气静压平台的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种气静压平台，特别是涉及一种具有气静压轴承的气静压平台。
【背景技术】
[0002]请参阅图11，一种现有习知的气静压平台200，其包含导轨210及载台220，该载台220设置于该导轨210上，该导轨210为T字型导轨，该载台200相对具有T字型导引空间，借由该导轨210与导引空间的相对关系，可将该载台220拘束于该导轨210上，其中该载台220具有多数个气静压轴承221，所述的气静压轴承221用以提供气静压使该载台220气浮于该导轨210上，再借由驱动元件(图未绘出)的驱动，即可使该载台220在该导轨210上线性移动，且由于该载台220与该导轨210之间并未接触，因此该载台220与该导轨210之间的摩擦力几乎为零，借此使该气静压平台200可用以承载需高精度加工的元件，并进行高精度的定位，但由于现有习知的气静压平台200所使用的气静压轴承较多(共6组气静压轴承)，因此在气压的控制上较为困难，造成该载台220的平面度较难调教且精度难以控制，此外，由于该气静压平台200的直线度拘束轴轴元件(最左及最右的气静压轴承)的相对位置较远，因此，较难控制该载台220的线性拘束度。
[0003]有鉴于上述现有的气静压平台存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的气静压平台，能够改进一般现有的气静压平台，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于，克服现有的气静压平台存在的缺陷，而提供一种新型结构的气静压平台，所要解决的技术问题是借由朝向第一侧面的第一气静压轴承及朝向第二侧面的第二气静压轴承提供气静压，使得载台可气浮于导轨的导槽上，且由于第一侧面及第二侧面朝向导轨的开口，可大幅减少气静压平台的高度，而能更广泛地适用各种加工环境且载台与导轨之间的组装较为便捷、快速，而完成载台与导轨的组装后，仅需两个气静压轴承即可将载台气浮于导轨上，在气压的控制上较为简单且定位精度高，使得载台的平面度及移动精度可大幅提升，从而更加适于实用。
[0005]本发明的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本发明提出的气静压平台，包含:导轨，具有导槽，该导槽具有第一侧面、第二侧面及槽底面。该第一侧面及该槽底面之间具有第一夹角，该第二侧面及该槽底面之间具有第二夹角，该第一侧面具有第一顶缘，该第二侧面具有第二顶缘，该第一顶缘及该第二顶缘之间形成有开口，该第一侧面及该第二侧面朝向该开口 ；以及载台，设置于该导槽，该载台具有第一安装部、第二安装部、第一气静压轴承及第二气静压轴承，该第一气静压轴承设置于该第一安装部，该第二气静压轴承设置于该第二安装部，该第一气静压轴承具有第一表面，该第一表面朝向该第一侧面，该第二气静压轴承具有第二表面，该第二表面朝向该第二侧面。
[0006]本发明的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。
[0007]前述的气静压平台，其中所述的第一侧面的该第一顶缘及第二侧面的该第二顶缘之间具有第一间距，该槽底面具有宽度，该第一间距大于该宽度。
[0008]前述的气静压平台，还包含有磁吸装置，该磁吸装置具有第一磁吸元件及第二磁吸元件，该第一磁吸元件设置于该导轨，该第二磁吸元件设置于该载台，且该第一磁吸元件及该第二磁吸元件之间具有第二间距。
[0009]前述的气静压平台，其中所述的第二间距介于0.03mm至1.0mm之间。
[0010]前述的气静压平台，其中所述的载台具有凹槽及安装座，该凹槽位于该第一安装部及该第二安装部之间，该凹槽与该槽底面之间构成腔室，该安装座位于该腔室中，其中该第二磁吸元件安装于该安装座。
[0011]前述的气静压平台，其中所述的安装座具有侧板及底板，该底板连接该侧板，该底板具有结合槽，该第二磁吸元件结合于该结合槽中。
[0012]前述的气静压平台，其中所述的导轨具有底面、安装槽及通孔，该安装槽凹设于该底面，该通孔位于该安装槽及该腔室之间，且该通孔连通该安装槽及该腔室，其中该第一磁吸元件设置于该安装槽中，该安装座的该底板位于该通孔。
[0013]前述的气静压平台，还包含有驱动装置，该驱动装置位于该腔室中，该驱动装置具有定子及动子，该动子结合于该安装座，该定子结合于该导轨，该动子可相对该定子移动。
[0014]前述的气静压平台，还包含有感测装置，该感测装置位于该腔室中，该感测装置具有第一感测元件及第二感测元件，该第一感测元件固定于该导轨，该第二感测元件设置于该载台，该第二感测元件可相对该第一感测元件移动。
[0015]前述的气静压平台，其中所述的导槽的该第一侧面凹设有第一嵌合槽，该导槽的该第二侧面凹设有第二嵌合槽，该第一磁吸元件具有第一磁吸组及第二磁吸组，该第一磁吸组设置于该第一嵌合槽，该第二磁吸组设置于该第二嵌合槽。
[0016]前述的气静压平台，其中所述的第一气压轴承的该第一表面凹设有第一固定槽，该第二气压轴承的该第二表面凹设有第二固定槽，该第二磁吸元件具有第三磁吸组及第四磁吸组，该第三磁吸组设置于该第一固定槽中，该第四磁吸组设置于该第二固定槽中。
[0017]前述的气静压平台，其中所述的第一夹角及第二夹角不小于90度，且该第一夹角实质上等于该第二夹角。
[0018]前述的气静压平台，还包含有第一挡止件及第二挡止件，该第一挡止件及该第二挡止件设置于该导轨，且该载台位于该第一挡止件及该第二挡止件之间。
[0019]前述的气静压平台，其中所述的第一安装部具有第一通气槽，该第二安装部具有第二通气槽，该第一气静压轴承罩盖该第一通气槽，该第二气静压轴承罩盖该第二通气槽。
[0020]本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明气静压平台可达到相当的技术进步性及实用性，并具有产业上的广泛利用价值，其至少具有下列优点:根据本发明实施例，气静压平台借由朝向第一侧面的第一气静压轴承及朝向第二侧面的第二气静压轴承提供气静压，使得载台可气浮于导轨的导槽上，且由于第一侧面及第二侧面朝向导轨的开口，可大幅减少气静压平台的高度，而能更广泛地适用各种加工环境且载台与导轨之间的组装较为便捷、快速，而完成载台与导轨的组装后，仅需两个气静压轴承即可将载台气浮于导轨上，在气压的控制上较为简单且定位精度高，使得载台的平面度及移动精度可大幅提升，克服现有气静压平台的气静压轴承较多、气压较难控制、载台的平面度较难调教及精度难以控制的缺陷。
[0021]综上所述，本发明是有关于一种气静压平台，包含导轨及载台，该导轨具有导槽，该导槽具有第一侧面、第二侧面及槽底面，该第一侧面及该槽底面之间具有第一夹角，该第二侧面及该槽底面之间具有第二夹角，该第一侧面具有第一顶缘，该第二侧面具有第二顶缘，该第一顶缘及该第二顶缘之间形成有开口，该第一侧面及该第二侧面朝向该开口，该载台设置于该导槽，该载台具有第一安装部、第二安装部、第一气静压轴承及第二气静压轴承，该第一气静压轴承设置于该第一安装部，该第二气静压轴承设置于该第二安装部，该第一气静压轴承具有第一表面，该第一表面朝向该第一侧面，该第二气静压轴承具有第二表面，该第二表面朝向该第二侧面。借由该导轨的该第一侧面及该第二侧面朝向该开口而呈现V字型，能有效的减少该导轨的尺寸且使该载台易于装设，相同地，该第一气静压轴承的该第一表面及该第二气静压轴承的该第二表面也呈现V字型，可扁平化该气静压平台，且在有限的体积中取得最大的轴承面积，此外，由于本案所使用的气静压轴承数量较少，在气压的控制上较为简单且定位精度高，使得载台的平面度及移动精度可大幅提升。本发明在技术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
[0022]