专利名称：一种能自行降温的磁控溅射仓室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种在太阳能电池生产设备中的能自行降温的磁控溅射仓室。
背景技术：
太阳能电池生产过程中，太阳能电池在磁控溅射仓室内溅镀A1层，其中溅镀过程 为在4(TC左右的磁控溅射仓室内，通过磁控溅射作用，使A1溅镀在太阳能电池片上。上 述过程中磁控溅射仓室的温度大约在IO(TC，由于溅镀的时间较长，设备内部要一直保持该 温度，而由于仓室主体为钢结构，所以长时间的高温对仓室的结构会产生一定的影响，需要 通过对仓室进行改进、降温，使仓室主体结构保持稳定。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种结构简单合理、能够对磁控溅射的仓室本身进行 降温的磁控溅射仓室。 本实用新型的目的是这样实现的该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设 置在仓室主体的内部。 所述的反光板分为四块分别设置在仓室主体内部的上、下、左右面上，由于仓室主 体的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板。 本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所 以在设备运行的过程中，太阳能电池进入仓室后，仓室内部开始加热，由于反光板的作用， 热量到反光板以后被反射，有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散，防止了仓室主体由 于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。
图1为磁控溅射仓室反光板立体示意图 图2为磁控溅射沉积仓室的正视图
具体实施方式由附图所示该降温装置包括仓室主体1 、反光板2，所述的反光板2设置在仓室主 体l的内部。 所述的反光板2分为四块分别设置在仓室主体1内部的上、下、左右面上，由于仓 室主体1的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板2。 在设备运行的过程中，太阳能电池由前端进入仓室主体l后，仓室内部开始加热， 由于反光板2的作用，热量会通过反光板2被反射，这样就有效的控制了热量向仓室主体1 结构的扩散，防止了仓室主体1由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。
权利要求一种能自行降温的磁控溅射仓室，该降温装置包括仓室主体(1)，其特征在于它还包括反光板(2)，所述的反光板(2)设置在仓室主体(1)的内部。
2. 根据权利要求1所述的一种能自行降温的磁控溅射仓室，其特征在于所述的反光 板(2)分为四块分别设置在仓室主体(1)内部的上、下、左右面上。
专利摘要本实用新型涉及一种能自行降温的磁控溅射仓室，该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设置在仓室主体的内部。所述的反光板分为四块分别设置在仓室主体内部的上、下、左右面上，由于仓室主体的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板。本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所以在设备运行的过程中，太阳能电池进入仓室后，仓室内部开始加热，由于反光板的作用，热量到反光板以后被反射，有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散，防止了仓室主体由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。
文档编号C23C14/35GK201530854SQ200920094600
公开日2010年7月21日 申请日期2009年10月29日 优先权日2009年10月29日
发明者刘万学, 刘志才, 崔庆春, 强艳建, 李宇, 杨继泽, 程明辉, 魏含芳 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司