专利名称：甩胶喷雾热分解薄膜制备设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种制备薄膜的设备，尤其涉及一种使用甩胶喷雾热分解的 方法制备薄膜的设备。
背景技术：
薄膜制备的方法有很多种，如溶胶凝胶法、化学气相沉积、金属有机盐沉 积等化学方法，还包括液相外延、溅射、蒸发等物理方法，现在还常采用一 种喷雾热分解法来制备薄膜，这种方法使用图1所示的设备，用这种方法制备薄膜时，将配制好的溶液经压缩空气雾化器A4雾化后，在载流气体的带动 下，通过喷嘴Al喷进放置有被加热基板A2的容器中，使雾化体经电热丝A3 烘烤后挥发去溶剂并一步分解沉积在基板上成膜，在基板上获得光洁明亮的 薄膜。从上述对现有喷雾热分解法制备薄膜的过程中，发明人发现上述现有技 术至少存在以下问题由于喷雾成膜的过程为一层层逐渐进行，因此导致最后形成的薄膜厚度 不均匀，常常出现中间部分已达到厚度要求，而薄膜周边的厚度却未达到要 求，且制备薄膜的速度较慢，因此上述的喷雾热分解法所用的设备无法制备 出厚度均匀符合要求的薄膜，同时存在工作效率不高的缺点。发明内容本发明实施方式提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备可以 方便快速的制备厚度均匀、洁净、不龟裂的薄膜，且可以避免加热装置对转动甩胶时用的转动装置的影响。本发明的目的是通过以下技术方案实现的本发明实施方式提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备包括转筒、加热装置、底座、传动机构、测温装置、喷嘴、雾化装置、转动 装置、抽气装置、上盖、围壁和平台构成；转筒通过轴承设置在底座上，转动装置设置在转筒外侧，通过传动机构 驱动设置在所述底座上的转筒；转筒的上方设有由开口的平台、围壁与上盖构成的反应室，转筒的上端 通过所述平台的开口设置在反应室内，上盖上设有喷嘴和抽气孔，所述喷嘴 与转筒上固定的衬底相对应，喷嘴通过管路与雾化装置连接；所述抽气孔与 抽气装置连接；转筒下面的底座上设有与转筒上固定的村底对应的加热装置和测温装 置，加热装置与测温装置分别与控温装置连接。所述传动机构为转筒外面设置的齿轮，该齿轮与转筒外侧设置的转动装 置的转轴上的主动齿轮啮合。所述传动机构为转筒外面设置的转轮，该转轮通过传动带与转筒外侧设 置的转动装置的转轴上的主动轮连接。所述测温装置为热电偶，设置在转筒上固定的衬底下面。所述反应室由围壁设置在平台上，上盖设置在围壁上与平台相对应，上 盖、围壁与平台共同构成反应室。所述围壁为石英管。所述加热装置下面的底座上设有隔热层。 所述雾化装置采用空气压缩雾化器或超声波雾化器。 所述转动装置为可调速电动机。所述雾化装置与喷嘴连接的管路上设有调节阀。由上述本发明实施例提供的技术方案可以看出，本发明实施方式通过转 动装置经传动机构驱动设有衬底的转筒转动，并与转向筒上方设置的与雾化 装置连接的喷嘴及转筒下面的加热装置相配合，形成甩胶喷雾热分解的方式 制备薄膜。该设备可以方便、快速的制备薄膜，且制备的薄膜不会出现龟裂 现象，由于转动装置设置在转筒的外侧，不会受到加热装置的影响。该设备 结构简单，通过测温装置可以准确测得转筒上的衬底处的温度，方便制备薄 膜时的温度控制。
图l为现有技术提供的喷雾热分解法制备薄膜的设备的结构示意图； 图2为本发明实施例 一 的薄膜制备设备的结构示意图； 图3为本发明实施例二的薄膜制备设备的结构示意图。
具体实施方式
本发明实施方式提供的是一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备在 底座上设置转筒，转筒上设置衬底，转筒下面的底座上设置加热装置，转筒 上方设有与衬底位置对应的喷嘴，喷嘴通过管路与雾化装置连接，转筒上设 置衬底的一端及喷嘴均设在由平台、围壁和上盖构成的反应室内，使制备薄 膜的过程均在反应室内完成。该设备通过转筒上的衬底与上方的喷嘴及下面 的加热装置配合，形成甩胶喷雾热分解的方式，当喷嘴将雾化装置雾化后的 液体薄膜材料喷出到转筒上的衬底上形成薄膜时，加热装置可以将形成后的薄膜即刻加热去除薄膜中的溶剂。由于转动装置设在转筒的外侧，不会受到 加热装置发热的影响。该设备结构简单，可以方便、快速的制备薄膜。 为便于理解，下面结合附图及具体实施例进行详细说明。实施例一如图2所示，本实施例提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，可以以 甩胶喷雾热分解的方式制备薄膜，该设备具体包括转筒7、加热装置5、底座6、传动机构、测温装置17、喷嘴2、雾化装置 15、转动装置IO、抽气装置16、上盖18、围壁14和平台4构成；转筒7通过轴承8设置在底座6上，转动装置10设置在转筒7外侧，通过传 动机构驱动设置在所述底座6上的转筒7，转动装置可以采用可调速的电动 机，如调速范围在0 8000转的电动机；转筒7的上方设有由开口的平台4、围壁14与上盖18构成的反应室，所述 的反应室具体是由围壁14设置在平台4上，上盖19设置在围壁14上与平台4 对应，上盖19、围壁14与平台19共同构成的反应室，实际使用时，可以采用 石英管作为围壁，使石英管与上盖及平台共同构成反应室；转筒7的上端通过 所述平台4的开口设置在反应室内，上盖18上设有喷嘴2和抽气孔，所述喷嘴2 与转筒7上固定的衬底3相对应，喷嘴2通过管路及调节雾化材料供应量的调节 阀20与雾化装置15连接，雾化装置15可以采用空气压缩雾化器或超声波雾化 器；所述抽气孔与抽气装置16连接；转筒7下面的底座6上设有与转筒7上固定 的衬底3对应的加热装置5和测温装置17,加热装置5和测温装置17与控温装置 9连接，在加热装置5下面的底座上还可以设置隔热层19,减小了加热装置对 下方各部件的影响。上述设备中，所述的传动机构可以采用齿轮传动机构，具体为在转筒7 外面设置的齿轮13,该齿轮13与转筒7外侧设置的转动装置10的转轴11上的主 动齿轮12啮合。这种结构将转动装置10设置在转筒的外侧，加热装置5的发热 量不会对转动装置10造成影响，保证了整个设备高效、安全的运行。实际中，所述的测温装置18可以采用热电偶，热电偶穿过转筒4上端的托 盘1,设置在托盘1上固定的衬底3的下面。使用时，通过雾化装置及喷嘴将薄膜的液料雾化后喷到转动着的转筒上 的衬底上，以甩胶与喷雾配合的方式逐渐形成薄膜，加热装置同时对转筒上 的衬底加热，起到对衬底上的薄膜加热去除溶剂的作用，可以通过测温的热 电偶测得的村底处的温度，并可以通过控温装置方便的控制加热装置的加热 温度，进而达到控制制备薄膜时的温度。实施例二如图3所示，本实施例中提供了 一种以带式传动机构的甩胶喷雾热分解薄 膜制备设备，该设备的其它结构与实施例一所述的设备相同。所述带式传动机构由转筒7外面设置的转轮213通过传动带212与转筒7外 侧设置的转动装置10的转轴11上的主动轮211连接。转动装置10转动时通过转 轴11上的主动轮211及传动带212驱动转轮213，进而带动转筒7在底座6上转 动，这种传动结构的设备制备简单，可以保证转筒转动时的平稳性。具体使用的传动机构可以采用多种形式，主要起到在转动装置不受转筒 下面的加热装置发热影响的前提下，驱动转筒在制备薄膜时转动即可。但不 因传动机构的具体形式对本发明构成限制。综上所述，本发明实施例中提供的甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，通过 转动装置、雾化装置和加热装置配合，实现以甩胶喷雾热分解的方式方便、 快速的制备薄膜，且转动装置设置在转筒外侧通过传动机构驱动转筒，避免 了加热装置发热对转动装置造成的影响，保证了设备的安全、高效运行。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不 局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可 轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明 的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
权利要求
1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，其特征在于，该设备包括转筒(7)、加热装置(5)、底座(6)、传动机构、测温装置(17)、喷嘴(2)、雾化装置(15)、转动装置(10)、抽气装置(16)、上盖(18)、围壁(14)和平台(4)构成；转筒(7)通过轴承(8)设置在底座(6)上，转动装置(10)设置在转筒(7)外侧，通过传动机构驱动设置在所述底座(6)上的转筒(7)；转筒(7)的上方设有由开口的平台(4)、围壁(14)与上盖(18)构成的反应室，转筒(7)的上端通过所述平台(4)的开口设置在反应室内，上盖(18)上设有喷嘴(2)和抽气孔，所述喷嘴(2)与转筒(7)上固定的衬底(3)相对应，喷嘴(2)通过管路与雾化装置(15)连接；所述抽气孔与抽气装置(16)连接；转筒(7)下面的底座(6)上设有与转筒(7)上固定的衬底(3)对应的加热装置(5)和测温装置(17)，加热装置(5)与测温装置(17)分别与控温装置(9)连接。
2、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述传动机构为转筒(7) 外面设置的齿轮(13 ),该齿轮(13 )与转筒(7 )外侧设置的转动装置(10)的转轴(11)上的主动齿轮(12)啮合。
3、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述传动机构为转筒(7) 外面设置的转轮(213)，该转轮(213)通过传动带(212)与转筒(7)外 侧设置的转动装置(10)的转轴(11)上的主动轮(211)连接。
4、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述测温装置(18)为热 电偶，设置在转筒(4)上固定的衬底下面。
5、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述反应室由围壁(14)设置在平台(4)上，上盖(19)设置在围壁(l4)上与平台(4)相对应， 上盖(19)、围壁(14)与平台(19)共同构成反应室。
6、 根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述围壁(14)为石英管。
7、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述加热装置(5)下面的 底座上设有隔热层(19)。
8、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述雾化装置(15)采用 空气压缩雾化器或超声波雾化器。
9、 根据权利要求1至8任一项所述的设备，其特征在于，所述转动装置 (10)为可调速电动机。
10、 根据权利要求l所述的设备，其特征在于，所述雾化装置(15)与喷 嘴(2)连接的管路上设有调节阀(20)。
全文摘要
本发明公开一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备。该设备包括转筒通过轴承设置在底座上，转动装置设置在转筒外侧，通过传动机构驱动设置在所述底座上的转筒；转筒的上方设有由开口的平台、围壁与上盖构成的反应室，转筒的上端通过所述平台的开口设置在反应室内，上盖上设有喷嘴和抽气孔，所述喷嘴与转筒上固定的衬底相对应，喷嘴通过管路与雾化装置连接；所述抽气孔与抽气装置连接；转筒下面的底座上设有与转筒上固定的衬底对应的加热装置和测温装置，加热装置与测温装置分别与控温装置连接。该设备通过转动装置、转筒、雾化装置及加热装置配合，以甩胶喷雾热分解的方式制备薄膜。该设备中转动装置设在转筒外侧不会受到加热装置的影响。
文档编号C23C20/00GK101245452SQ20071030442
公开日2008年8月20日 申请日期2007年12月27日 优先权日2007年12月27日
发明者江 朱, 武光明 申请人:北京石油化工学院