镀膜治具的制作方法

文档序号:3420427阅读:239来源:国知局
专利名称:镀膜治具的制作方法
技术领域
本发明涉及一种镀膜治具,尤其涉及一种转动平稳的镀膜治具。
背景技术
随着光学产品的发展,光学元件的应用范围越来越广。相应地,业界采用各种方法来制 造光学元件以适应市场对不同规格光学元件的需求(请参阅"Fabrication of Diffractive Optical Lens for Beam splitting Using LIGA Process" , Mechatronics and Automation, Proceedings of the 2006 IEEE International Conference on, 卯.1242-1247, 2006.06)。通常来说,制造出的光学元件需经过后续处理以获得适于应用 的良好性能。
镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一。镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀 上单层或多层薄膜,利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直 、滤光、反射及折射等效果。光学元件的镀膜制程为首先,将光学元件安装于镀膜治具上 ,镀膜治具设置于一容器中;其次,密闭容器,对容器抽真空;然后,在镀膜治具转动过程 中,以蒸镀或溅镀等方法在光学元件需要镀膜的部位进行镀膜;最后,对容器破真空,将经 过镀膜的光学元件从镀膜治具上拆卸下来。
在镀膜过程中, 一般采用马达驱动转轴使得镀膜治具转动,这种驱动方法使得转动过程 不平稳,影响镀膜的质量。

发明内容
有鉴于此,有必要提供一种转动平稳的镀膜治具。
一种镀膜治具,其包括一个具有若干孔的伞形结构、固定装置和旋转装置,所述固定装 置固定在所述伞形结构的顶端,所述固定装置为一个由底座和侧壁组成的筒体,所述底座具 有一个缺口且所述底座在筒体内的表面四陷形成四槽,所述旋转装置包括一个具有一个表面 的圆柱体,所述圆柱体的表面凸起形成一个转轴和围绕所述转轴的固定圈,所述固定圈卡合 在所述底座的凹槽内,所述固定圈上设置有阻挡装置以使所述旋转装置转动时带动所述固定 装置一起转动。
与现有技术相比,本发明实施例镀膜治具旋转装置与固定装置之间通过固定圈和凹槽相 接触,二者之间为面接触,具有大的接触面积,因此,伞形结构在旋转过程中旋转平稳。


图l是本发明第一实施例提供的镀膜治具的立体示意图。 图2是本发明第二实施例提供的镀膜治具的分解示意图。 图3是本发明第二实施例提供的镀膜治具的示意图。
具体实施例方式
下面将结合附图对本发明作进一步详细说明。
如图1及图2所示,其为本发明第一实施例提供的一种镀膜治具IO。该镀膜治具10包括伞 形结构12、固定装置14和旋转装置16。
伞形结构12上设有若干孔122,以供待镀膜物置放其上。
固定装置14通过焊接等方式固定在伞形结构12的顶端。固定装置14为一个具有底座142 和侧壁143的中空筒体。底座142具有一个缺口1421,底座142在筒体内的一面凹陷形成一个 凹槽1422。侧壁143为部分圆环形结构且固定在伞形结构12上,侧壁143、底座142和伞形结 构12之间形成一个用来容纳旋转装置16的容置空间。
本实施例为凹槽1422为圆环形,但是,凹槽1422并不限于圆环形,也可以为其它形状, 如长方形、正方形等。
旋转装置16为一个具有表面162的圆柱体。表面162垂直凸起形成一个转轴1622和围绕转 轴1622的环形凸起1621。转轴1622的直径沿远离表面162的方向逐渐减小,最大直径小于等 于缺口1421的宽度。环形凸起1622的宽度小于等于凹槽1422的宽度以使环形凸起1622可卡合 在凹槽1422内。环形凸起1622的顶面上设置有两个挡块1623,两个挡块1623之间的距离小于 等于缺口1421的大小。
环形凸起1621的形状需要与凹槽1422相配合,本实施例中,环形凸起1621为圆环形凸起
组装时,将旋转装置16伸入固定装置14和伞形结构12之间,并将转轴1622伸进缺口 1421,使得两个挡块1623均位于缺口1421的范围内,将环形凸起1621与凹槽1422对齐,然后 ,上提旋转装置16,从而使环形凸起1621卡合在凹槽1422中。
当马达或者其它装置驱动旋转装置16转动时,在转动的瞬间环形凸起1622在凹槽1422内 滑动并不会使得固定装置14随之一起转动,当挡块1623与固定装置14相接触,固定装置14在 挡块1623的作用下随着旋转装置16—起转动,从而带动伞形结构12转动。
伞形结构12与固定装置14固定在一起,由于旋转装置16与固定装置14之间为面接触,具 有较大的接触面积,因此,伞形结构12旋转过程平稳。当然,两个挡块1623也可以设置在环形凸起1621的侧面上;挡块1623也可以为一个,设 置在环形凸起1621的侧面或者顶面。
如图3所示,其为本发明第二实施例提供的一种镀膜治具20。该镀膜治具20包括伞形结 构12、固定装置14和旋转装置18。
旋转装置18的结构基本上与旋转装置16相同旋转装置18包括一个转轴1822和围绕转轴 1822的环形凸起1821;不同点在于环形凸起1821的侧面上设置有一个圆弧1823,圆弧 1823的长度小于等于缺口1421的大小。
当然,圆弧1823也可以设置在环形凸起1823的顶面上。
另外,本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化,当然,这些依据本发明精神 所做的变化,都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
权利要求
权利要求1一种镀膜治具,包括一个具有若干孔的伞形结构,其特征在于进一步包括一个固定装置和一个旋转装置,所述固定装置固定在所述伞形结构的顶端,所述固定装置为一个由底座和侧壁组成的筒体,所述底座具有一个缺口且所述底座在筒体内的表面凹陷形成凹槽,所述旋转装置包括一个具有一个表面的圆柱体,所述圆柱体的表面凸起形成一个转轴和围绕所述转轴的固定圈,所述固定圈卡合在所述底座的凹槽内,所述固定圈上设置有阻挡装置以使所述旋转装置转动时带动所述固定装置一起转动。
2 如权利要求l所述的镀膜治具,其特征在于所述侧壁固定在所 述伞形结构顶端。
3 如权利要求2所述的镀膜治具,其特征在于所述阻挡装置为设 置在所述固定圈的顶面或侧面上的凸块。
4 如权利要求2所述的镀膜治具,其特征在于所述阻挡装置为设 置在所述固定圈的顶面或侧面上的两个凸块,所述凸块之间的距离小于等于所述缺口的大小
5 如权利要求2所述的镀膜治具,其特征在于所述阻挡装置为设 置在所述固定圈的顶面或侧面上的圆弧,所述圆弧的弧度小于等于所述缺口所在圆弧的弧度
6 如权利要求1至5任一项所述的镀膜治具,其特征在于所述转轴 的直径沿远离所述圆柱体的方向逐渐减小。
7 如权利要求6所述的镀膜治具,其特征在于所述阻挡装置与所 述固定圈一体成型。
全文摘要
本发明提供一种镀膜治具,其包括一个具有若干孔的伞形结构、固定装置和旋转装置,所述固定装置固定在所述伞形结构的顶端,所述固定装置为一个由底座和侧壁组成的筒体,所述底座具有一个缺口且所述底座在筒体内的表面凹陷形成凹槽,所述旋转装置包括一个具有一个表面的圆柱体,所述圆柱体的表面凸起形成一个转轴和围绕所述转轴的固定圈,所述固定圈卡合在所述底座的凹槽内,所述固定圈上设置有阻挡装置以使所述旋转装置转动时带动所述固定装置一起转动。旋转装置与固定装置之间为面接触,因此,旋转过程平稳。
文档编号C23C14/24GK101545091SQ200810300688
公开日2009年9月30日 申请日期2008年3月24日 优先权日2008年3月24日
发明者颜士杰 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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