专利名称：一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能电池生产领域，具体的说是一种在磁控溅射设备中对太阳 能电池进行溅镀Al层时太阳能电池边沿的保护装置。
背景技术：
在现有太阳能电池生产中，磁控溅射溅镀A1作为背电极是一道很重要的工艺过 程，但是由于溅镀时溅镀范围调控的误差，Al会溅射到太阳能电池的边沿(工艺要求边沿 不能有Al，因为后段程序在外面装边框时，会形成短路)，更严重的是如果溅镀到仓室内壁 上，会对设备造成毁坏。所以需要在溅镀时对太阳能电池边沿和仓室内壁进行保护，这样就 需要设计一种保护装置。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种在磁控溅射设备中对太阳能电池边沿和仓室内 壁的保护防溅镀装置，该装置可以有效的防止Al被溅射到太阳能电池的边沿和仓室的内 壁上，不会导致短路和毁坏设备的现象发生。
本实用新型的目的是这样实现的该保护装置包括靶材、矩形保护环、太阳能电 池、仓体，所述的保护环设置在仓体内靶材和太阳能电池之间，保护环为矩形环状的结构。 本实用新型由于采用上述结构，使得磁控溅射设备对太阳能电池进行溅镀A1层 时，不会将A1溅射到太阳能电池的边沿和仓室的内壁上从而避免导致短路和毁坏设备的 现象发生。
图1为本实用新型整体结构剖面图 图2为本实用新型俯视图
具体实施方式由附图所示该保护装置包括靶材1、矩形保护环2、太阳能电池3、仓体4，所述的 保护环2设置在仓体4内靶材1和太阳能电池3之间，保护环2为矩形环状的结构。 所述的保护环2中间的矩形孔6大小与太阳能电池3溅镀A1的面积相匹配，保护 环2的环体的大小与太阳能电池的边沿5的面积相匹配。 所述的保护环2环体的外边缘轮廓线7高于内边缘轮廓线8，并带有一凹弧状的过度。 磁控溅射设备工作时，耙材1溅射出Al的时候，保护环2的矩形环体会挡住外部 的Al，防止其溅射到仓体4的内壁上，而中心的Al通过内矩形孔6溅镀到太阳能电池3上， 这样的工作过程，可使保护环2对太阳能电池3的边沿5和仓体4进行保护，使靶材1溅射 出的Al不会溅镀到太阳能电池的边沿5和仓体4内部，太阳能电池的边沿5和仓体4起到了保护作用。
权利要求一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于该保护装置包括靶材(1)、矩形保护环(2)、太阳能电池(3)、仓体(4)，所述的保护环(2)设置在仓体(4)内靶材(1)和太阳能电池(3)之间，保护环(2)为矩形环状的结构。
2. 根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于所 述的保护环(2)中间的矩形孔(6)大小与太阳能电池(3)溅镀A1的面积相匹配，保护环 (2)的环体的大小与太阳能电池的边沿(5)的面积相匹配。
3. 根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于所 述的保护环(2)环体的外边缘轮廓线(7)高于内边缘轮廓线(8)，并带有一凹弧状的过度。
专利摘要本实用新型属于太阳能电池生产领域，具体的说是一种在磁控溅射设备中对太阳能电池进行溅镀Al层时太阳能电池边沿的保护装置。该保护装置包括靶材、矩形保护环、太阳能电池、仓体，所述的保护环设置在仓体内靶材和太阳能电池之间，保护环为矩形环状的结构。由于采用上述结构，使得磁控溅射设备对太阳能电池进行溅镀Al层时，不会将Al溅射到太阳能电池的边沿和仓室的内壁上从而避免导致短路和毁坏设备的现象发生。
文档编号C23C14/35GK201534875SQ200920094599
公开日2010年7月28日 申请日期2009年10月29日 优先权日2009年10月29日
发明者刘万学, 左腾, 张兵, 朱艳伟, 杨继泽, 王巍, 王德宏, 钟福建 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司