专利名称：高温cvd生长室用高度微调节装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及高温CVD设备制造领域技木，尤其是指ー种高温CVD生长室用高度微调节装置。
背景技术：
第三代半导体材料碳化硅(SiC)因其具有的宽禁带、高热导率、高击穿场强、高电子漂移速率等优点，在高温、大功率器件领域有着巨大的应用潜力与市场。而高质量的碳化硅外延材料是制备碳化硅功率器件的前提条件。目前制备碳化硅外延材料主要方法是高温化学气相沉积(CVD)技木。所谓化学气相沉积技术，就是利用载气将反应气体如硅烷、丙烷等运输到外延生长室内，使它们在热衬底上发生化学反应并沉积得到碳化硅(SiC)外延材料。由于该技术要求较高的反应生长温度(1500—16000C )，通常需要采用射频加热的方法对生长室进行加温。而在生长过程中，生长室内部的温度的高低和温场的均匀性等因素对外延效果的好坏有着极大的影响，这些因素又与加热线圈的位置和高度有着密切的关系，加热线圈所在高度的微小变化即会对生长室内部的温场产生显著的影响。因此，如何设计ー种能够支撑加热线圈的高温CVD生长室用高度微调节装置，使其能够精确控制加热线圈的高度变化并使整个加热线圈的高度保持一致，已成为一个极具研究价值的课题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供ー种高温CVD生长室用高度微调节装置，其结构简单、操作方便、能够实现精确细微的高度调节。为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案ー种高温CVD生长室用高度微调节装置，包括有耐高温支撑柱、生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉，其中，该耐高温支撑柱相对高度调节盘固定式设置于高度调节盘上，该高度调节盘位于生长室底盘上方；该高度调节盘上开设有螺纹通孔、无螺纹通孔，并于生长室底盘上对应前述无螺纹通孔位置开设有螺纹孔；该高度调节螺钉螺合于高度调节盘的螺纹通孔内，并该高度调节螺钉的底端抵于生长室底盘上；该锁固螺钉穿过高度调节盘的无螺纹通孔并螺合于生长室底盘的螺纹孔内。作为ー种优选方案，所述高度调节盘上的无螺纹通孔为两个，相应地，前述生长室底盘上的螺纹孔亦为两个，前述锁固螺钉亦为两个；该锁固螺钉分别穿过相应的无螺纹通孔并螺合于相应的螺纹孔内。作为ー种优选方案，所述高度调节盘上的螺纹通孔为两个，前述高度调节螺钉亦为两个，该高度调节螺钉分别螺合于相应的螺纹通孔内。作为ー种优选方案，所述高度调节盘上的螺纹通孔及无螺纹通孔所在位置呈四边形结构布置，并两螺纹通孔位于四边形的同一对角线上，两无螺纹通孔位于四边形的另ー对角线上。作为ー种优选方案，所述高度调节盘为方形结构，其上的螺纹通孔及无螺纹通孔所在位置亦呈方形结构布置。作为ー种优选方案，所述高度调节螺钉系无帽螺钉。本实用新型采用上述技术方案后，其有益效果在于一、通过生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉的配合，以对耐高温支撑柱的精确细微的高度调节，从而，实现了对耐高温支撑柱所支撑的加热线圈进行精确细微的高度调节，达到加热线圈高效率、均匀加热生长室的目的；该种高温CVD生长室用高度微调节装置具有结构简单、操作方便、调节精确细微等优点； ニ、前述高度调节盘上的螺纹通孔及无螺纹通孔所在位置呈四边形结构布置，并两螺纹通孔位于四边形的同一对角线上，两无螺纹通孔位于四边形的另ー对角线上，即两高度调节螺钉位于一对角线上，两锁固螺钉位于另ー对角线上，如此，确保了高度调节盘及耐高温支撑柱的不会出现倾斜偏移等现象，从而，确保了整个加热线圈的高度保持一致、不会傾斜。为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，
以下结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。
图I是本实用新型之实施例的立体结构示意图；图2是本实用新型之实施例的分解结构示意图；图3是图I中M-M处的截面示意图(状态一)；图4是图I中M-M处的截面示意图(状态ニ)。附图标识说明10、生长室底盘11、螺纹孔20、高度调节盘21、螺纹通孔22、无螺纹通孔30、高度调节螺钉40、锁固螺钉50、耐高温支撑柱。
具体实施方式
请參见图I至图4所示，其显示出了本实用新型之较佳实施例的具体结构，其为一种适用于高温CVD生长室的高温CVD生长室用高度微调节装置，包括有生长室底盘10、高度调节盘20、高度调节螺钉30、锁固螺钉40及用于支撑加热线圈的耐高温支撑柱50，其中，该耐高温支撑柱50相对高度调节盘20固定式设置于高度调节盘20上，该高度调节盘20位于生长室底盘10上方(如图I所示)。该高度调节盘20上开设有两个螺纹通孔21、两个无螺纹通孔22，并于生长室底盘10上对应前述无螺纹通22孔位置分别开设有两个螺纹孔11，前述高度调节螺钉30、锁固螺钉40亦分别对应设置有两个；于本实施例中，前述高度调节螺钉系无帽螺钉，当然，有帽螺钉亦可，该高度调节螺钉30螺合于高度调节盘20的螺纹通孔21内，并该高度调节螺钉30的底端抵于生长室底盘10上，旋转高度调节螺钉30能够调节高度调节盘20与生长室底盘10之间的间距；前述锁固螺钉40穿过高度调节盘20的无螺纹通孔22并螺合于生长室底盘10的螺纹孔11内，当高度调节合适后，拧紧该锁固螺钉40，其螺钉头紧抵于高度调节盘20上。于本实施例中，前述高度调节盘20为方形结构，该高度调节盘20上的螺纹通孔21及无螺纹通孔22所在位置呈方形结构布置，并两螺纹通孔21位于方形的一对角线上，两无螺纹通孔22位于方形的另ー对角线上；如此，确保了高度调节盘20及耐高温支撑柱50的不会出现倾斜偏移等现象，从而，确保了整个加热线圈的高度保持一致、不会傾斜。当然，本实用新型之高温CVD生长室用高度微调节装置也可在生长室底部设置若干个来共同支撑加热线圈，通过微调各个装置的高度，实现精确控制加热线圈的高度变化并使整个加热线圈的高度保持一致。下面，简述前述高温CVD生长室用高度微调节装置的调节过程如下先利用锁固螺钉40将高度调节盘20固定于生长室底盘10上，但无需将将锁固螺钉40完全拧死，再旋转高度调节螺钉30以调节到合适高度，然后拧紧锁固螺钉40以将高度调节盘20锁固于生长室底盘10上，最后将耐高温支撑柱50固定于高度调节盘20上，如此，改变了耐高温支撑柱50所支撑的加热线圈所在高度。由于前述高度调节盘20的高度的改变是通过高度调节螺钉30的旋入和旋出进行的，这就实现了对加热线圈的高度的精确微调。其高度的变化范围取决于高度调节螺钉30的长度，当高度调节螺钉30的顶端完全旋入到高度调节盘20中吋，高度调节盘20与生长室底盘10的间距达到最大，即加热线圈的闻度最闻(如图3所不);当闻度调节螺钉30旋出至其底端位于高度调节盘20中吋，即高度调节盘20与生长室底盘10两者紧密贴合，两者间距到达最小，加热线圈的闻度最低(如图4所不)。本实用新型的设计重点在于，主要系通过生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉的配合，以对耐高温支撑柱的精确细微的高度调节，从而，实现了对耐高温支撑柱所支撑的加热线圈进行精确细微的高度调节，达到加热线圈高效率、均匀加热生长室的目的；其次是，前述高度调节盘上的螺纹通孔及无螺纹通孔所在位置呈四边形结构布置，并两螺纹通孔位于四边形的同一对角线上，两无螺纹通孔位于四边形的另ー对角线上，即两高度调节螺钉位于一对角线上，两锁固螺钉位于另ー对角线上，如此，确保了高度调节盘及耐高温支撑柱的不会出现倾斜偏移等现象，从而，确保了整个加热线圈的高度保持一致、不会倾斜。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于包括有耐高温支撑柱、生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉，其中，该耐高温支撑柱相对高度调节盘固定式设置于高度调节盘上，该高度调节盘位于生长室底盘上方； 该高度调节盘上开设有螺纹通孔、无螺纹通孔，并于生长室底盘上对应前述无螺纹通孔位置开设有螺纹孔；该高度调节螺钉螺合于高度调节盘的螺纹通孔内，并该高度调节螺钉的底端抵于生长室底盘上；该锁固螺钉穿过高度调节盘的无螺纹通孔并螺合于生长室底盘的螺纹孔内。
2.根据权利要求I所述的高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于所述高度调节盘上的无螺纹通孔为两个，相应地，前述生长室底盘上的螺纹孔亦为两个，前述锁固螺钉亦为两个；该锁固螺钉分别穿过相应的无螺纹通孔并螺合于相应的螺纹孔内。
3.根据权利要求2所述的高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于所述高度调节盘上的螺纹通孔为两个，前述高度调节螺钉亦为两个，该高度调节螺钉分别螺合于相应的螺纹通孔内。
4.根据权利要求3所述的高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于所述高度调节盘上的螺纹通孔及无螺纹通孔所在位置呈四边形结构布置，并两螺纹通孔位于四边形的同一对角线上，两无螺纹通孔位于四边形的另一对角线上。
5.根据权利要求4所述的高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于所述高度调节盘为方形结构，其上的螺纹通孔及无螺纹通孔所在位置亦呈方形结构布置。
6.根据权利要求I至5中任何一项所述的高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于所述高度调节螺钉系无帽螺钉。
专利摘要本实用新型公开一种高温CVD生长室用高度微调节装置，包括有耐高温支撑柱、生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉，其中，该耐高温支撑柱相对高度调节盘固定式设置于高度调节盘上，该高度调节盘位于生长室底盘上方；该高度调节盘上开设有螺纹通孔、无螺纹通孔，并于生长室底盘上对应前述无螺纹通孔位置开设有螺纹孔；该高度调节螺钉螺合于高度调节盘的螺纹通孔内，并该高度调节螺钉的底端抵于生长室底盘上；该锁固螺钉穿过高度调节盘的无螺纹通孔并螺合于生长室底盘的螺纹孔内；使用时，松开锁固螺钉，旋转高度调节螺钉以将高度调节合适后，再拧紧锁固螺钉即可，其结构简单、操作方便、能够实现精确细微的高度调节。
文档编号C23C16/44GK202610320SQ20122020181
公开日2012年12月19日 申请日期2012年5月8日 优先权日2012年5月8日
发明者孙国胜, 董林, 王雷, 赵万顺, 刘兴昉, 闫果果, 郑柳 申请人:东莞市天域半导体科技有限公司