专利名称：增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道。
技术背景增强型等离子氧化膜沉积装置是美国应用材料公司(AMAT)制造的CVD (化学气相沉积)新型装置。其腔盖冷却水管道经常会发生老化及开裂漏 水，而且频率较高，严重的影响了正常的生产和使用。现有的增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道结构可参见图1 所示，其包括有腔盖1和腔体2，所述腔盖1扣在所述上腔体2上，在所述 腔盖1上设置有腔盖杆座3，所述腔体2上设置有腔体杆座5，所述腔盖杆 座3与所述腔体杆座5通过一个伸縮杆4连接。所述腔盖1上有冷却水管 接头，所述冷却水管接头连接一个长度很短的硬质水管6，该硬质水管的结 构可参见图2所示，所述硬质水管6的另外一端再通过一个直角接头7连 接到与外界连接的软质水管8上。由于增强型等离子氧化膜沉积装置的结 构比较复杂，其外表面也不是平坦的，所以软质水管8就需要绕过增强型 等离子氧化膜沉积装置腔体表面的各种障碍。如图1所示，所述软质水管8 被所述腔体杆座5挡住而被迫弯折，在所述腔体杆座5的左上角的压迫开 裂点，很容易使软质水管8开裂漏水，这就是造成软质水管老化并开裂漏 水的主要原因。实用新型内容 本实用新型所要解决的技术问题是提供一种增强型等离子氧化膜沉积 装置腔盖冷却水管道，能够通过较为简单的结构，有效的减少冷却水管道 发生老化以及开裂漏水等情况的次数。为解决上述技术问题，本实用新型增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖 冷却水管道的技术方案是，包括硬质水管、软质水管和直角接头，所述硬 质水管的一端连接到增强型等离子氧化膜沉积装置的腔盖上，所述硬质水 管的另一端连接到所述直角接头的一端，所述直角接头的另一端连接到所述软质水管的一端，其特征在于，所述硬质水管为拐角为钝角的"z"字形。本实用新型通过将硬质水管改进成"Z"字形，使得冷却水管道避开了 增强型等离子氧化膜沉积装置腔体表面的障碍，其结构简单可靠，使得软 质水管大大的减少了冷却水管道发生老化以及开裂漏水等情况的次数。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明图1为现有的增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道的示意图；图2为现有的增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道所安装的硬质水管的示意图；图3为本实用新型增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道的示意图；图4为本实用新型增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道所安 装的硬质水管的示意图。图中附图标记为，l.腔盖；2.腔体；3.腔盖杆座；4.伸縮杆；5.腔体
杆座；6.硬质水管；7.直角接头；8.软质水管；9.六角内纹螺栓。
具体实施方式
如图3所示，增强型等离子氧化膜沉积装置包括腔盖1和腔体2，所述 腔盖1扣在所述上腔体2上，在所述腔盖1上设置有腔盖杆座3，所述腔体 2上设置有腔体杆座5，所述腔盖杆座3与所述腔体杆座5通过一个伸縮杆 4连接。所述腔盖1上有冷却水管接头。本实用新型增强型等离子氧化膜沉 积装置腔盖冷却水管道，包括硬质水管6、软质水管8和直角接头7，所述 硬质水管6的一端连接到增强型等离子氧化膜沉积装置的腔盖1的冷却水 管接头上，所述硬质水管6的另一端连接到所述直角接头7的一端，所述 直角接头7的另一端连接到所述软质水管8的一端，所述硬质水管6为拐 角为钝角的"Z"字形，如图4所示。所述硬质水管的钝角拐角处为圆弧状的过渡。为了绕过增强型等离子 氧化膜沉积装置腔体表面的障碍，本实用新型采用了拐角为钝角的"Z"字 形硬质水管，其圆弧状的过渡可以使得水流更加顺畅，避免因为管道路线 发生了转向而对水流水压造成影响，进而影响腔盖的冷却效果。所述硬质水管6为金属管。所述硬质水管6的端部设置有六角内纹螺栓9和密封圈，所述增强型 等离子氧化膜沉积装置腔盖上的接头外侧设置有螺纹，与所述硬质水管端 部的六角内纹螺栓的螺纹相配合，所述六角内纹螺栓拧紧后，所述密封圈 被紧紧夹在所述硬质水管端部与所述增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖的 接头之间；所述直角接头端部外侧设置有螺纹，与所述硬质水管端部的六 角内纹螺栓的螺纹相配合，所述六角内纹螺栓拧紧后，所述密封圈被紧紧 夹在所述硬质水管端部与所述直角接头的端部之间。这样，通过拧紧六角 内纹螺栓，可以大大的增强管道的密封性能。本实用新型通过将硬质水管改进成"Z"字形，使得冷却水管道避开了 增强型等离子氧化膜沉积装置腔体表面的障碍，其结构简单可靠，而软质 水管也因为硬质水管直接避开增强型等离子氧化膜沉积装置腔体表面的障 碍，可以保持自然伸直，不会被迫发生扭曲，大大的减少了发生老化以及 开裂漏水等情况的次数。
权利要求1.一种增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道，包括硬质水管、软质水管和直角接头，所述硬质水管的一端连接到增强型等离子氧化膜沉积装置的腔盖上，所述硬质水管的另一端连接到所述直角接头的一端，所述直角接头的另一端连接到所述软质水管的一端，其特征在于，所述硬质水管为拐角为钝角的“Z”字形。
2. 根据权利要求1所述的增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管 道，其特征在于，所述硬质水管的钝角拐角处为圆弧状的过渡。
3. 根据权利要求1所述的增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管 道，其特征在于，所述硬质水管的端部设置有六角内纹螺栓和密封圈，所 述增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖上的接头外侧设置有螺纹，与所述硬 质水管端部的六角内纹螺栓的螺纹相配合，所述六角内纹螺栓拧紧后，所 述密封圈被紧紧夹在所述硬质水管端部与所述增强型等离子氧化膜沉积装 置腔盖的接头之间；所述直角接头端部外侧设置有螺纹，与所述硬质水管 端部的六角内纹螺栓的螺纹相配合，所述六角内纹螺栓拧紧后，所述密封 圈被紧紧夹在所述硬质水管端部与所述直角接头的端部之间。
专利摘要本实用新型公开了增强型等离子氧化膜沉积装置腔盖冷却水管道，包括硬质水管、软质水管和直角接头，所述硬质水管的一端连接到增强型等离子氧化膜沉积装置的腔盖上，所述硬质水管的另一端连接到所述直角接头的一端，所述直角接头的另一端连接到所述软质水管的一端，所述硬质水管为拐角为钝角的“Z”字形。本实用新型通过将硬质水管改进成“Z”字形，使得冷却水管道避开了增强型等离子氧化膜沉积装置腔体表面的障碍，其结构简单可靠，使得软质水管大大的减少了冷却水管道发生老化以及开裂漏水等情况的次数。
文档编号C23C16/00GK201028140SQ20062004878
公开日2008年2月27日 申请日期2006年12月11日 优先权日2006年12月11日
发明者陈慧佳 申请人:上海华虹Nec电子有限公司