专利名称：一种多方位旋转定位阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种定位装置，尤其涉及一种多方位定位装置。
技术背景化学机械研磨 (Chemical Mechanical Polish, CMP )是半导体制造工艺的 一道重要工序，由专用的化学机械研磨设备完成，主要用于晶圓表面的平坦化 处理和晶圆清洗。常用的化学机械研磨设备如图1所示，主要包括执行研磨 工序的研磨台1,其上铺有研磨垫2;连接有两根液体管路(包括研磨液管路、 去离子水管路，图未示)的喷头3，其上具有数个喷嘴4;以及用于吸附晶圆， 可在竖直方向上运动的研磨头5。喷头3通过连接片7连接至底座6,连接片7 和底座6之间通过螺丝8固定。当螺丝8锁紧时，喷头3被固定在研磨台1的 边缘位置，与研磨头5在竖直方向上位置不重叠，从而，当研磨头5下压至研 磨台1上进行晶圓研磨时，不会受到喷头3的影响。然而，在做日常维护(PM)时，需要松开螺丝8，完成维护后，又要重新把 螺丝8锁紧，并且由于螺丝8的材料是金属，底座6的材料是塑料，使得时间 久了 ，螺丝8很容易松动。当螺丝8松脱后，喷头3会随着研磨台1的转动和 液体管路(图未示)的拉扯，从原先的固定位置滑动至研磨头5下方(如图2 中所示的位置)，于是，当研磨头5下压至研磨台l准备进行晶圆研磨时，吸附 在研磨头5上的晶圓就会与喷头3发生碰撞而引起破片。此外，于日常维护过程中，需要定期更换研磨垫2。为了方便取下研磨垫2， 需要松开螺丝8,把喷头3旋转至远离研磨台1的位置(如图3所示)。此时， 由于研磨台1内部的管路(图未示)对喷头3存在拉扯作用，使喷头3有回复 原位的运动趋势和回复力(如图中箭头所示)，因此，工作人员在更换研磨垫2 时，必须用身体或用一只手挡住喷头3，防止其回复原位，造成维护工作的不便
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多方位旋转定位阀，它不仅能旋转定位于 多个方位，解决了螺丝易松动和日常维护不便的麻烦，而且具有封闭的外部结 构，可防止液体或粉尘污染定位阀的内部机构，也防止了定位阀的内部机构产 生的粉尘污染晶圆的加工环境。为了达到上述的目的，本实用新型提供一种多方位旋转定位阀，包括座体 和把手，所述座体上表面开设有数个凹槽，且座体上还设有一盖体，盖体通过一固定螺丝连接至座体，并可以固定螺丝为轴相对座体转动；所述把手的一端 固定在盖体上， 一定位螺丝穿设于把手和盖体中；所述定位螺丝包括活动销棒 和弹簧，弹簧的上端抵顶于把手的下表面，弹簧的下端固定在活动销棒上，且 活动销棒的下端部的大小与座体上凹槽的大小相匹配。在上述的多方位旋转定位阀中，所述盖体和座体配合连接，形成封闭的外 表面。在上述的多方位旋转定位阀中，所述固定螺丝穿设于盖体和座体的中央。 在上述的多方位旋转定位阀中，当所述把手连同盖体转动至凹槽上方时，活动销棒恰能嵌设于凹槽中。在上述的多方位旋转定位阀中，所述把手具有"L"型结构。 在上述的多方位旋转定位阀中，所述把手的另一端设有螺孔，供螺丝穿设， 以将其他元件固定在把手上。本实用新型的多方位旋转定位阀，通过在座体上表面开设多个定位凹槽， 并在把手和盖体中穿设可活动的定位销钉，通过定位销钉和凹槽的配合，将把 手定位在任一凹槽的上方，以适应不同的工作需要。同时，由于该旋转定位阀 具有封闭结构，既防止定位阀的内部机构产生的粉尘污染晶圆的加工环境，又 使得弹簧等内置于盖体中的部件不受液体、灰尘等的污染，有效延长了旋转定 位阀的使用寿命。
本实用新型的多方位旋转定位阀的结构由以下的实施例及附图给出。 图1为常用的化学机械研磨设备的结构示意图；图2为图1所示i殳备的喷头滑动至研磨头下方的俯^L示意图；图3为日常维护时喷头的位置示意图；图4为本实用新型一具体实施例的内部结构剖视图；图5为本实用新型另一具体实施例的使用状态示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的多方位旋转定位阀作进一步的详细描述。 图4为本实用新型一具体实施例的多方位旋转定位阀的内部结构剖视图。 该多方位旋转定位阀主要包括座体9、设于座体9上的盖体10和固定在盖体10 上的把手7。座体9上表面开设有数个凹槽91 (为简化说明，图中只画出一个)， 盖体10通过一固定螺丝11与座体9连接，并可以固定螺丝11为轴相对座体9 转动，盖体10与座体9配合连接，形成封闭的外表面。把手7通过螺丝12固 定在盖体10上，并通过一可活动的定位销4丁 13实现把手7在特定方位的定位。 如图4所示，该定位销钉13主要由活动销棒131和弹簧132组成，弹簧132的 上端抵顶于把手7下表面，下端固定在活动销棒131上，当把手7连同盖体10 旋转至座体9的凹槽91上方时，活动销棒131的下端部恰能嵌设于凹槽91中， 从而将把手7定位在当前方位。如果需要移动把手7，则只需通过外力将活动销 棒131提起，使销棒131下端部脱离凹槽91，即可转动把手7和盖体10。图5为本实用新型另一具体实施例的多方位旋转定位阀的^f吏用状态示意图。 于本实施例中，该旋转定位阀用于化学机械研磨设备喷头3的固定。如图所示， 把手7的一端通过固定螺丝11连接至盖体10和座体9，把手7和盖体10可以 固定螺丝11为轴相对座体9转动，把手7的另一端设有螺孔，并通过螺丝14 与化学机械研磨设备的喷头3固定连接。把手7还通过一定位销钉13与盖体10 连接，定位销钉13由活动销棒131和内置弹簧(图未示)组成。于本实施例中， 座体9的上表面共开设有四个凹槽，分别位于a、 b、 c、 d四个标记的正下方， 可以根据工艺需要或日常维护需要将把手7连同喷头3固定在研磨台的边缘上 方，或远离研磨台的位置。图中所示的情况为把手7固定在a位置的情形，此 时，定位销钉13的活动销棒131的下端部嵌设于a标记下方的凹槽中，将喷头 3定位在研磨台边缘上方的喷水位置。当需要进行日常维护时，只需提起活动销
棒131,将把手7连同盖体10旋转至d位置，并松开活动销棒131，则销棒131 在弹簧的弹性回复力的作用下嵌入d标记下方的凹槽中，从而将喷头3定位在 远离研磨台的日常维护位置。本实用新型的多方位旋转定位阀通过在座体9上表面开设多个凹槽91，使 把手7连同喷头3能够根据需要定位在不同的方位，避免了螺丝松脱喷头移位， 以及日常维护不方便等问题。同时，由于本实用新型的旋转定位阀采用封闭结 构，将弹簧132等部件内置于盖体10中，既防止定位阀的内部机构产生的粉尘 污染晶圓的加工环境，又有效防止液体、灰尘等对定位阀内部^/L构的污染，延 长定位阀的使用寿命。本实用新型的多方位旋转定位阀除了能用于固定化学机械研磨设备的喷头 外，还能应用于各种清洗设备、晶圆表面冲刷设备，以及需要将部件定位于多 个方位的各类系统中。
权利要求1、一种多方位旋转定位阀，包括座体和把手，其特征在于所述座体上表面开设有数个凹槽，且座体上还设有一盖体，盖体通过一固定螺丝连接至座体，并可以固定螺丝为轴相对座体转动；所述把手的一端固定在盖体上，一定位螺丝穿设于把手和盖体中；所述定位销钉包括活动销棒和弹簧，弹簧的上端抵顶于把手的下表面，弹簧的下端固定在活动销棒上，且活动销棒的下端部的大小与座体上凹槽的大小相匹配。
2、 如权利要求1所述的多方位旋转定位阀，其特征在于所述盖体和座体 配合连接，形成封闭的外表面。
3、 如权利要求1所述的多方位旋转定位阀，其特征在于所述固定螺丝穿 设于盖体和座体的中央。
4、 如权利要求1所述的多方位旋转定位阀，其特征在于当所述把手连同 盖体转动至凹槽上方时，活动销棒恰能嵌设于凹槽中。
5、 如权利要求1所述的多方位旋转定位阀，其特征在于所述把手具有"L" 型结构。
6、 如权利要求1所述的多方位旋转定位阀，其特征在于所述把手的另一 端设有螺孔，供螺丝穿设，以将其他元件固定在把手上。
专利摘要本实用新型提供一种多方位旋转定位阀。现有的化学机械研磨设备的喷头固定结构存在螺丝易松脱使喷头移位，以及日常维护不方便等问题。本实用新型的多方位旋转定位阀，包括底体和把手，所述座体上表面开设有数个凹槽，且座体上还设有一盖体，盖体通过一固定螺丝连接至座体，并可以固定螺丝为轴相对座体转动；所述把手的一端固定在盖体上，一定位螺丝穿设于把手和盖体中；所述定位销钉包括活动销棒和弹簧，弹簧的上端抵顶于把手的下表面，弹簧的下端固定在活动销棒上，且活动销棒的下端部的大小与凹槽的大小相匹配。本实用新型的旋转定位阀不仅能旋转定位于多个方位，而且具有封闭的外部结构，可防止定位阀内部机构与晶圆加工环境之间的相互污染。
文档编号B24B57/02GK201015843SQ20062004887
公开日2008年2月6日 申请日期2006年12月13日 优先权日2006年12月13日
发明者吴根兴, 周海锋, 孔建军, 龙 张 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司