专利名称：减振支撑机构及具有该机构的升降装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种支撑机构，尤其涉及一种具有缓冲功能的用于对平板类器件 进行支撑的减振支撑机构及具有该减振支撑机构的升降装置。
背景技术：
平板显示器(FPD，Flat Panel Display)因具有薄轻、功耗小、辐射低等优点，将成 为显示器中的主流产品，平板显示器主要包括液晶显示IXD(LiquidCrystal Display)、等 离子显示PDP (Plasma Display Panel)、有机电致发光显示OLED (Organic Light Emitting Display)以及表面传导电子发身寸 Il 示 SED (Surface-conduction Electron-emitter Display)等几大技术类型；各种类型显示器件的生产都需要利用玻璃等作为基板进行 真空镀膜，将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，以OLED为例，OLED的制作大都采用以 ITO (indium tin oxide)玻璃或石英制成的基板，利用蒸镀设备在玻璃基板上相继沉积多 层薄膜，其工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴 传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极层；可见基板在OLED制程中起 着举足轻重的作用，在OLED众多制作工序及后续工艺中，基板需要经过诸多工艺步骤，因 此，在这些制成中，对基板需要进行多次支撑和升降，而OLED的基板多由非常薄且易碎的 玻璃或石英制成，为了保证OLED的质量和精度，加工过程中对基板处理的自动化要求越来 越高的同时，对用于基板的支撑、升降的支撑机构也要求有较高的精度。现有的用于对基板进行支撑和升降的支撑机构，一种不具有缓冲减振功能，支撑 机构直接抵触基板，在对基板进行支撑和升降过程中，硬性机械接触容易导致被支撑和/ 或被升降的基板破损，降低产品的良品率；另一种支撑机构具有气压减振功能或液压减振 功能，这类支撑机构在安装时会将支撑机构以及气缸或液压缸等动力源引入真空蒸镀设备 内，这样不可避免的给真空环境带来了来自设备本身的污染，降低真空设备的清洁度，影响 蒸镀效果；同时，气缸或液压缸等引入真空设备，使支撑机构的结构复杂、安装困难，制造成 本高，而支撑机构位于真空设备内，维修困难。因此，急需一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方 便的减振支撑机构。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种具有缓冲减震功能、保证蒸镀设备高清洁度，且 结构简单、维护方便的减振支撑机构。本实用新型的另一目的在于提供一种具有减振支撑机构的升降装置，该升降装置 能维持蒸镀设备的高清洁度，且结构简单、维护方便。为实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种减振支撑机构，包括安装 板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所 述承载板之间，其中，所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板
3活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所 述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装 板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸， 所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫。较佳地，所述减振支撑机构还包括螺母，所述连接柱的下端依次穿过所述承载板 及所述安装板与所述螺母螺纹连接，所述连接柱的上端与所述承载板相抵触；当安装板受 力的作用沿连接柱向上运动或承载板受力的作用向下运动时，套设于连接柱外的弹性元件 被进一步压缩，弹性元件产生的弹力对承载板施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防 止承载板承载物件时产生较大的振动，进而避免承载与被承载物件之间的硬性接触使被抵 触物件受到损坏。较佳地，所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹 形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽；当安装板向上运动或 承载板向下运动时，限位件限制安装板向上运动或承载板向下运动的位移并能进一步起缓 冲作用，避免硬性机械接触；同时，缓冲垫固定于所述安装槽内，当缓冲垫承受安装板与承 载板之间的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。本实用新型提供的升降装置固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔 体内，所述升降装置包括驱动机构、减振支撑机构及至少三组顶杆机构，所述减振支撑机构 的上端与所述真空腔体的底板固定连接，下端与所述驱动机构连接，所述顶杆机构的下端 与所述减振支撑机构的下端固定连接，所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述 真空腔体密封地枢接；所述驱动机构驱动所述减振支撑机构及所述顶杆机构做往复运动， 其中，所述减振支撑机构包括安装板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行 地连接于所述真空腔体的底板与所述安装板之间，所述安装板与所述驱动机构连接；所述 连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述真空腔体的底板固定连接，所述 连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且 所述弹性元件的上端与所述真空腔体的底板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵 触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述真空腔体的底板方向 延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体 内且与所述真空腔体密封地枢接，下端与所述安装板固定连接。较佳地，所述连接柱的上端穿过所述安装板与所述真空腔体的底板螺纹连接，所 述连接柱的下端与所述安装板相抵触；当安装板受到驱动机构驱动时，安装板沿连接柱向 上运动，带动顶杆机构向上运动，弹性元件被进一步压缩，弹性元件产生的弹力对顶杆机构 施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆机构抵触物件时产生较大的振动，进而 避免顶杆机构与被抵触物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏。较佳地，所述限位件的下端与所述安装板螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹 形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出所述安装槽；当安装板向上运动时， 限位件限制安装板向上运动的位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触；同时，缓冲 垫固定于所述安装槽内，当缓冲垫承受安装板与真空腔体底板之间的压力时，可减小其横 向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。较佳地，所述顶杆机构具有连接板及从所述连接板上凸伸出的顶杆，所述连接板与所述安装板固定连接，所述顶杆伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接；顶 杆机构的连接板与安装板固定连接，通过一个驱动机构就可带动顶柱机构及减振支撑机构 运动，不需要多个驱动机构，使驱动难度降低，进而提高基板的处理效率；而顶杆机构的与 真空腔体密封地枢接，避免动力源给真空环境造成污染，影响产品工艺效果，提高真空环境 的清洁度，保证产品的良品率。较佳地，所述升降装置还包括波纹管，所述波纹管的上端与所述真空腔体的底部 密封连接，与所述波纹管密封连接的真空腔体处开设有通道孔，所述顶杆的上端自由的穿 过所述通道孔，所述顶杆的下端套于所述波纹管内，所述波纹管的下端与所述连接板密封 连接；顶杆下端及连接板位于真空腔体外，使减振支撑机构及驱动机构安装于真空腔体外， 因此，避免动力源给真空环境造成污染，影响产品工艺效果，提高真空环境的清洁度，保证 产品的良品率；同时，波纹管的上端与真空腔体的底部密封连接，下端与连接板密封连接， 波纹管将减振支撑机构及驱动机构与真空腔体密封隔离，实现真空腔体的静密封，保证其 高清洁度。与现有技术相比，由于本实用新型减振支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及 限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其中， 所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接 柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件 的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所 述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；当安装板受力的作用沿连 接柱向上运动或承载板受力的作用向下运动时，弹性元件被进一步压缩，弹性元件产生的 弹力对承载板施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止承载板承载物件时产生较大的 振动，进而避免承载板与被承载物件之间的硬性接触使被抵承载件受到损坏；安装板向上 运动或承载板向下运动过程中，限位件限制安装板或承载板运动的位移并能进一步起缓冲 作用，避免硬性机械接触，防止被承载物件受到损坏；同时，该减振支撑机构结构简单，组装 快捷，维修方便，使生产成本大大降低；而该减振支撑机构在使用时可与被支撑物件隔开， 避免动力源污染被支撑物件，从而保证被支撑物件的清洁度，提高产品的质量。由于本实用 新型升降装置具有上述减振支撑机构，因此，本实用新型升降装置也具有上述优点。
图1是本实用新型减振支撑机构的截面结构示意图。图2是图1中A部分的放大图。图3是图1中B部分的放大图。图4是本实用新型升降装置的截面结构示意图。图5是本实用新型升降装置的使用状态的截面结构示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如图1-图3所示，本实用新型减振支撑机构30，包括安装板32、承载板31、连接件34及限位件33，连接件34及限位件33相互平行地连接于安装板32与承载板31之间， 其中，连接件34包括连接柱341及弹性元件342，连接柱341的上端与承载板31活动连接， 连接柱341的下端与安装板32活动连接，弹性元件342呈压缩状的套设于连接柱341夕卜， 且弹性元件342的上端与承载板31抵触，弹性元件342的下端与安装板32相抵触，限位件 33的下端与安装板32连接，限位件33的上端沿承载板31的方向延伸，限位件33的上端 还设置有柔软的缓冲垫332。具体地，连接柱在本实用新型中优选为螺栓341，弹性元件在 本实用新型中优选为弹簧342，安装板32上设置有安装孔321及安装孔322，承载板31上 设置有螺纹安装孔311，螺栓341的下端依次贯穿螺纹安装孔311及安装孔321并与螺母 344螺纹连接，连接柱341的上端与承载板31的上表面相抵触且低于承载板31的上表面， 在螺栓341上套设有两约束环343a、343b，弹簧342呈压缩状的套设在连接柱341外，且弹 簧342的上端与约束环343a相抵触，弹簧342的下端与约束环343b相抵触，因此，在弹簧 342弹力的作用下，约束环343a与承载板31抵触，约束环343b与安装板32相抵触，弹簧 342呈压缩状的被固定于安装板32与承载板31之间；限位件33的下端贯穿安装板32上 的安装孔322并通过螺母333a、333b与所述安装板32螺纹连接，通过调节螺母333a及螺 母333b，可调节限位件33的高度，进而调节安装板32或承载板31移动的位移，限位件33 的上端沿承载板31的方向延伸，限位件33的上端具有内凹形成的安装槽331，所述缓冲垫 332通过螺钉固定于所述安装槽内331且凸出所述安装槽331 ；当安装板32受到力的作用 沿连接柱341向上运动或承载板31受力的作用沿连接柱341向下运动时，弹簧342被进一 步压缩，弹簧342产生的弹力对承载板31施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止承 载板31承载物件时产生较大的振动，进而避免承载板31与被承载物件之间的硬性接触使 被承载的物件受到损坏；另外，限位件33限制安装板32向上运动或承载板31向下运动的 位移并能进一步起缓冲作用，避免硬性机械接触；缓冲垫332固定于所述安装槽331内，当 缓冲垫332承受安装板32的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长使用寿命。 如图1-图4所示，本实用新型升降装置100固定安装于真空腔体20外且其一端 密封的伸入真空腔体20内，其包括驱动机构10、减振支撑机构30及四组顶杆机构40，减振 支撑机构30的上端与真空腔体的底板22固定连接，下端与驱动机构10连接，顶杆机构40 的下端均与减振支撑机构30的下端固定连接，上端伸入真空腔体20内且与真空腔体20密 封地枢接；驱动机构10优选为气缸组件；减振支撑机构30包括安装板32、连接件34及限 位件33，安装板32下端与气缸组件10连接，上端通过连接件34与真空腔体的底板22固 定连接，连接件34包括连接柱341及弹性元件342，连接柱341的上端与真空腔体的底板 22固定连接，连接柱341的下端与安装板32活动连接，弹性元件342呈压缩状的套设于连 接柱341外，且弹性元件342的上端与真空腔体的底板22抵触，弹性元件342的下端与安 装板32抵触；限位件33设置于真空腔体的底板22与安装板32之间且与连接件34相互平 行，所述限位件33的下端与安装板32连接，所述限位件33的上端沿真空腔体的底板22的 方向延伸，限位件33的上端还设置有柔软的缓冲垫332 ；顶杆机构20的下端对称的连接于 减振支撑机构30的安装板32上，上端伸入真空腔体20内且与真空腔体20密封地枢接；具 体地，连接柱在本实用新型中优选为螺栓341，弹性元件在本实用新型中优选为弹簧342， 安装板32上设置有安装孔321及安装孔322，螺栓341的上端贯穿安装板32上的安装孔 321与真空腔体的底板22螺纹连接，连接柱的下端与安装板32相抵触，在螺栓341上套设
6有两约束环343a、343b，弹簧342呈压缩状的套设在连接柱341外，弹簧342的上端与约束 环343a相抵触，弹簧342的下端与约束环343b相抵触，因此，在弹簧342弹力的作用下，约 束环343a与真空腔体的底板22抵触，约束环343b与安装板32相抵触，弹簧342呈压缩状 的被固定于安装板32与真空腔体的底板22之间；限位件33的下端贯穿安装板32上的安 装孔322并通过螺母333a、333b与所述安装板32连接，限位件33的上端沿真空腔体的底板 22方向延伸，限位件33的上端具有内凹形成的安装槽331，所述缓冲垫332通过螺钉固定 于所述安装槽内331且凸出所述安装槽331 ；顶杆机构40具有连接板401及从所述连接板 401上凸伸出的顶杆402，连接板401与安装板32固定连接，顶杆402伸入真空腔体20内 且与所述真空腔体20密封地枢接；具体地，真空腔体的底板22上开设有通道孔，顶杆402 的上端自由的穿过通道孔伸入真空腔体20内，顶杆402的下端位于真空腔体20外使连接 板401与安装板32固定连接，波纹管403套设于顶杆402的下端，波纹管403 —端通过法 兰404固定于真空腔体的底板22的通道孔处，使通道孔密封于波纹管403内，另一端通过 法兰404固定于顶杆机构40的连接板401上，实现顶杆机构40与真空腔体20的密封。顶 柱机构40的连接板401与减振支撑机构30的安装板32连接，安装板32与气缸组件10连 接，通过气缸组件10驱动安装板32，安装板32带动顶柱机构40向上运动的同时，减振支撑 机构30的弹簧342产生的弹力对顶杆机构40施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，防 止顶杆机构40抵触物件时产生较大的振动，进而避免顶杆机构40与被抵触物件之间的硬 性接触使被抵触物件受到损坏，而限位件33可限制安装板32向上运动的位移并能进一步 起缓冲作用，避免硬性机械接触而损坏被支撑物。结合图4、图5，对本实用新型升降装置100的原理进行详细说明。初始状态时，被 支撑物放置于顶杆402上，气缸组件10由下向上运动时，驱动安装板32向上运动，安装板 32带动连接于其上的顶杆机构40向上运动，顶杆402向上运动的同时，波纹管403被压缩， 同时套设于连接柱341外的弹簧342也被进一步的压缩，弹簧342产生的弹力对顶杆402 施加在被抵触物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆402抵触物件时产生较大的振动，进而 避免顶杆402与被抵触物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏；限位件33可限制安装 板32向上运动的位移并能进一步起缓冲作用，进一步避免硬性机械接触，防止被抵触物件 受到损坏；当被抵触物件被调节到位或被运送走后，气缸组件10向下运动，压缩弹簧342及 波纹管403被释放复位，恢复初始位置；限位件33的缓冲垫332固定于安装槽331内，当缓 冲垫332承受安装板32的压力时，可减小其横向变形，增强其缓冲能力，增长其使用寿命； 限位件33的下端贯穿安装板32上的安装孔322并通过螺母与安装板32连接，可根据气缸 组件10的冲程及实际应用调节限位件33上螺母的位置，调节限位件33的高度，进而调节 限制安装板32运动的位移；波纹管403的上端与真空腔体的底部22密封连接，下端与连接 板401密封连接，波纹管403将减振减振支撑机构30及驱动机构10与真空腔体20密封隔 离，避免动力源给真空环境造成污染，实现真空腔体20的静密封，保证其高清洁度。本实用新型升降装置100的减振支撑机构30包括安装板32、连接件34及限位件 33，安装板32下端与气缸组件10连接，上端通过连接件34与真空腔体的底板22固定连 接，连接件34包括连接柱341及弹性元件342，连接柱341的上端与真空腔体的底板22固 定连接，连接柱341的下端与安装板32活动连接，弹性元件342呈压缩状的套设于连接柱 341外，且弹性元件342的上端与真空腔体的底板22相抵触，弹性元件342的下端与安装板32相抵触，限位件33的下端与安装板32连接，限位件33的上端沿真空腔体的底板22方 向延伸，限位件33的上端还设置有柔软的缓冲垫332，顶杆机构40的下端对称的连接于减 振支撑机构30的安装板32上，上端伸入真空腔体20内且与真空腔体20密封地枢接；当安 装板32沿连接柱341向上运动时，弹性元件342被进一步压缩，弹性元件342产生的弹力 对顶杆机构40施加于被承载物件上的力起到缓冲作用，防止顶杆机构40承载物件时产生 较大的振动，进而避免顶杆机构40与被承载物件之间的硬性接触使被抵触物件受到损坏； 安装板32向上运动过程中，限位件33限制安装板32向上运动的位移并能进一步起缓冲作 用，避免硬性机械接触，防止被被承载物件受到损坏；升降装置100结构简单，组装快捷，生 产成本大大降低；顶杆机构42通过减振支撑机构30安装于真空腔体20外，且顶杆机构40 与真空腔体20中间通过波纹管403密封连接，将减振支撑机构30及驱动机构10与真空腔 体20密封隔离，避免动力源给真空环境造成污染，实现真空腔体20的静密封，保证其高清 洁度，提高产品的质量，顶杆机构40及减振支撑机构30安装于真空腔体20外，便于维修， 维护方便。本实用新型升降装置100不限于对基板的支撑及升降，还可根据实际需要，用于 相类似的物体的支撑及升降。本实用新型顶柱设备的驱动机构10及其原理等均为本领域普通技术人员所熟 知，在此不再做详细的说明。以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已，当然不能以此来限定本实用新 型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求一种减振支撑机构，包括安装板、承载板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接于所述安装板与所述承载板之间，其特征在于所述连接件包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述承载板活动连接，所述连接柱的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹性元件的上端与所述承载板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述承载板方向延伸，所述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫。
2.如权利要求1所述的减振支撑机构，其特征在于还包括螺母，所述连接柱的下端依 次穿过所述承载板及所述安装板与所述螺母螺纹连接，所述连接柱的上端与所述承载板相 抵触。
3.如权利要求1所述的减振支撑机构，其特征在于所述限位件的下端与所述安装板 螺纹连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且 凸出所述安装槽。
4.一种升降装置，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述升降 装置包括驱动机构、减振支撑机构及至少三组顶杆机构，所述减振支撑机构的上端与所述 真空腔体的底板固定连接，下端与所述驱动机构连接，所述顶杆机构的下端与所述减振支 撑机构的下端固定连接，所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封 地枢接，所述驱动机构驱动所述减振支撑机构及所述顶杆机构做往复运动，其特征在于所 述减振支撑机构包括安装板、连接件及限位件，所述连接件及所述限位件相互平行地连接 于所述真空腔体的底板与所述安装板之间，所述安装板与所述驱动机构连接；所述连接件 包括连接柱及弹性元件，所述连接柱的上端与所述真空腔体的底板固定连接，所述连接柱 的下端与所述安装板活动连接，所述弹性元件呈压缩状的套设于所述连接柱外，且所述弹 性元件的上端与所述真空腔体的底板抵触，所述弹性元件的下端与所述安装板抵触，所述 限位件的下端与所述安装板连接，所述限位件的上端沿所述真空腔体的底板方向延伸，所 述限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；所述顶杆机构的上端伸入所述真空腔体内且与所 述真空腔体密封地枢接，下端与所述安装板固定连接。
5.如权利要求4所述升降装置，其特征在于所述连接柱的上端穿过所述安装板与所 述真空腔体的底板螺纹连接，所述连接柱的下端与所述安装板相抵触。
6.如权利要求4所述的升降装置，其特征在于所述限位件的下端与所述安装板螺纹 连接，所述限位件的上端具有内凹形成的安装槽，所述缓冲垫固定于所述安装槽内且凸出 所述安装槽。
7.如权利要4所述的升降装置，其特征在于所述顶杆机构具有连接板及从所述连接 板上凸伸出的顶杆，所述连接板与所述安装板固定连接，所述顶杆伸入所述真空腔体内且 与所述真空腔体密封地枢接。
8.如权利要7所述的升降装置，其特征在于所述升降装置还包括波纹管，所述波纹管 的上端与所述真空腔体的底板密封连接，与所述波纹管密封连接的真空腔体的底板处开设 有通道孔，所述顶杆的上端自由的穿过所述通道孔，所述顶杆的下端套于所述波纹管内，所 述波纹管的下端与所述连接板密封连接。
专利摘要本实用新型公开了一种减振支撑机构，其包括安装板、承载板、连接件及限位件，连接件及限位件相互平行地连接于安装板与承载板之间，连接件包括连接柱及弹性元件，连接柱的上端与承载板活动连接，连接柱的下端与安装板活动连接，弹性元件呈压缩状的套设于连接柱外，且弹性元件的上端与承载板抵触，弹性元件的下端与安装板抵触，限位件的下端与安装板连接，限位件的上端沿承载板方向延伸，限位件的上端还设置有柔软的缓冲垫；本实用新型减振支撑机构具有缓冲减震功能，能避免承载板与被承载物的硬性机械接触，防止被承载物受到损坏，且结构简单、维护方便。另，本实用新型还公开了具有本该减振支撑机构的升降装置。
文档编号C23C14/50GK201634755SQ20092027420
公开日2010年11月17日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者刘惠森, 张永红, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司