专利名称：改良的连续式真空镀膜机台车的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及镀膜机领域技术，尤其是指一种改良的连续式真空镀膜机台车。
背景技术：
现有之连续式真空镀膜机台车的结构主要包括有框体和悬挂于框体上的基片，使用时该台车被送入到真空腔体中，并利用溅射靶对基片外表面进行溅射，并于基片的外表面上形成一层镀膜结构。然而，现有之连续式真空镀膜机台车其基片周侧与框体之间存在空档，在溅射过程中，射源会穿越该空档并在基片的背面形成绕镀层，导致部分产品无法生产，从而为企业生产添加了麻烦。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种改良的连续式真空镀膜机台车，其能有效解决现有之连续式真空镀膜机台车在溅射过程中容易出现绕镀现象的问题。为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案一种改良的连续式真空镀膜机台车，包括有台车框体，该台车框体上形成有至少一窗口，该窗口的侧面上固定有基片，该基片的四周侧缘抵触并覆盖住窗口的四周侧缘。作为一种优选方案，所述台车框体由多根中空方形柱体构成，该中空方形柱体的宽度为12mm。作为一种优选方案，所述每一窗口的两侧面均安装有一前述基片，每一窗口与对应的两基片之间形成一盒状空间，该中空方形柱体上设置有通孔，该通孔连通于外界与中空方形柱体内部之间，并且该中空方形柱体的侧面开设有连通盒状空间和中空方形柱体之间的通槽。作为一种优选方案，所述每一窗口的两侧面均安装有一前述基片，每一窗口与对应的两基片之间形成一盒状空间，该中空方形柱体的侧边开设有沟槽，该沟槽串通盒状空间和外界之间。本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知一、通过将基片的四周侧缘抵触并覆盖住窗口的四周侧缘，以使得基片的周侧与框体之间不存在有空档，可完全杜绝在溅射过程中出现绕镀现象，基片的背面不会形成有绕镀层，保证镀膜产品生产的顺利进行，为企业生产带来便利性。二、通过配合利用通孔和通槽使盒状空间与外界之间连通，或者利用沟槽串通盒状空间和外界之间，以此使得盒状空间与外界之间的气压平衡，当台车进出真空腔体，设备抽真空和破真空过程中，盒状空间不会与外界形成气压差，不会造成产品翘曲，并杜绝两基片发生接触现象，从而保证镀膜产品的质量。[0013]为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，
以下结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。
图I是本实用新型之较佳实施例的正面示意图；图2是本实用新型之较佳实施例中A位置处的放大示意图；图3是本实用新型之较佳实施例中B位置处的侧视图。附图标识说明 10、台车框体11、中空方形柱体101、窗口102、通孔103、通槽104、沟槽20、基片。
具体实施方式
请参照图I至图3所示，其显示出了本实用新型之较佳实施例的具体结构，包括有台车框体10和基片20。其中，该台车框体10由多根中空方形柱体11构成，该中空方形柱体11的宽度为12mm;该台车框体10上形成有至少一窗口 101，该基片20固定于窗口 101的侧面上，该基片20的四周侧缘抵触并覆盖住窗口 101的四周侧缘，以此使得基片20与框体10之间无镂空，避免在镀膜过程中出现绕镀现象；在本实施例中，该每一窗口 101的两侧面均安装有一前述基片20，每一窗口 101与对应的两基片20之间均形成有一盒状空间(图中未示)，该盒状空间为封闭的空间，该中空方形柱体11上设置有通孔102，该通孔102连通于中空方形柱体11内部和外界之间，并且，该中空方形柱体11的侧面上设置有连通中空方形柱体11内部和盒状空间的通槽103(如图3所示)，以此使得盒状空间与外界空间气压平衡，避免台车进出真空腔体时形成气压差使两基片20向内翘曲导致接触；另外，如图2所示，为了平衡各盒状空间之间的气压，可于中空方形柱体11的侧边开设有沟槽104，该沟槽104串通盒状空间和外界之间，同样可达到平衡盒状空间与外界之间气压的目的。使用时，将台车送入真空腔体中，利用溅射靶对基片20进行溅射，以此于基片20的外表面形成镀膜结构。本实用新型的设计重点在于首先，通过将基片的四周侧缘抵触并覆盖住窗口的四周侧缘，以使得基片的周侧与框体之间不存在有空档，可完全杜绝在溅射过程中出现绕镀现象，基片的背面不会形成有绕镀层，保证镀膜产品生产的顺利进行，为企业生产带来便利性。其次，通过配合利用通孔和通槽使盒状空间与外界之间连通，或者利用沟槽串通盒状空间和外界之间，以此使得盒状空间与外界之间的气压平衡，当台车进出真空腔体，设备抽真空和破真空过程中，盒状空间不会与外界形成气压差，不会造成产品翘曲，并杜绝两基片发生接触现象，从而保证镀膜产品的质量。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种改良的连续式真空镀膜机台车,包括有台车框体,该台车框体上形成有至少一窗口，该窗口的侧面上固定有基片，其特征在于该基片的四周侧缘抵触并覆盖住窗口的四周侧缘。
2.根据权利要求I所述的改良的连续式真空镀膜机台车，其特征在于所述台车框体由多根中空方形柱体构成，该中空方形柱体的宽度为12mm。
3.根据权利要求2所述的改良的连续式真空镀膜机台车，其特征在于所述每一窗口的两侧面均安装有一前述基片，每一窗口与对应的两基片之间形成一盒状空间，该中空方形柱体上设置有通孔，该通孔连通于外界与中空方形柱体内部之间，并且该中空方形柱体的侧面开设有连通盒状空间和中空方形柱体之间的通槽。
4.根据权利要求2所述的改良的连续式真空镀膜机台车，其特征在于所述每一窗口的两侧面均安装有一前述基片，每一窗口与对应的两基片之间形成一盒状空间，该中空方形柱体的侧边开设有沟槽，该沟槽串通盒状空间和外界之间。
专利摘要本实用新型公开一种改良的连续式真空镀膜机台车，包括有台车框体，该台车框体上形成有至少一窗口，该窗口的侧面上固定有基片，该基片的四周侧缘抵触并覆盖住窗口的四周侧缘；藉此，通过将基片的四周侧缘抵触并覆盖住窗口的四周侧缘，以使得基片的周侧与框体之间不存在有空档，可完全杜绝在溅射过程中出现的绕镀现象，基片的背面不会形成有绕镀层，保证镀膜产品生产的顺利进行，为企业生产带来便利性。
文档编号C23C14/00GK202369635SQ20112040145
公开日2012年8月8日 申请日期2011年10月20日 优先权日2011年10月20日
发明者党书彦 申请人:宸阳光电科技(厦门)有限公司