真空镀膜机初阀连接结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。本实用新型的有益效果：把初阀设置在真空室腔体上方，设备工作时的气体不会经过主阀腔体抽出，而是直接在真空室腔体上端抽出，减少对主阀腔体的污染，也减轻对主阀气缸活塞杆的污染，提高密封圈使用寿命。
【专利说明】真空镀膜机初阀连接结构
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及真空镀膜机初阀连接结构，属于真空镀膜机【技术领域】。
【背景技术】
[0002]传统的真空镀膜机都以初阀放置的主阀腔体端，工作时，加入的气体会残留在主阀腔体壁上，久而久之会造成抽真空速度减慢，影响工作效率，因主阀腔体内部空间有限，清扫及其不方便。还有会残留在主阀气缸活塞杆上，造成活塞杆密封圈损害，使其密封不良(漏气)无法抽气，需要客户经常更换。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供真空镀膜机初阀连接结构。
[0004]本实用新型的真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。
[0005]本实用新型的有益效果:把初阀设置在真空室腔体上方，设备工作时的气体不会经过主阀腔体抽出，而是直接在真空室腔体上端抽出，减少对主阀腔体的污染，也减轻对主阀气缸活塞杆的污染，提高密封圈使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。
[0007]图1为本实用新型的结构示意图。
[0008]其中，1-真空室腔体；2_主阀腔体；3-初阀；4-主阀；5-前阀；6-泵组；7_初阀管道；8-支管。
【具体实施方式】
[0009]如图1所示，本【具体实施方式】采用以下技术方案:真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体1、主阀腔体2、初阀3、主阀4、前阀5和泵组6，所述初阀3连接真空室腔体1，并设置在真空室腔体I上方，所述主阀4设置在主阀腔体2上，主阀腔体2 —侧连接前阀5，前阀5连接泵组6，所述泵组6通过初阀管道7连接初阀3，初阀管道3中部设有支管8连接主阀腔体2。
[0010]本【具体实施方式】将把初阀设置在真空室腔体上方，其优点:设备工作时的气体不会经过主阀腔体2抽出，而是直接在真空室腔体I上端抽出，减少对主阀腔体2的污染，也减轻对主阀气缸活塞杆的污染，提高密封圈使用寿命。
[0011]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
【权利要求】
1.真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。
【文档编号】C23C14/22GK203442272SQ201320531980
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】李龙哲, 王洪彬, 沈聚丰, 朱小凤, 夏伟 申请人:上海哈呐机电设备有限公司