上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0023]图1是依据本发明的第一实施例，一种气静压平台的组合立体图。
[0024]图2是依据本发明的第一实施例，该气静压平台的分解立体图。
[0025]图3是依据本发明的第一实施例，载台的组合立体图。
[0026]图4是依据本发明的第一实施例，该载台的分解立体图。
[0027]图5是依据本发明的第一实施例，该气静压平台的剖视图。
[0028]图6是依据本发明的第一实施例，第一磁吸元件与第二磁吸元件的示意图。
[0029]图7是依据本发明的第二实施例，该气静压平台的分解立体图。
[0030]图8是依据本发明的第二实施例，载台的组合立体图。
[0031]图9是依据本发明的第二实施例，该载台的分解立体图。
[0032]图10是依据本发明的第二实施例，该气静压平台的剖视图。
[0033]图11是一种现有习知的气静压平台的剖视图。
[0034]【符号说明】
[0035]100:气静压平台 110:导轨
[0036]111:导槽Illa:第一侧面
[0037]Illb:第二侧面 Illc:槽底面
[0038]Illd:第一顶缘 Ille:第二顶缘
[0039]Illf:开口Illg:第一嵌合槽
[0040]Illh:第二嵌合槽112:底面
[0041]113:安装槽114:通孔
[0042]120:载台121:第一安装部
[0043]121a:第一通气槽122:第二安装部
[0044]122a:第二通气槽123:第一气静压轴承
[0045]123a:第一表面123b:第一固定槽
[0046]124:第二气静压轴承124a:第二表面
[0047]124b:第二固定槽125:凹槽
[0048]126:安装座126a:侧板
[0049]126b:底板126c:结合槽
[0050]130:磁吸装置131:第一磁吸元件
[0051]131a:第一磁吸组131b:第二磁吸组
[0052]132:第二磁吸元件132a:第三磁吸组
[0053]132b:第四磁吸组140:驱动装置
[0054]141:定子142:动子
[0055]150:感测装置151:第一感测元件
[0056]152:第二感测元件161:第一挡止件
[0057]162:第二挡止件Θ 1:第一夹角
[0058]Θ 2:第二夹角Dl:第一间距
[0059]D2:第二间距W:宽度
[0060]C:腔室200:气静压平台
[0061]210:导轨220:载台
[0062]221:气静压轴承
【具体实施方式】
[0063]为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的气静压平台其【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0064]请参阅图1及图2，为本发明的第一实施例，一种气静压平台100包含导轨110、载台120、磁吸装置130、驱动装置140及感测装置150。
[0065]请参阅图1、图2及图5，该导轨110具有导槽111及底面112，该导槽111具有第一侧面11 la、第二侧面Illb及槽底面111c，该第一侧面11 Ia及该槽底面Illc之间具有第一夹角Θ I，该第二侧面11 Ib及该槽底面Illc之间具有第二夹角Θ 2，在本实施例中，该第一夹角Θ I及该第二夹角Θ 2不小于90度，且该第一夹角Θ I实质上等于该第二夹角Θ2，较佳的，该第一夹角Θ I及该第二夹角Θ 2介于95度至160度之间，请参阅图2及图5，该第一侧面Illa具有第一顶缘11 ld，该第二侧面Illb具有第二顶缘I lie，该第一顶缘Illd及该第二顶缘Ille之间形成有开口 lllf，该第一侧面Illa及该第二侧面Illb朝向该开口Illf，使该第一侧面Illa及该第二侧面Illb呈现V字型，以扁平化该导轨110的高度，且该第一侧面Illa的该第一顶缘Illd及该第二侧面Illb的该第二顶缘Ille之间具有第一间距Dl，该槽底面IIlc具有宽度W，该第一间距Dl大于该宽度W，使得该载台120可直接置入该导槽111中而易于组装。
[0066]请参阅图2、图3、图4及图5，该载台120设置于该导槽111，该载台120具有第一安装部121、第二安装部122、第一气静压轴承123、第二气静压轴承124、凹槽125及安装座126，该第一安装部121具有第一通气槽121a，该第二安装部122具有第二通气槽122a，该第一气静压轴承123设置于该第一安装部121，该第二气静压轴承124设置于该第二安装部
122,且该第一气静压轴承123罩盖该第一通气槽121a,该第二气静压轴承124罩盖该第二通气槽122a，较佳的，该第一气静压轴承123及该第二气静压轴承124为多孔质节流元件制成，可在有限的轴承面积下取得最高的承载力及刚性。其中，该第一气静压轴承123具有第一表面123a,该第一表面123a朝向该第一侧面Illa,该第二气静压轴承124具有第二表面124a,该第二表面124a朝向该第二侧面Illb,由于该导槽111的该第一侧面Illa及该第二侧面Illb为V字型，因此该第一表面123a及该第二表面124a也呈现V字型，也可扁平化该导轨110的高度，且借由该第一气静压轴承123及该第二气静压轴承124提供的气静压可使该载台120稳定地气浮于该导槽111中而进行精密的定位。
[0067]请参阅图3、图4及图5，该载台120的该凹槽125位于该第一安装部121及该第二安装部122之间，该凹槽125与该槽底面11 Ic之间构成腔室C，该安装座126位于该腔室C中以设置该磁吸装置130及该驱动装置140,该磁吸装置130具有第一磁吸元件131及第二磁吸元件132，该第一磁吸元件131设置于该导轨110，该第二磁吸元件132设置于该载台120的该安装座126，在本实施例中，该第一磁吸元件131为具有高导磁率的平板，该第二磁吸元件132为永久磁铁，请参阅图4，较佳的，该导轨110具有安装槽113及通孔114，该安装槽113凹设于该底面112，该通孔114位于该安装槽113及该腔室C之间，且该通孔114连通该安装槽113及该腔室C，该第一磁吸元件131设置于该安装槽113中，该安装座126具有侧板126a及底板126b，该底板126b连接该侧板126a，且该底板126b位于该通孔114，该底板126b具有结合槽126c，该第二磁吸元件132结合于该结合槽126c中，请参阅图5及图6，该第一磁吸元件131及该第二磁吸元件132之间具有第二间距D2，借由该第一磁吸元件131及该第二磁吸元件132之间的磁吸力可提供该载台120 —磁性预压，以增加该载台120的稳定度,较佳的，该第二间距D2介于0.03mm至1.0mm之间，可提供最佳的磁性预压。
[0068]请参阅图2、图4及图5，该驱动装置140位于该腔室C中，在本实施例中，该驱动装置140为线性马达，该驱动装置140具有定子141及动子142，该动子142结合于该安装座126，该定子141结合于该导轨110，该动子142可相对该定子141移动，由于该动子142结合于该安装座126，因此，当该动子142相对该定子141移动时，该载台120也在该导轨110、该第一气静压轴承123及该第二气静压轴承124的拘束下线性移动以进行高精密度的定位，此外，请参阅图1及