专利名称：化学气相沉积金刚石均质喷嘴的制作方法
技术领域：
本实用新型是提供一种金刚石均质喷嘴，特别是一种化学气相沉积(CVD)金刚石均质喷嘴。
金刚石均质喷嘴是用于纳米材料生产的关键部件。
目前习用的金刚石均质喷嘴，是为两片结构如
图1所示，包括一前片1及一后片2，在前片1上开有两个进料孔11，在前片1的一面两个进料孔11之间开有一沟槽12，该沟槽12将两个进气孔连通；在后片2的中心开有一出气孔21，当前片1及后片2叠置时，该进料孔11经沟槽12可与出气孔21连通，而形成喷嘴。前述的喷嘴具有如下缺点，首先该喷嘴所采用的材料是为天然金刚石材料，不仅价格昂贵，而且因其硬度高所以加工非常困难，尤其是前片1上的沟槽12加工最为困难。因其加工难度大所以沟槽12的尺寸不易掌握，也就是加工精度不高，所以喷嘴的质量很难提高。
本实用新型的主要目的在于提供一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其具有便于加工、质量稳定的优点。
本实用新型的另一目的在于提供一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，因其采用化学气相沉积(CVD)金刚石，所以具有成本低的优点。
缘以达成上揭目的，本实用新型所提供的一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，是包含有一进料均质片，在该进料均质片的中间位置开有两个进料口；一共振均质片，在该共振均质片的中间位置开有一共振腔口；一出料均质片，在该出料均质片的中间位置开有一出料口；所述进料均质片、共振均质片、出料均质片依次叠置形成均质喷嘴。
其中该进料均质片、共振均质片、出料均质片均为由化学气相沉积金刚石制作的圆形，在该进料均质片、共振均质片、出料均质片的外周焊接制作有一圈金属环形基体。
其中该进料均质片中间的两个进料口为圆形或椭圆形。
其中该共振均质片中间的共振腔口为长方形或两端为弧形的矩形。
其中该出料均质片中间的出料口为圆形或椭圆形。
有关本实用新型的详细构造、功用及特点，可由以下实施例配合附图的详细说明而得以充分了解，其中
图1是习用喷嘴的示意图；图2是本实用新型喷嘴的分解图；图3是图2的结构原理图，显示本实用新型的工作状态。
请参阅图2与图3所示，本实用新型化学气相沉积金刚石均质喷嘴包括有，一进料均质片10，在该进料均质片10的中间位置开有两个进料口121，该两个进料口121为圆形或椭圆形；一共振均质片20，在该共振均质片20的中间位置开有一共振腔口221，该共振腔口221为长方形或两端为弧形的矩形；一出料均质片30，在该出料均质片30的中间位置开有一出料口321，出料口321为圆形或椭圆形。
将所述进料均质片10、共振均质片20、出料均质片30依次叠置形成均质喷嘴；其中该进料均质片10、共振均质片20、出料均质片30均为由化学气相沉积金刚石制作的圆形，在该进料均质片10、共振均质片20、出料均质片30的外周焊接制作有一圈金属环形基体111。
本实用新型的工作过程为当所述进料均质片10、共振均质片20、出料均质片30依次叠置形成均质喷嘴时，其内部结构如图3所示，首先将经过初步粉碎的物料加压至150Mpa，然后将经过初步粉碎并加压至150Mpa的物料经进料均质片10的两个进料口121送入，通过共振均质片20的振腔口221的共振，将物料均匀粉碎至纳米尺寸，然后经出料均质片30的出料口321送出，从而得到纳米尺寸的物料。
综上所述，本实用新型运用特殊的结构与创新的空间形态，提供一具有成本低、加工制作简单，并具有使用效果好的化学气相沉积金刚石均质喷嘴。
权利要求1．一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其特征在于，是包含有一进料均质片，在该进料均质片的中间位置开有两个进料口；一共振均质片，在该共振均质片的中间位置开有一共振腔口；一出料均质片，在该出料均质片的中间位置开有一出料口；所述进料均质片、共振均质片、出料均质片依次叠置形成均质喷嘴。
2．根据权利要求1所述的一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其特征在于，其中该进料均质片、共振均质片、出料均质片均为由化学气相沉积金刚石制作的圆形，在该进料均质片、共振均质片、出料均质片的外周焊接制作有一圈金属环形基体。
3．根据权利要求1所述的一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其特征在于，其中该进料均质片中间的两个进料口为圆形或椭圆形。
4．根据权利要求1所述的一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其特征在于，其中该共振均质片中间的共振腔口为长方形或两端为弧形的矩形。
5．根据权利要求1所述的一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其特征在于，其中该出料均质片中间的出料口为圆形或椭圆形。
专利摘要一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴,是包含有:一进料均质片,在该进料均质片的中间位置开有两个进料口;一共振均质片,在该共振均质片的中间位置开有一共振腔口;一出料均质片,在该出料均质片的中间位置开有一出料口;将所述进料均质片、共振均质片、出料均质片依次叠置形成均质喷嘴。本实用新型具有成本低、加工制作容易和使用效果好的优点。
文档编号C23C16/26GK2423289SQ00236609
公开日2001年3月14日 申请日期2000年5月24日 优先权日2000年5月24日
发明者周兵, 陈继锋, 刘志平, 刘广录, 郭松寿, 张柏春 申请人:北京天地东方金刚石技术有限责任公司