专利名称：彩色显像管用玻璃面板的制作方法
技术领域：
本发明涉及由于电视接收机等的彩色显像管用的玻璃面板，特别是涉及形成于该面板的侧缘部内壁面上、且用于封接保持遮蔽屏用的柱销的密封部的改良技术。
用面板1制造的彩色显像管，如图8所示，在面板1的封接端面5与锥体6的封接端部6a之间加入融合玻璃料7、将面板1与锥体6两者封接的同时，在面板1的表面部2的内表面上，从其内表面侧起依次形成荧光膜8和金属敷层被膜9。此外，在面板1的内部配置遮蔽屏10，同时在面板1的侧缘部4的内壁面11上封接埋设多个金属制柱销12，借助柱销12及与之配合的支撑弹簧13将遮蔽屏10支撑在彩色显像管内。
在这种遮蔽屏型彩色显像管中，从配置在颈管内部的电子枪发射出电子束，同时，这种电子束由偏转线圈定向之后，通过形成在遮蔽屏10与表面部2相对的部分上的孔14，而适当地照射在R.G.B三色的荧光膜8上，从而进行显像。因此，为获得最佳的显像作用，荧光膜8与遮蔽屏10的构架必须总是以一定的高尺寸精度相对地配置在固定的位置上。
为了满足这一要求，作为保持遮蔽屏10的夹具的柱销12必须相对于显像管的轴高精度垂直地封接，而且，柱销12与支撑弹簧13的开口部必须总是维持在一定的配合状态，所以，在把柱销12封接到面板1的侧缘部4的内壁面11上时，要求尺寸精度具有很高的再现性。
在这种情况下，柱销向面板上的封接，采用支持器及销封接装置进行(图中省略)。这种销封接装置备有，在保持柱销的状态下，相对于面板的侧缘部的内壁面远离及靠近地进行柱销插入用的陶瓷保持部，以及用于把保持在该保持部上的柱销高频加热的密封线圈部。进行上述封接的具体步骤是，在面板玻璃成型工序中，把利用模具压制成型为所需形状的面板刚刚冷却固化到400℃～450℃左右之后，用支持器支撑在规定的工作台上，把利用销封接装置的密封线圈部加热到1100℃～1250℃的柱销，用陶瓷保持部插入到面板的侧缘部的内壁面上，然后，把利用销封接装置搬运的面板移送到徐冷装置中，将柱销封接部与该面板一起进行徐冷(退火)。
上述彩色显像管由于其内部处于高真空状态，所以面板1必须有耐受该真空的耐压力强度，而由于这种彩色显像管的形状具有把带有表面部的面板封接到漏斗形的锥体上的复杂的形状，所以其真空应力的分布也必然十分复杂。
具体地说，由于从面板1的表面部2的周缘中间，经由融合R部3到侧缘部4的连接部的部分，发生最高的真空拉伸应力，为了能够承受这种高的应力，侧缘部的融合R部3的附近形成厚壁。与此相应的，由于锥体6比起面板1来相对而言作用有较低的真空拉伸应力，形成薄壁，因此，为了与该锥体6相结合的封接端面6a不产生阶梯，面板1的封接端面5的壁厚比起该侧缘部4的融合R部3附近的壁厚来要薄。
由此造成的在面板1的侧缘部的截面处的厚度分布情况是，从融合R部3起向封接端面5逐渐变薄，结果，侧缘部4的内壁面11成为从表面部2侧起靠近封接端面5侧的部分远离显像管中心轴(面板中心轴)的倾斜面。
如利用上述销封接装置将柱销相对于这种侧缘部4的内壁面11进行封接时，由于侧缘部4的内壁11倾斜会引起以下的问题。即，要想在把直径10mm～15mm的柱销12相对于面板中心轴维持在垂直的姿势的状态下，形成高强度的封接部，在偏及柱销的全周形成均匀的玻璃加厚层，由于如上面所述的内壁面的倾斜而被迫变得十分困难。同时，由于这一原因引起的封接后柱销12倾斜等封接不良造成的裂纹，不仅会导致面板玻璃的破损，而且不能将柱销12相对于面板中心轴高精度垂直地进行封接，所以很难高精度地保持遮蔽屏。
为了应对这一问题，在现有技术中，在面板玻璃成型时，在侧缘部4的内壁面11上形成平坦面15，所述平坦面15与沿平板中心轴X的第一方向(图7a-a方向)大致平行的、且与沿着跨越侧缘部4的相邻的两个拐角部4R的直线的第二方向(图7b-b方向)大致平行。但是，实际上，不仅对于从相对的内壁面11侧观察具有这种平坦面15的柱销封接部16时，所看到的外周缘形状没有进行任何考虑，而且对于从封接端面侧观察柱销封接部16时，所见到的凹凸形状也没有进行任何考虑。与此相应的，在现有技术中，平坦面15的外周缘形状只不过是如图9(a)所示的那样大致为矩形，而柱销封接部16的凹凸形状，如图9(b)所示，形成沿平坦面15的上述第二方向的外周缘急剧上升的倾斜部16a，它只不过是平坦面15向相对的内壁面11侧突出的形状。
因此，平坦面15的拐角部，特别是表面部2侧的拐角部16x不能成为钝角而是大致为直角部，此外，在该拐角部16x的上述第二方向的外周缘与该内壁面11之间，存在着急剧上升倾斜部16a，换句话说，存在着指向封接端面5侧的逐渐增大的阶梯差。
在这种情况下，在具有上述形状的平坦面15的玻璃面板成型时，在柱塞模具(阳模)上形成由与柱销封接部16的形状对应的大致为矩形的凹部构成的成型面部，在安装壳型模具的底部模具上，供应称之为玻璃球坯的熔融玻璃块，在这种状态下使柱塞模具下降，通过给予压紧力，熔融玻璃从表面部经由融合R部爬升到侧缘部上。
但是，如果如上面所述平坦面15的表面部2侧的拐角部16x大约成直角、且在它与拐角部16x处的内壁面11之间存在阶梯差的话，在熔融玻璃向上述侧缘部上爬升时，熔融玻璃的顺滑的流动受到拐角部16x的阻碍，与此同时，由于存在着局部的大的厚度变化，所以柱塞模具的温度在对应于平坦面的部位、与对应于内壁面的部位之间存在很大的差异。由于这些原因，成型好的玻璃面板的平坦面周边，特别是在表面部2侧的拐角部16x的周边上，会发生皱纹或微小的凹凸等的成型不良，不仅导致其商品价值的下降，而且造成导致成品率降低的问题。
为达到上述目的，本发明提供下述结构在配备了具有有效画面的大致为矩形的表面部、中间经过融合R部连接到表面部的侧缘部、形成于侧缘部的开口端的封接端面，并在侧缘部的内壁面上形成遮蔽屏保持用的柱销的封接部的彩色显像管用玻璃面板中，在柱销封接部上形成平坦面，该平坦面大致平行沿面板中心轴的第一方向，且大致平行于沿着跨越侧缘部的相邻的两个拐角部的直线的第二方向，将平坦面的在第二方向的幅度从表面部侧向着封接端面侧，至少一直到柱销的表面部侧端部为止逐渐增大。
在这种情况下，平坦面的第二个方向的宽度，通过从表面部侧向封接端面侧至少直到柱销的表面部侧的端部逐渐增大，平坦面的表面部侧的外周缘成为近似于部分圆弧及部分椭圆的形状，或者近似于三角形的顶角侧部分及梯形的短边侧部分的形状，或者是二次曲线及四次曲线等高次曲线的形状。
从而，在平坦面的表面部侧不存在像现有技术那样的大致直角的拐角部，在面板成型时熔融玻璃向侧缘部的封接端面侧爬升时，不会发生由于拐角部妨碍熔融玻璃流动的问题，所述熔融玻璃流在平坦面的周边圆滑化，可预先防止皱折等成型不良的发生。
而且，由于不容易产生成型不良，延长向模具上涂布脱模材料的时间，减少脱模材料涂布作业并减少脱模材料的使用量。
在这种情况下，平坦面的外周缘最好是离开柱销的外周面。即，例如在柱销的外周面与平坦面的外周缘的一部分重合或一致时，在柱销的周围不能形成均匀的加厚部的同时，有不能将柱销相对于面板中心轴垂直地高精度地进行封接的危险，但如果像上面所说的那样将两者分离开的话，就能够将柱销进行高精度的封接。
进而，平坦面的外周缘优选地离开柱销3mm以上。采用这种结构，可以缓和由于柱销的封接所造成的残留应力、以及由于该封接发生在柱销周围的加厚部应力集中，可进一步可靠地避免在柱销附近的玻璃面的破损等的不适当的情况。
此外，优选地，平坦面具有以封接端面侧从面板中心轴起远离表面部侧的方式微小的锥形。在这种情况下要求这种微小的锥形不影响柱销的封接精度。采用这种结构可以防止面板成型后的模具脱模时发生擦伤面板的平坦面的不适当之处。
另一方面，平坦面的形状是，其第一方向的最大宽度H与第二方向的最大幅度L最好是满足H＜L的关系。平坦面具有这种形状的理由如下所述。
即，在制造彩色显像管的过程中，在面板的表面部的内表面上进行荧光膜的涂布，而这种荧光膜的涂布则以如下方式进行，即，一面使封接端面处于上部或下部的倾斜地保持折的面板旋转，一面向面板内表面中央部上喷射供应荧光膜涂布液。在这种情况下，由于旋转引起的离心力造成的向面板表面部的周缘流动的涂布液，其一部分也流向形成于侧缘部的内壁面上的柱销的封接部，而当平坦面具有上面所述的H＜L的形状的话，涂布液不飞散到柱销附近，沿着平坦面形成的柱销封接部的表面部侧的周缘流动之后，经由侧缘部内壁面的拐角部被排出到外部。
更具体地说，假如平坦面像现有技术中那样大致为矩形时，流向该平坦面形成的柱销封接部的涂布液，由于与平坦面的拐角碰撞飞溅而附着在已经封接埋设的柱销上，由此引起的在以后的工序中装卸遮蔽屏时剥离，会造成遮蔽屏孔的堵塞或者电子枪的污染，造成电子发射不好的问题。
与此相反，平坦面没有大致直角的拐角部，且平坦面的形状如上面所述H＜L，即沿跨越侧缘部的相邻的两个拐角部的直线方向、换句话说也就是大致沿着表面部周缘的方向的宽度，比沿着面板中心轴方向的宽度长的话，沿着平坦面形成的柱销封接部的表面部侧的周缘，生成把涂布液引导到外部的通路，涂布液避开柱销沿上述引导通路流动。从而，在荧光膜的涂布作业时，可以有效地避免荧光液附着在柱销上。
另外，更优选地，将平坦面的第一方向的最大宽度H及第二方向的最大宽度L、和柱销的外径R设定为满足H/R＞1.5，并且满足L/R＞3的关系。采用这种结构，在荧光膜涂布液更可靠地远离柱销的状态下，可进行和上面所说的一样的向外部的引导。在这种情况下，当H/R小于1.5时，柱销封接时难以在其周围形成均匀的加厚部，有可能造成柱销相对于中心轴的垂直姿势的偏离，当L/R小于3时，荧光膜涂布液在柱销周边的流动不顺畅，助长该涂布液在柱销附近的飞溅，或者根据不同情况，有附着于柱销上的危险。
此外，平坦面优选地在用对应于柱销的成型部预先形成的柱塞模具进行面板成型时形成。更具体地说，在柱塞模具(阳模)上，形成对应于平坦面及其周边形状的成型面部，在安装壳型模具的底部上供应玻璃球坯的状态下，一面降低柱塞模具，一面施加压紧力，借此，使熔融玻璃从表面部经过融合R部爬升到侧缘部上，这种爬升完毕后，获得具有如上面所述的在周围不存在皱褶的平坦面的柱销的封接部。这样，由于与面板成型的同时形成柱销封接部，所以无需在后面的工序中另外形成这种柱销封接部的情况时所需的复杂且麻烦的加工作业，提高工作效率。
进而，本发明为达到上述目的，提供如下一种结构，即，在具有配备了有效画面的大致为矩形的表面部、和经过融合R部连接到表面部周缘上的侧缘部、和形成于侧缘部开口端上的封接端面，并在侧缘部的内壁面上形成保持遮蔽屏用的柱销的封接部的彩色显像管用玻璃面板中，在柱销封接面上，形成大致平行于沿面板中心轴的第一方向、且大致平行于沿跨越侧缘部的相邻的两个拐角部的直线的第二方向的平坦面，将平坦面的第二个方向的外周缘，以从外周缘的外侧伸出部与侧缘部内壁面的连接部、突出到与侧缘部相对的内壁面侧的方式形成。此外，外周侧伸出部可被制成，在平坦面第二方向的外周缘与该内壁面之间由平缓连续的直线或曲线构成的倾斜部。
采用这种结构，由于平坦面的第二方向的外周缘以该外周侧伸出部与侧缘部内壁面的连接部为基准，不突出到侧缘部相对的内壁面侧，所以在平坦面的第二方向的外周缘上不存在陡峭的倾斜部，从而，在平坦面的表面部侧，不存在现有技术中具有陡峭倾斜部的、大致为直角的拐角部。借此，当面板成型时的熔融玻璃向侧缘部的封接部的端面侧爬升时，不会出现拐角部阻碍熔融玻璃流的问题，该熔融玻璃流在平坦面的周边平滑化，可预先附着皱褶等成型不良的发生。
而且，由于平坦面与侧缘部内壁面之间的厚度变化小，所以对应于柱塞模具的平坦面的部位与对应于内壁面的部位的温度差极小，不会导致脱模性恶化。从而，也可以借此避免发生皱褶等成型不良等不适当的问题。此外，由于不容易发生成型不良，所以可以减少脱模材料的涂布作业和脱模材料的使用量。
在这种情况下，平坦面优选地作为利用外周侧的伸出部与侧缘部的内壁面的连接部构成的单一的平坦面而形成。即，面板侧缘部，其开口端大致为矩形，但在侧缘部的相邻拐角部相互之间的各边部，其边部的第二方向的中央部以稍向远离中心轴的方式突出，所以各边部的内壁面构成第二方向中央部成为凹状的弯曲面。从而，通过把平坦面一直延长到第二方向的外周缘与这种形状的内壁面相接的部位，形成单一的平坦面。同时，通过形成这种单一的平坦面，在平坦面附近不产生大的厚度变化，在有效地避免发生成型不良的同时，还具有因在内壁面上形成平坦面而使模具的加工变得容易的优点。
图2(a)、图2(b)，图2(c)是分别表示本发明实施例涉及的面板的侧缘部内壁面的正视图。
图3(a)、图3(b)、图3(c)是分别表示本发明实施例涉及的面板侧缘部的、主要部分的纵剖面图。
图4是表示本发明另一个实施例涉及的面板的整体透视图。
图5(a)是表示本发明实施例涉及的面板侧缘部内壁面的正视图，图5(b)是表示该内壁面的平面图。
图6是表示本发明实施例涉及的面板侧缘部的内壁面的平面图。
图7是表示现有技术例的面板的整体透视图。
图8是表示现有技术例的面板周边主要部分的纵平面图。
图9(a)是表示现有技术例的面板侧缘部内壁面的正视图，图9(b)是其平面图。
图1是表示本实施例涉及的彩色显像管用的玻璃板(下面简称为面板1)的透视图。如该图所示，面板1的侧缘部4，在四个拐角部4R的相互邻接的相互之间备有各个边部4a，在各个边部4a的第二方向(该图中b-b方向)的大致中央部分上分别形成柱销封接部16。另外，在各柱销封接部16上形成大致平行于第一方向(该图的a-a方向)且大致平行于第二方向的平坦面15。
图2是表示侧缘部4的内壁面11的正视图，图3是通过侧缘部4的柱销12的纵向剖面图。柱销封接部16的平坦面15，如图2(a)、(b)、(c)所示，其外周缘的第二方向的宽度，从表面部2侧(该图的下方侧)起向封接端面5侧(该图的上方侧)一直到柱销12上方位置为止渐渐增大，以第二方向的中央部作为边界，以其两侧对称的形式形成。具体地说，平坦面15以第二方向成为其长轴、且以成为近似于向表面部2侧成凸状的半椭圆的形状的方法形成。
同时，平坦面15是第一方向的最大幅度H、第二方向的最大宽度L满足H＜L的关系的形状，更详细的说，这些最大幅度H、L、和柱销12的外径R，呈满足H/R＞1.5、且L/R＞3的关系的形状。在这种情况下，柱销12封接在平坦面15的第一方向的大致中央部、且在第二方向的大致的中央部。此外，侧缘部4的内壁面11，其第二方向的中央部以向相对的内壁面11侧突出的方式弯曲的同时，第一方向的中央部也以向相对的内壁面11侧突出的方式弯曲，整体而言，形成一个其封接端面5侧比表面部2侧更加远离相对的内壁面11的倾斜面。
作为第一个例子的上述柱销封接部16如图3(a)所示，平坦面15的表面部2侧的外周缘以连接部(连接线)17为界，连接到内壁面11上，与此同时，平坦面15的封接端面5侧的外周缘经过平缓角度的倾斜面18连接到内壁面11上。此外，如图2(a)所示，平坦面15的表面部2侧的外周缘(连接部17)形成近似于半椭圆的形状，与此同时，平坦面15的封接端面5侧的外周缘构成近似于直线的形状，更确切地说，成为第二方向的中央部向封接端面5侧稍稍构成凸状的弯曲状，连接它的倾斜面18的第一方向的宽度以第二方向的中央部为界向两侧逐渐减少，在平坦面15的第二方向的最外缘附近接近于零。
作为第二个例子的柱销封接部16如图3(b)所示，平坦面15的封接端面5侧的外周缘以连接部(连接线)17为界，连接到内壁面11上，与此同时，平坦面15的表面部2侧的外周缘，中间经过平缓的角度的倾斜面19连接到内壁面11上。此外，如图2(b)所示，平坦面15的封接端面5侧的外周缘(连接部17)近似于直线的形状，更确切地说，成为第二方向的中央部向封接端面5侧稍成凸状的弯曲形，与此相对，平坦面15的倾斜面19的第一方向的宽度以第二方向的中央部为界向其两侧逐渐减少，在平坦面15的第二方向最外缘附近接近于零。
作为第三个例子的柱销的封接部16，如图3(c)所示，平坦面15的封接端面5侧的外周缘，中间经过平缓角度的倾斜面20连接到内壁面11上，与此同时，平坦面15的表面部2侧的外周缘也经过角度平缓的倾斜面21连接到内壁面11上。此外，如图2(c)所示，平坦面15的封接端面5侧的外周缘形成近似直线的形状，更确切地说构成第二方向的中央部稍向表面部2侧凸出的弯曲形状，另一方面，与其相连接的倾斜面20的封接端面5侧的外周缘构成稍向封接端面5侧凸出的弯曲形状，倾斜面20的第一方向的宽度在平坦面15的第二方向的最外缘附近大致为零。与此相对，平坦面15的表面部2侧的外周缘，构成上面所述的近似于半椭圆的形状，与之相接的倾斜面21的第一方向的宽度，以第二方向中央部为界向其两侧逐渐减少，在平坦面15的第二方向最外缘附近大致为零。
作为上述第一～第三例所表示的柱销封接部16的各平坦面15的第一方向的最大宽度H，例如20mm～30mm，优选地为25mm左右，第二方向的最大宽度L，例如为80mm～120mm，优选地为100mm左右。此外，在这些例子中各倾斜面18～21相对于面板中心轴的倾斜角度例如设定在10°～18°，对于任何一个倾斜面18～21，均呈以第二方向的中央部为界在其两侧对称的形状。同时，作为柱销12，例如可以使用其直径为10mm的柱销。在所述第一～第三个例中，作为第三个例子所示的柱销封接部16可以说是最优选的形式。即，利用这种柱销16，平坦面15的周缘部的厚度变化可以最少，能够更可靠地避免因阶梯差引起的成型性恶化的问题。
此外，作为第四个例子的上述柱销封接部16，如图4所示，平坦面(包括其周缘的倾斜面)的形状形成以第二方向为长轴的椭圆。在这种情况下，平坦面与倾斜面相对于侧缘部4的内壁面11的形成形式可以是图(a)、(b)、(c)中任何一种形式。同时，在这种情况下，平坦面的第二方向的宽度，从表面部2侧向封接面5侧直至柱销12的中心轴周边或直至柱销12的表面部侧端部周边逐渐增大。
作为第五个例子的柱销封接部16，如图5(a)所示，平坦面15大致为阶梯形，更确切地说，呈短边位于表面部2侧、且以第二方向的中央部为界在其两侧对称的大致梯形的形状，其纵向剖面与图3(a)所示的形状一样，平坦面15的表面部2侧的外周缘，经过作为上述短尺寸底边的连接部17连接到内壁面11上，与此相对，平坦面15的封接端面5侧的外周缘经过倾斜面22连接到内壁面11上。进而，柱销封接部16，在平面视图中，如图5(b)所示，平坦面15(如该图宽度Z所示)的第二方向的外周缘，经由具有平缓倾斜面的外周侧伸出部23连接到内壁面11上。平坦面15的第二方向的外周缘以外周侧伸出部23与内壁面11的连接部17为基准，不向相对的内壁面11突出。此外，这种柱销封接部16的平面视图的形状，也和上述第二、第三例中的情况相同。
另一方面，在上述第一个例子所示的柱销封接部16，在平面视图中，如图6所示，平坦面15的第二方向的外周缘经过连接部17连接到内壁面11上。换句话说，相当于该平坦面的部位与相当于其外周侧伸出部的部位，利用所述第二方向的外周缘与内壁面11的连接部17形成一个单一的平坦面15。
此外，上述第一～第五个例子所示的柱销封接部16的结构，并不局限于所谓平板面板，也适用于表面部呈曲面的面板。
权利要求
1.彩色显像管用玻璃面板，所述玻璃面板具有配备有效画面的大致为矩形的表面部、经过融合R部(ブレンド R部)连接到该表面部的周缘上的侧缘部、和形成于该侧缘部开口端的封接端面，在上述侧缘部的内壁面上形成保持遮蔽屏用的柱销(スタッド ピン)的封接部，其中，在上述柱销封接部上，形成大致平行于沿面板中心轴的第一方向、且大致平行于沿跨过上述侧缘部相邻的两个拐角部的直线的第二方向的平坦面，使该平坦面的上述第二方向的宽度，从上述表面部侧朝向上述封接端面侧，至少到上述柱销的表面部侧端部为止逐渐增大。
2.如权利要求1所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征在于，上述平坦面的外周缘是从上述柱销的外表面离开的。
3.如权利要求2所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征在于，上述平坦面的外周缘从上述柱销的外表面离开3mm以上。
4.如权利要求1至3中任何一个所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征在于，上述平坦面的形状是，其上述第一方向的最大宽度H与上述第二方向的最大宽度L满足H＜L的关系。
5.如权利要求4所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征在于，上述平坦面的上述第一方向的最大宽度H与上述第二方向的最大宽度L，和上述柱销的外径R，被设定为满足H/R＞1.5并且L/R＞3的关系。
6.如权利要求1～3和权利要求5中任何一个所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征在于，在利用预先形成了对应上述柱销封接部的成型面部的柱塞型模具进行面板玻璃成型时，形成上述平坦面。
7.如权利要求4所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征在于，在利用预先形成了对应上述柱销封接部的成型面部的柱塞型模具进行面板玻璃成型时，形成上述平坦面。
8.彩色显像管用玻璃面板，所述玻璃面板具有配备有效画面的大致为矩形的表面部、经过融合R部连接到该表面部的周缘上的侧缘部、和形成于该侧缘部开口端的封接端面，在上述侧缘部的内壁面上形成保持遮蔽屏用的柱销的封接部，其中，在上述柱销封接部上，形成大致平行于沿面板中心轴的第一方向、且大致平行于沿跨过上述侧缘部相邻的两个拐角部的直线的第二方向的平坦面，使该平坦面的上述第二方向的外周缘，不会比该外周缘的外周侧延伸部和上述侧缘部内壁面的连接部更向上述侧缘部相对的内壁面侧突出。
9.如权利要求7所述的彩色显像管用玻璃面板，其特征为，上述平坦面，借助上述外周侧伸出部与上述侧缘部的内壁面的连接部形成为单一的平坦面。
全文摘要
柱销封接部(16)的平坦面(15)的形成方式为,其外周缘的第二方向的宽度,从表面部(2)侧向封接端面(5)侧、直至柱销(12)上方位置逐渐增大,形成以第二方向的中央部为界、两侧对称的形状。即,平坦面(15)形成为,以第二方向作为其长轴、并且朝向表面部(2)侧形成凸出状的近似半椭圆形状。
文档编号H01J29/86GK1380679SQ02105808
公开日2002年11月20日 申请日期2002年4月10日 优先权日2001年4月11日
发明者国友一伸, 寺冈忠典 申请人:日本电气硝子株式会社