研磨抛光盘静压支撑装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座，特征是：在机架底座上安装机架座套，机架座套上安装静压支撑座，机架座套和静压支撑座的中心安装主轴，静压支撑座和主轴上端设置研磨抛光盘，研磨抛光盘与主轴固定；在所述机架座套上分别设置第一进油通道和第一回油通道，在静压支撑座上分别设置第二进油通道和第二回油通道，第一进油通道和第二进油通道连通，第一回油通道和第二回油通道连通；在所述静压支撑座的上端面设置进油槽，进油槽与第二进油通道连通；在所述静压支撑座的上端面围绕主轴的外侧设置回油槽，在回油槽中设置固定块，固定块与回油槽之间形成回油腔。本实用新型承载力大、吸振性好，可提高研磨抛光加工精度和效率。
【专利说明】研磨抛光盘静压支撑装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体研磨抛光装置，尤其是一种研磨抛光盘静压支撑装置。
【背景技术】
[0002]现今光电、半导体、模具等产业，对于其使用零件(如铣、削加工后的工件)的表面精度要求均日益提高，因此，于工件表面进行研磨抛光的精密微细加工已成为目前发展的主流加工技术。随着研磨抛光加工工艺的不断发展，为使工件获得表面平坦化、表面粗糙度极低的光亮“镜面”，对研磨抛光装置也提出了更高的要求，如能承载更大的压力、能获得更大的工件线速度等。
[0003]现有技术中，研磨抛光盘的支撑采用传统的机械轴承，即将研磨抛光盘与主轴固定连接，研磨抛光盘的支撑完全靠套装在主轴上的主轴轴承提供。这种装置存在的问题是:研磨抛光盘和设置于研磨抛光盘上的待加工工件的重量及压盘对待加工工件施加的压力完全由主轴轴承来承担，由于主轴轴承的承载力有限，这就限制了研磨抛光盘的承载力，也限制了研磨抛光盘的旋转速度，旋转速度稍大，容易引起研磨抛光盘的抖动，进而影响加工精度。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种研磨抛光盘静压支撑装置，承载力大、吸振性好，可提高研磨抛光加工精度和效率。
[0005]按照本实用新型提供的技术方案，一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座，特征是:在所述机架底座上端安装机架座套，在机架座套上端安装静压支撑座，在机架座套和静压支撑座的中心通孔中分别通过主轴轴承安装主轴，在静压支撑座和主轴的上端面设置研磨抛光盘，研磨抛光盘与主轴固定；在所述机架座套上分别设置第一进油通道和第一回油通道，在静压支撑座上分别设置第二进油通道和第二回油通道，第一进油通道和第二进油通道连通，第一回油通道和第二回油通道连通；在所述静压支撑座的上端面设置进油槽，进油槽与第二进油通道连通；在所述静压支撑座的上端面围绕主轴的外侧设置回油槽，在回油槽中设置固定块，固定块的外表面与回油槽的内壁之间形成回油腔，该回油腔与第二回油通道连通。
[0006]所述固定块为中心设有通孔的圆台状，固定块的小端朝向研磨抛光盘一侧。
[0007]在所述静压支撑座上端面的边缘设置回油沟。
[0008]本实用新型所述研磨抛光盘静压支撑装置通过压力油形成静压支撑，用以悬浮支撑研磨抛光盘，以静压支撑代替传统技术的机械轴承支撑可实现更大的承载力，提高研磨抛光效率；同时，静压支撑具有吸振性好的优点，当研磨抛光盘高速旋转时不会造成研磨抛光盘的抖动，稳定性好；再者，静压支撑无机械摩擦，不会对机械部件造成磨损，使用寿命长。【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
[0011]如图1所示:所述研磨抛光盘静压支撑装置包括机架底座1、机架座套2、静压支撑座3、主轴4、主轴轴承5、研磨抛光盘6、第一进油通道7-1、第二进油通道7-2、第一回油通道8-1、第二回油通道8-2、进油槽9、回油槽10、固定块11、回油沟12等。
[0012]如图1所示，本实用新型包括机架底座1，在机架底座I上端安装机架座套2，在机架座套2上端安装静压支撑座3，在机架座套2和静压支撑座3的中心通孔中分别通过主轴轴承5安装主轴4，在静压支撑座3和主轴4的上端面设置研磨抛光盘6，研磨抛光盘6与主轴4固定；
[0013]在所述机架座套2上分别设置第一进油通道7-1和第一回油通道8-1，在静压支撑座3上分别设置第二进油通道7-2和第二回油通道8-2，第一进油通道7-1和第二进油通道
7-2连通，第一回油通道8-1和第二回油通道8-2连通，第一进油通道7-1和第一回油通道
8-1分别外接油栗；在所述静压支撑座3的上端面设置进油槽9，进油槽9与研磨抛光盘6的下端面形成静压油腔，进油槽9与第二进油通道7-2连通；在所述静压支撑座3的上端面围绕主轴4的外侧设置回油槽10，在回油槽10中设置固定块11，固定块11为中心设有通孔的圆台状，固定块11的小端朝向研磨抛光盘6 —侧，固定块11的外表面与回油槽11的内壁之间形成回油腔，该回油腔与第二回油通道8-2连通；
[0014]在所述静压支撑座3上端面的边缘设置回油沟12。
[0015]本实用新型的工作原理:供油系统的油栗发出的压力油经机架座套2和静压支撑座3内的第一进油通道7-1和第二进油通道7-2进入静压支撑座3上端的进油槽9，压力油在静压油腔内形成静压支撑，待压力油将研磨抛光盘6支撑起时，压力油将从静压支撑座3与研磨抛光盘6形成的间隙中流至回油沟12和回油腔中，再经静压支撑座3和机架座套2内的第二回油通道8-2和第一回油通道8-1最后流入供油系统实现循环作业。
【权利要求】
1.一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座(1)，其特征是:在所述机架底座(I)上端安装机架座套(2 )，在机架座套(2 )上端安装静压支撑座(3 )，在机架座套(2 )和静压支撑座(3)的中心通孔中分别通过主轴轴承(5)安装主轴(4)，在静压支撑座(3)和主轴(4)的上端面设置研磨抛光盘(6)，研磨抛光盘(6)与主轴(4)固定；在所述机架座套(2)上分别设置第一进油通道(7-1)和第一回油通道(8-1 )，在静压支撑座(3)上分别设置第二进油通道(7-2)和第二回油通道(8-2)，第一进油通道(7-1)和第二进油通道(7-2)连通，第一回油通道(8-1)和第二回油通道(8-2)连通；在所述静压支撑座(3)的上端面设置进油槽(9)，进油槽(9)与第二进油通道(7-2)连通；在所述静压支撑座(3)的上端面围绕主轴(4)的外侧设置回油槽(10)，在回油槽(10)中设置固定块(11 )，固定块(11)的外表面与回油槽(11)的内壁之间形成回油腔，该回油腔与第二回油通道(8-2)连通。
2.如权利要求1所述的研磨抛光盘静压支撑装置，其特征是:所述固定块(11)为中心设有通孔的圆台状，固定块(11)的小端朝向研磨抛光盘(6) —侧。
3.如权利要求1所述的研磨抛光盘静压支撑装置，其特征是:在所述静压支撑座(3)上端面的边缘设置回油沟(12)。
【文档编号】B24B37/34GK203600044SQ201320657281
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2013年10月23日
【发明者】唐丹, 王联, 王静, 孙晓晓 申请人:无锡元明机械设备技术有限公司