为优选的方案，上述的杆体的顶部设置有可转动的“6”字形的压块。
[0018]采用上述优选的方案，可以进一步地保证盖体和底座之间的紧密盖合。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的结构剖视图。
[0020]图2为本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的立体图。
[0021]其中，1.加热机构11.加热腔12.加热盘13.密封圈14.底座141.第一腔体15.盖体151.第二腔体2.水冷机构21.腔体22.水管接口 23.制冷片24.散热片241.翅片25.驱动单元31.杆体32.卡接部33.压块。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
[0023]为了达到本实用新型的目的，如图1-2所示，在本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的其中一些实施方式中，其包括:加热机构I，其内设置有加热腔11，该加热腔11内设置有加热盘12;水冷机构2，其设置于加热机构I的底部，水冷机构2具有腔体21，腔体21内充有冷却液体(冷却水等)，腔体21通过水管接口 22连接水源，腔体21的底部设置有制冷片23，制冷片23需要连接电源(未示出)，且腔体21的内部还设置有将冷却液体抽到加热腔处的驱动单元25，该驱动单元25具体可以为水栗。
[0024]本实施例通过将水冷机构直接设置于加热机构的底部，并在水冷机构的腔体内设置冷却液体和制冷片以及将冷却液体抽到加热机构的加热腔处的驱动单元，从而使得对加热腔的冷却可以直接在加热机构的底部完成，同时通过制冷片将升温后的冷却液体继续冷却，因此可以在保证冷却效率的同时有效地缩小冷却机构对空间的占用，降低整体设备的体积，并保证外观的美观性。
[0025]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1-2所示，在本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的加热机构I包括底座14和盖体15，该底座14上开设有第一腔体141，该盖体15上开设有第二腔体151，盖体15和底座14盖合后，第一腔体141和第二腔体142形成加热腔11。采用该实施方式的方案，可以方便打开和关闭加热腔。而为了保证密封性，底座14上还可以设置密封圈13。
[0026]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1-2所示，在本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的制冷片23的底部还连接有散热片24，散热片24上布置有多个翅片241。采用该实施方式的方案，可以形成对制冷片和腔体的散热作用，保证冷却效率。
[0027]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1-2所示，在本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的底座14上设置有可转动的杆体31，盖体15上对应杆体31设置有U形的卡接部32，盖体15和底座14盖合后，杆体31卡入卡接部32内。采用该实施方式的方案，可以保证盖体和底座之间的紧密盖合。同时，杆体31的顶部设置有可转动的“6”字形的压块33，来压住盖体15。
[0028]下面介绍本实用新型的具有水冷机构的纳米热压印装置的工作原理:将模板和基板依次放置到加热盘上，合上盖体，利用杆体、卡接部和压块将盖体和底座锁紧密合，随后进行正常的热压印流程(抽真空-真空表显示，加热-温控器显示温度，加压-触摸屏显示压力)，当进行到热压结束进行冷却时，开启冷却机构的腔体中的驱动单元，通过驱动单元将腔体中的冷却液体带入到加热盘中进行循环冷却，冷却液体的热量通过底部的制冷片快速传递到散热片上，以此达到与外挂大水箱同样的冷却效果。同时，还可以在腔体中加装液位传感器来提示用户液位过高或过低。
[0029]以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.具有水冷机构的纳米热压印装置，其特征在于，包括: 加热机构，其内设置有加热腔； 水冷机构，其设置于所述加热机构的底部，所述水冷机构具有腔体，所述腔体内充有冷却液体，所述腔体的底部设置有制冷片，且所述腔体的内部还设置有将所述冷却液体抽到所述加热腔处的驱动单元。2.根据权利要求1所述的具有水冷机构的纳米热压印装置，其特征在于，所述加热机构包括底座和盖体，所述底座上开设有第一腔体，所述盖体上开设有第二腔体，所述盖体和底座盖合后，所述第一腔体和第二腔体形成所述加热腔。3.根据权利要求1所述的具有水冷机构的纳米热压印装置，其特征在于，所述制冷片的底部还连接有散热片，所述散热片上布置有多个翅片。4.根据权利要求2所述的具有水冷机构的纳米热压印装置，其特征在于，所述底座上设置有可转动的杆体，所述盖体上对应所述杆体设置有U形的卡接部，所述盖体和底座盖合后，所述杆体卡入所述卡接部内。5.根据权利要求4所述的具有水冷机构的纳米热压印装置，其特征在于，所述杆体的顶部设置有可转动的“6”字形的压块。
【文档编号】G03F7/00GK205485274SQ201620124676
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年2月17日
【发明人】吏国宝, 史晓华
【申请人】苏州光舵微纳科技股份有限公司