专利名称：定位销及包含该定位销的预清洗腔室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路工艺，特别涉及一种定位销及包含该定位销的预清洗腔室。
背景技术：
在半导体工艺中，在对晶圆做物理气相沉积前，需要清洗晶圆，以使晶圆在进行物 理气相沉积时，能够沉积一层均勻的膜层。在物理气相沉积机台中设置有预清洗腔室，所述 预清洗腔室包括腔体基座、托盘、定位销和石英盘，所述托盘固定在所述腔体基座上，所述 定位销置于所述托盘中间，所述石英盘覆盖在所述定位销上并与所述定位销的中心重合。 需要清洗的晶圆可通过机械手臂放置于石英盘上，然后进行清洗，此时，晶圆的中心位置与 所述石英盘的中心位置重合，即与所述定位销的中心位置重合。然而，在使用较长时间后， 机械手臂放置晶圆在预清洗腔室内的位置可能会有所偏移，这样将导致机械手臂在放置晶 圆的时候，晶圆的中心位置与所述石英盘的中心位置不重合，由此会导致晶圆倾斜，晶圆可 能会因此而破碎。为此，需要对机械手臂放入预清洗腔室内的位置定期做校准，同时记录校准后的 机械手臂的位置，使得校准后，晶圆的中心位置能与所述石英盘的中心位置重合。当利用机 械手臂将待清洗晶圆置于石英盘上时，机械手臂放置的位置是校准后的位置，从而能够确 保晶圆的中心与石英盘的中心重合。目前，可利用定位销对机械手臂放入预清洗腔室内的位置做校准。具体请参考图 1，其为现有的定位销的主视图，所述定位销10包括第一支撑部件111及与所述第一支撑部 件111连接的第二支撑部件112。详细的，对机械手臂放入预清洗腔室内的位置做校准的时 候，可将现有的校准盘及校准插针置于机械手臂上，所述校准插针可穿过校准盘的中心及 机械手臂，之后，移动机械手臂使得校准插针能对准定位销的中心，同时记录此时机械手臂 的位置，此位置即为校准后的位置。然而，由于现有的定位销10的第一支撑部件111的自 由端部是一个平面，操作人员难以判别出第一支撑部件111的中心，当校准插针通过校准 盘对机械手臂进行校准时，很难准确地对准第一支撑部件111的中心，使得校准盘及校准 插针不能与定位销10很好的匹配，无法准确的校准机械手臂；此外，由于校准插针难以准 确地对准定位销第一支撑部件的中心，导致整个校准过程费时长，提高了制造成本。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种新的定位销及包含该定位销的预清洗 腔室，以解决校准插针难以准确地对准现有的定位销的第一支撑部件的中心，导致不能准 确校准机械手臂的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种定位销，所述定位销包括第一支撑部 件及与所述第一支撑部件连接的第二支撑部件，所述第一支撑部件的中心位置设置有对准 孔，所述对准孔设置于与第二支撑部件连接面相对的面。
3[0007]可选的，所述孔的数量为一个。可选的，所述孔的深度为0. 5 2cm。可选的，所述孔为圆孔。可选的，所述圆孔的直径为2 3cm。可选的，所述孔为方孔。可选的，所述方孔的边长为2 3cm。本实用新型还提供一种预清洗腔室，所述预清洗腔室包括腔体基座、托盘、定位销 和石英盘，所述托盘固定在所述腔体基座上，所述定位销置于所述托盘中间，所述石英盘覆 盖在所述定位销上，与所述定位销的中心重合，所述定位销包括第一支撑部件及与所述第 一支撑部件连接的第二支撑部件，所述第一支撑部件的中心位置设置有对准孔，所述对准 孔设置于与第二支撑部件连接面相对的面。与现有的技术相比，本实用新型提供的定位销，在其第一支撑部件的中心位置设 置有对准孔，所述对准孔设置于与第二支撑部件连接面相对的面，在对机械手臂进行校准 时，校准插针能方便地插入所述孔中，可方便准确地对机械手臂进行校准，并且减少校准用 时，降低成本。本实用新型提供的预清洗腔室包含有定位销，所述第一支撑部件的中心位置设置 有对准孔，所述对准孔设置于与第二支撑部件连接面相对的面，能够对机械手臂进行准确 校准。晶圆通过机械手臂放入该预清洗腔室进行清洗，解决了因晶圆中心与承载晶圆的石 英盘中心不重合而导致倾斜发生破碎的问题，提高了预清洗腔室的工作效率，降低了成本。
图1为现有的定位销的主视图；图加为本实用新型实施例一的定位销的主视图；图2b为本实用新型实施例一的定位销第一支撑部件的俯视图；图3为本实用新型的预清洗腔室的结构示意图；图4为利用实施例一的定位销校准机械手臂的示意图；图fe为本实用新型实施例二的定位销的主视图；图恥为本实用新型实施例二的定位销第一支撑部件的俯视图。
具体实施方式
实施例一请参阅图加和图2b，其中，图加为本实用新型实施例一的定位销的主视图，图2b 为本实用新型实施例一的定位销第一支撑部件的俯视图。如图加所示，定位销20包括第 一支撑部件211以及与第一支撑部件211连接的第二支撑部件212，所述第一支撑部件211 的中心位置设置有对准孔213，所述对准孔213设置于与第二支撑部件212连接面相对的 面。在对机械手臂进行校准时，校准插针能方便地插入所述第一支撑部件211的中心位置 设置的对准孔213中，从而能方便准确地对机械手臂进行校准。如图2b所示，在本实施例中，所述孔213为圆孔，所述圆孔的直径为2 3cm，此 时，校准插针与所述第一支撑部件211中心位置设置的对准孔213的吻合度更高，校准插针能够快速的插入孔213中，达到更为精确的校准机械手臂的目的。在本实施例中，所述孔213的深度为0. 5 2cm。当然，本实用新型并不局限于此， 所述圆孔的深度也可根据实际的校准需要，做相应的调整。在本实施例中，所述第一支撑部件211呈圆台状，所述第二支撑部件212呈圆柱 状，所述第一支撑部件211和第二支撑部件212是一体成型的。如图3所示，其为本实用新型的预清洗腔室的结构示意图。所述预清洗腔室包括 腔体基座40、托盘50、定位销20和石英盘60，所述托盘50固定在所述腔体基座40上，所述 定位销20置于所述托盘50中间，所述石英盘60覆盖在所述定位销20上，所述石英盘60 的中心与所述定位销20的中心重合。所述定位销20包括第一支撑部件211及与所述第一 支撑部件211连接的第二支撑部件212，所述第一支撑部件211的中心位置设置有对准孔 213，所述对准孔设置于与第二支撑部件212连接面相对的面。如图4所示，其为利用实施例一的定位销校准机械手臂的示意图，在半导体工艺 中，当需要每月做预防维护，对机械手臂在预清洗腔室中的位置进行校准时，可将校准盘80 及校准插针70置于机械手臂(图4中未示出)上，使校准插针70穿过校准盘80的中心 以及机械手臂，机械手臂及其上的校准盘80与校准插针70置于定位销20上方。校准时， 通过移动机械手臂，可最终将校准插针70插入定位销20的第一支撑部件211中心设置的 对准孔213中，即完成一次校准。此时，校准盘80的中心与定位销20的中心重合，同时记 录机械手臂此时在预清洗腔室中的位置，此位置即为机械手臂经过校准后的位置。当正常 工作时，晶圆置于机械手臂上，其中心在机械手臂上的位置与校准盘80中心在机械手臂上 的位置相同，机械手臂进入预清洗腔室中，其在预清洗腔室中的位置为校准时记录的位置。 由此，当晶圆通过机械手臂置于覆盖在定位销20上并与定位销20中心重合的石英盘(图 4中未示出)上时，其中心位置能够与所述石英盘的中心位置重合，解决了因晶圆中心位置 与石英盘中心位置不重合，晶圆偏于石英盘一侧而导致晶圆倾斜的问题。同时，在整个校准 的过程中，减少了校准用时，降低了制造成本。实施例二请参考图fe和图恥，其中，图如为本实用新型实施例二的定位销的主视图，图恥 为本实用新型实施例二的定位销第一支撑部件的俯视图。所述定位销30由第一支撑部件 311及第二支撑部件312组成，所述第一支撑部件311的中心位置设置有对准孔313，所述 对准孔设置于与第二支撑部件312连接面相对的面，本实施例与实施例一不同之处在于， 所述孔313为方孔，所述方孔的边长为2 3cm，所述方孔的深度为0. 5 2cm。第一支撑 部件311中心位置设置的边长为2 3cm方孔与校准插针的吻合度更高，在校准机械手臂 时，能快速准确地将校准插针插入孔313中，可更为精确地校准机械手臂。上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限 定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保 护范围。
权利要求1.一种定位销，所述定位销包括第一支撑部件及与所述第一支撑部件连接的第二支撑 部件，其特征在于所述第一支撑部件的中心位置设置有对准孔，所述对准孔设置于与第二 支撑部件连接面相对的面。
2.如权利要求1所述的定位销，其特征在于所述孔的数量为一个。
3.如权利要求2所述的定位销，其特征在于所述孔为圆孔。
4.如权利要求3所述的定位销，其特征在于所述圆孔的直径为2 3cm。
5.如权利要求2所述的定位销，其特征在于所述孔为方孔。
6.如权利要求5所述的定位销，其特征在于所述方孔的边长为2 3cm。
7.如权利要求1所述的定位销，其特征在于所述孔的深度为0.5 2cm。
8.如权利要求1所述的定位销，其特征在于所述第一支撑部件呈圆台状，所述第二支 撑部件呈圆柱状。
9.一种预清洗腔室，所述预清洗腔室包括腔体基座、托盘、定位销和石英盘，所述托盘 固定在所述腔体基座上，所述定位销置于所述托盘中间，所述石英盘覆盖在所述定位销上， 所述石英盘的中心与所述定位销的中心重合，所述定位销包括第一支撑部件及与所述第一 支撑部件连接的第二支撑部件，其特征在于所述第一支撑部件的中心位置设置有对准孔， 所述对准孔设置于与第二支撑部件连接面相对的面。
专利摘要本实用新型公开了一种定位销及包含所述定位销的预清洗腔室，涉及集成电路工艺领域的物理气相沉积机台的装置。本实用新型提供的定位销包括第一支撑部件及与所述第一支撑部件连接的第二支撑部件，所述第一支撑部件的中心位置设置有对准孔，所述对准孔设置于与第二支撑部件连接面相对的面。利用本实用新型提供的定位销，能对机械手臂进行准确校准，减少校准用时，降低成本。
文档编号C23C14/50GK201857422SQ201020506060
公开日2011年6月8日 申请日期2010年8月26日 优先权日2010年8月26日
发明者李广宁 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司