专利名称：改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法
改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示器制造领域，尤其涉及一种改善液晶显示产品氧化铟锡膜表
面形貌的方法。背景技术：
在平板液晶显示用的滤色器(color filter, CF)产品制作过程中，氧化铟锡(In203:Sn， IT0)膜常作为导电层在最上面刻蚀成图案后作导电极用，IT0膜在最上层会直接与液晶接触，因此其表面形貌会影响与液晶的浸润性。如图1、图2所示，传统的大多数ITO膜表面由于有大颗晶粒的存在导致晶向混乱，与液晶的浸润性差，因此在显示屏空盒灌液过程中需要等待较长的时间才能使液晶充分浸润ITO膜表面，生产效率受影响。
发明内容
基于此，有必要提供一种液晶显示器空盒灌液时间短的提高生产效率的改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法。 —种改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，即在氧化铟锡溅射成膜的过程中充入氧气和氩气混合气体。 优选的，所述混合气体的流量为0. 8-5. Osccm。
优选的，所述混合气体的流量为1. 2sccm。
优选的，所述混合气体中氧气与氩气的比例为3 : iooo-20 : iooo。 优选的，所述混合气体中氧气与氩气的比例为5 : 1000。 通过在氧化铟锡溅射成膜过程中充入氧气，使制得的氧化铟锡膜表面形貌晶向较
为统一，大颗晶粒明显减少，增大了液晶材料与氧化铟锡膜的表面浸润性，从而灌液时间縮短，生产效率提高。
图1、图2为具有大颗晶粒、晶向混乱的IT0表面扫描电子显微镜检测图。
图3、图4为晶向较统一的IT0表面扫描电子显微镜检测图。
具体实施方式
传统的平板显示用的滤色器产品制作过程中形成的IT0膜表面常会出现较多的大颗晶粒、晶向较为混乱，如图1和图2所示，这样的ITO膜与液晶材料的浸润性差，在液晶显示器灌液过程中需要等待较长的时间，一般为8个小时，才能使液晶材料与IT0膜充分浸润，生产效率低下。 与传统所用技术不同，为改善液晶显示产品空盒灌液时间长的问题，使ITO膜表面形貌较为统一，在镀ITO膜时选择充入氧气，具体为氧气和氩气的混合气体。由于IT0溅射成膜的过程为结晶生长过程，加入氧气会直接影响IT0膜中In0x与Sn0x的结合生长，即充入氧气镀膜时可让ito膜里氧空位更少，因此结晶更好，得到的ito膜晶向也较为统一，
如图3和图4所示。试验证明充入氧气溅射it0后液晶材料与it0膜的浸润性明显增强，
可以将液晶显示产品灌液时间控制在2小时以内，生产效率大大提高。 根据不同的镀膜设备，在镀ito膜时可以选择不同的气体流量， 一般为
0. 8-5. Osccm，优选1. 2sccm，得到的it0膜表面大颗晶粒较少，晶向较为统一，如图3和图4所示。 此外，在确保ito膜层的透过率、面电阻等各项特性正常的前提下，针对镀膜设备的不同，还可以选择不同配比的氧氩混合气体，一般氧气与氩气的比例为
3 : iooo-20 : iooo，优选的氧氩比例为5 : iooo，可以得到晶向更为统一的ito表面形貌。 通过在氧化铟锡溅射成膜过程中充入氧气，使制得的氧化铟锡膜表面形貌晶向较
为统一，大颗晶粒明显减少，增大了液晶材料与氧化铟锡膜的表面浸润性，从而灌液时间縮短，生产效率提高。 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并
不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求
一种改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，其特征在于，在氧化铟锡溅射成膜的过程中充入氧气和氩气的混合气体。
2. 如权利要求1所述的改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，其特征在于，所述混合气体的流量为0. 8-5. 0sccm。
3. 如权利要求1或2所述的改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，其特征在于，所述混合气体流量为1. 2sccm。
4. 如权利要求1所述的改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，其特征在于，所述混合气体中氧气与氩气的比例为3 : iooo-20 : iooo。
5. 如权利要求1或4所述的改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，其特征在于，所述混合气体中氧气与氩气的比例为5 : iooo。
全文摘要
本发明涉及一种改善液晶显示产品氧化铟锡膜表面形貌的方法，通过在氧化铟锡溅射成膜过程中充入氧气，使制得的氧化铟锡膜表面形貌晶向较为统一，大颗晶粒明显减少，增大了液晶材料与氧化铟锡膜的表面浸润性，从而灌液时间缩短，生产效率提高。
文档编号C23C14/08GK101787517SQ20101012334
公开日2010年7月28日 申请日期2010年3月12日 优先权日2010年3月12日
发明者敦士军, 方刚, 毛利良, 王春平, 黄受林, 黄裕坤 申请人:中国南玻集团股份有限公司