一种收集装置制造方法
【专利摘要】本发明的实施例提供一种收集装置，涉及有机发光二极管面板制造领域，解决了给基板蒸镀发光材料时，出现材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题，减少了材料的浪费，降低了生产成本，提高了产品的稳定性和生产效率。该装置包括：收集板，其中：收集板包括：一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板；第一面板的上面的边与第二面板的第一边连接，第二面板的第二边与第三面板的上面的边连接；第一面板与第三面板不接触；收集板用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，阻挡线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。本发明应用于发光二极管面板制造中。
【专利说明】一种收集装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及有机发光二极管面板制造【技术领域】，尤其涉及一种收集装置。
【背景技术】
[0002]现有技术方案有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称OLED)面板的生产中，通常采用蒸镀工艺使发光材料附着到需要的基板上。蒸镀工艺一般是在蒸镀腔室里完成。现有的蒸镀腔室中基板的受蒸镀面向下吸附在顶部基台上，掩模框架携带掩膜板位于线性蒸发源和基板之间。蒸镀前，需要先进行线性蒸发源的预蒸，使线性蒸发源的蒸镀速度达到目标蒸镀速率；蒸镀时，基板和掩膜板的位置固定，线性蒸发源沿一个方向平行基板和掩膜板移动扫描，完成对整张基板的蒸镀。
[0003]但是，由于现有技术方案在预蒸的过程中，线性蒸发源仍然在向外界蒸发发光材料，这样会出现发光材料被蒸发到腔室内壁的问题，造成发光材料的浪费。蒸镀过程中两张基板转换过程中有空白期，同样会出现发光材料被蒸发到腔室内壁的问题。同时，现有技术方案中通过线性蒸发源的移动完成对基板的蒸镀，由于线性蒸发源在移动过程中的震动，会出现蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题。
【发明内容】
[0004]本发明的实施例提供一种收集装置，解决了现有技术方案在给基板蒸镀发光材料时，由于蒸镀过程中自身存在的问题而出现的材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题，极大的减少了材料的浪费，降低了生产成本。同时提高了得到的产品的稳定性，提高了生产效率。
[0005]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0006]一方面，提供一种收集装置，所述收集装置包括:收集板，其中:
[0007]所述收集板包括:一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板；
[0008]所述第一面板的上面的边与所述第二面板的第一边连接，所述第二面板的第二边与所述第三面板的上面的边连接；所述第一面板与所述第三面板不接触；
[0009]所述收集板，用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，阻挡所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。
[0010]可选的，所述收集板还包括:一非水平设置的第四面板和一非水平设置的第五面板，其中:
[0011]所述第四面板的第一边与所述第一面板的侧面的一个边连接，所述第四面板的第二边与所述第二面板的第三边连接，所述第四面板的第三边与所述第三面板的侧面的一个边连接；
[0012]所述第五面板的第一边与所述第一面板的侧面的另一个边连接，所述第五面板的第二边与所述第二面板的第四边连接，所述第五面板的第三边与所述第三面板的侧面的另一个边连接。
[0013]可选的，所述收集装置还包括:收集网板，所述收集网板固定在所述收集板的下方，其中:
[0014]所述收集网板包括:一非水平设置的第一网格面板、一水平设置的第二网格面板和一非水平设置的第三网格面板；
[0015]所述第一网格面板的上面的边与所述第二网格面板的第一边连接，所述第二网格面板的第二边与所述第三网格面板的上面的边连接；所述第一网格面板与所述第三网格面板不接触；
[0016]所述收集网板中的每个网格面板中的形状呈细密网格状，所述收集网板用于当线性蒸发源处于预蒸 发阶段和两个基板切换的空白阶段时，收集所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料。
[0017]可选的，所述收集网板还包括:一非水平设置的第四网格面板和一非水平设置的第五网格面板，其中:
[0018]所述第四网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的一个边连接，所述第四网格面板的第二边与所述第二网格面板的第三边连接，所述第四网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的一个边连接；
[0019]所述第五网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的另一个边连接，所述第五网格面板的第二边与所述第二网格面板的第四边连接，所述第五网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的另一个边连接。
[0020]可选的，所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备，其中:
[0021]所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接，所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接；
[0022]所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述直杆控制所述收集板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方，否则收回。
[0023]可选的，所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备，其中:
[0024]所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接，所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接；
[0025]所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述第一直杆控制所述收集板和所述收集网板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方，否则收回。
[0026]可选的，所述控制信号是通过红外感应器感应所述线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
[0027]可选的，所述控制信号是通过激光感应器感应所述线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
[0028]可选的，在所述线性蒸发源对所述基板进行蒸镀时，所述线性蒸发源静止不动，基板以一定的速度移动通过所述线性蒸发源的上方。
[0029]本发明的实施例提供的收集装置，通过在蒸镀腔室中设置收集装置，并在线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，将该收集装置伸出在线性蒸发源的上方；当线性蒸发源在给基板蒸镀材料时，将该收集装置缩回；同时，在整个蒸镀过程中采用线性蒸发源固定而基板以一定速度移动通过线性蒸发源的上方的方式，解决了现有技术方案在给基板蒸镀发光材料时，由于蒸镀过程中自身存在的问题而出现的材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题，极大的减少了材料的浪费，降低了生产成本。同时提闻了得到的广品的稳定性，提闻了生广效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本发明的实施例提供的一种收集装置的结构示意图；
[0032]图2为本发明的实施例提供的另一种收集装置的结构示意图；
[0033]图3为本发明的实施例提供的一种收集装置的截面示意图； [0034]图4为本发明的实施例提供的一种收集装置中的收集网板的每个网格面板的形状示意图；
[0035]图5为本发明的实施例提供的又一种收集装置的结构示意图；
[0036]图6为本发明的另一实施例提供的一种收集装置的结构示意图。
[0037]附图标记:1-收集板；11-第一面板；12_第二面板；13_第二面板；14_第四面板；15-第五面板；2_线性蒸发源；3_收集网板；4_直杆；5_驱动设备。
【具体实施方式】
[0038]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0039]本发明的实施例提供一种收集装置，该装置应用于给基板进行材料蒸镀的蒸镀腔室中，参照图1所示，该装置包括:收集板1，其中:
[0040]收集板I包括:一非水平设置的第一面板11、一水平设置的第二面板12和一非水平设置的第三面板13。
[0041]第一面板11的上面的边与第二面板12的第一边连接，第二面板12的第二边与第三面板13的上面的边连接；第一面板11与第三面板13不接触。
[0042]收集板1，用于当线性蒸发源2处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，阻挡线性蒸发源蒸发出的材料喷射到蒸镀腔室上。
[0043]其中，收集板的每个面板的材料可以采用不与蒸镀材料发生化学反应的材质，例如:不锈钢、无氧铝等材质。
[0044]需要说明的是，图1中只是举例说明示出收集板的大小与线性蒸镀源的尺寸之间的关系，并没有限定收集板一定是比线性蒸发源的尺寸大。实际的设置中，可以设计收集板的尺寸大于或者等于线性蒸发源的尺寸大小，具体的设计原则为收集板的大小足以覆盖线性蒸发源的蒸发端口蒸发出的蒸发材料。
[0045]本发明的实施例提供的收集装置，通过在蒸镀腔室中设置收集装置，并在线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，将该收集装置伸出在线性蒸发源的上方；当线性蒸发源在给基板蒸镀材料时，将该收集装置缩回；同时，在整个蒸镀过程中采用线性蒸发源固定而基板以一定速度移动通过线性蒸发源的上方的方式，解决了现有技术方案在给基板蒸镀发光材料时，由于蒸镀过程中自身存在的问题而出现的材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题，极大的减少了材料的浪费，降低了生产成本。同时提闻了得到的广品的稳定性，提闻了生广效率。
[0046]进一步，参照图2所示，该收集装置中的收集板I还包括:一非水平设置的第四面板14和一非水平设置的第五面板15，其中:
[0047]第四面板14的第一边与第一面板11的侧面的一个边连接，第四面板14的第二边与第二面板12的第三边连接，第四面板14的第三边与第三面板13的侧面的一个边连接。
[0048]第五面板15的第一边与第一面板11的侧面的另一个边连接，第五面板15的第二边与第二面板12的第四边连接，第五面板15的第三边与第三面板13的侧面的另一个边连接。
[0049]需要说明的是，图2中阴影部分的区域表示本发明提供的收集装置中没有该部分面板。 [0050]进一步，该收集装置还包括:收集网板，附图中未示出，收集网板固定在收集板I的下方，其中:
[0051]收集网板包括:一非水平设置的第一网格面板、一水平设置的第二网格面板和一非水平设置的第三网格面板。
[0052]第一网格面板的上面的边与第二网格面板的第一边连接，第二网格面板的第二边与第三网格面板的上面的边连接；第一网格面板与第三网格面板不接触。
[0053]收集网板中的每个网格面板中的形状呈细密网格状。
[0054]具体的，收集网板中的每个网格面板采用细密网格状的形状，这样可以使得线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料更好的最大程度的留在收集网板上，这样可以对蒸镀材料进行回收再利用，极大的降低了生产成本。
[0055]收集网板用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，收集线性蒸发源蒸发出的材料。
[0056]具体的，收集网板还包括:一非水平设置的第四网格面板和一非水平设置的第五网格面板，其中:
[0057]第四网格面板的第一边与第一网格面板的侧面的一个边连接，第四网格面板的第二边与第二网格面板的第三边连接，第四网格面板的第三边与第三网格面板的侧面的一个边连接。
[0058]第五网格面板的第一边与第一网格面板的侧面的另一个边连接，第五网格面板的第二边与第二网格面板的第四边连接，第五网格面板的第三边与第三网格面板的侧面的另一个边连接。
[0059]收集网板的每个网格面板的材质可以采用细密网格状的金属，例如:招、铜、不锈钢等材料。[0060]其中，收集网板3与收集板I之间的结构截面示意图可以参照图3中所示，收集网板与收集板贴合在一起，且收集网板的形状与收集板的形状相同，收集网板贴合在收集板的内壁上。在实际的设计中优选的设置收集网板与收集板紧密贴合在一起，收集网板的形状与收集板的形状相同，收集网板的大小设计为收集网板的每个网格面板的边最大程度的与收集板贴合在一起。
[0061]收集网板的每个网格面板的形状可以参照图4中所示，当然图中只是举例说明一种可能的收集网板的网格面板的网格形状，实际应用中可以实现收集网板功能的可行的网格形状均可以适用。
[0062]进一步，参照图5所示，收集装置还包括:一水平设置的直杆4和驱动设备5，其中:
[0063]直杆4的一端与第一面板11的第四边连接，直杆4的另一端与驱动设备5的输出端连接。
[0064]需要说明的是，驱动设备可以是具有伸缩功能的，可以实现驱动设备应用功能的任何设备。例如，可以是液压杆。
[0065]驱动设备5用于根据接收到的控制信号通过直杆4控制收集板I在线性蒸发源2处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至线性蒸发源2的上方，否则收回。
[0066]或者，驱动设备5还用于根据接收到的控制信号通过直杆4控制收集板I和收集网板3在线性蒸发源2处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方，否则收回。
[0067]其中，控制信号是通过红外感应器感应线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
[0068]具体的，红外感应器可以根据基板平常运行的速度设置在线性蒸发源的附近；红外感应发射器会发射信号给红外接收器，当有基板通过红外感应器中使得红外接收器接收不到信号时，红外接收器会产生信号发送至主机，然后主机分析接收到的信号后发送控制信号给驱动设备。
[0069]或者，控制信号是通过激光感应器感应线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
[0070]激光感应器的工作原理可以参考现有技术方案，此处不再赘述。
[0071]当然，控制信号也可以是通过在计算机中根据基板的运动规律设置好时序线线程运行信号，并将该信号发送至驱动设备，以便于驱动设备控制收集板和/或收集网板移动。控制信号的产生本实施例中只是举例说明，并没有限定具体的方式，实际应用中任何可以实现使驱动设备周期性的伸缩的信号均可以适用。
[0072]在线性蒸发源对基板进行蒸镀时，线性蒸发源静止不动，基板以一定的速度移动通过线性蒸发源的上方。
[0073]具体的，本实施例中设置在蒸镀过程中基板以一定的速度移动，而线性蒸发源保持的一定的位置不变，基板移动通过线性蒸发源的上方完成对基板的蒸镀。这样，可以有效的避免现有技术方案中因为线性蒸发源的移动产生的震动而使得蒸镀到基板上的蒸镀材料厚度不均一的问题，保证了蒸镀的稳定性，保证了生产质量。
[0074]其中，一种可行的实现方案为:将收集装置安装在蒸镀腔室内壁的顶端位于线源固定位置上方的位置处，但是必须满足的条件是，该位置不能影响蒸镀腔室中基板正常移动通过线性蒸发源的上方，保证线性蒸发源蒸发处的蒸镀材料可以蒸镀到基板上。[0075]另一种可行的实现方案为:通过驱动设备来控制收集板和/或收集网板的移动；当线性蒸发源开始时收集装置同时开启，在线性蒸发源进行预蒸阶段时，主机发送控制信号到驱动设备，驱动设备通过直杆让收集板和/或收集网板移动到线性蒸发源的上方位置处，以便于收集此时线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料；当线性蒸镀源完成预蒸阶段时，驱动设备则通过直杆控制收集板和/或收集网板移动到不影响整个蒸镀腔室正常运行的位置处；当一炔基板完成蒸镀材料的蒸镀，驱动设备又通过直杆控制收集板和/或收集网板从初始的位置移动到线性蒸发源的上方，手机此时线性蒸发源蒸发处的蒸镀材料；同时，基板切换完成后，驱动设备控制收集板和/或收集网板从线性蒸发源的上方位置处移除到原始位置处即不影响整个蒸镀腔室正常运行的位置。
[0076]本发明的实施例提供的收集装置，通过在蒸镀腔室中设置收集装置，并在线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，将该收集装置伸出在线性蒸发源的上方；当线性蒸发源在给基板蒸镀材料时，将该收集装置缩回；同时，在整个蒸镀过程中采用线性蒸发源固定而基板以一定速度移动通过线性蒸发源的上方的方式，解决了现有技术方案在给基板蒸镀发光材料时，由于蒸镀过程中自身存在的问题而出现的材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题，极大的减少了材料的浪费，降低了生产成本。同时提闻了得到的广品的稳定性，提闻了生广效率。
[0077]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之 内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种收集装置，其特征在于，所述收集装置包括:收集板，其中: 所述收集板包括:一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板； 所述第一面板的上面的边与所述第二面板的第一边连接，所述第二面板的第二边与所述第三面板的上面的边连接；所述第一面板与所述第三面板不接触； 所述收集板，用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，阻挡所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述收集板还包括:一非水平设置的第四面板和一非水平设置的第五面板，其中: 所述第四面板的第一边与所述第一面板的侧面的一个边连接，所述第四面板的第二边与所述第二面板的第三边连接，所述第四面板的第三边与所述第三面板的侧面的一个边连接； 所述第五面板的第一边与所述第一面板的侧面的另一个边连接，所述第五面板的第二边与所述第二面板的第四边连接，所述第五面板的第三边与所述第三面板的侧面的另一个边连接。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述收集装置还包括:收集网板，所述收集网板固定在所述收集板的下方，其中: 所述收集网板包括:一非水平设置的第一网格面板、一水平设置的第二网格面板和一非水平设置的第三网格面板； 所述第一网格面板的上面的边与所述第二网格面板的第一边连接，所述第二网格面板的第二边与所述第三网格面板的上面的边连接；所述第一网格面板与所述第三网格面板不接触； 所述收集网板中的每个网格面板中的形状呈细密网格状，所述收集网板用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时，收集所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述收集网板还包括:一非水平设置的第四网格面板和一非水平设置的第五网格面板，其中: 所述第四网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的一个边连接，所述第四网格面板的第二边与所述第二网格面板的第三边连接，所述第四网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的一个边连接； 所述第五网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的另一个边连接，所述第五网格面板的第二边与所述第二网格面板的第四边连接，所述第五网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的另一个边连接。
5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备，其中: 所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接，所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接； 所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述直杆控制所述收集板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方，否则收回。
6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备，其中: 所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接，所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接； 所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述直杆控制所述收集板和所述收集网板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方，否则收回。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于， 所述控制信号是通过红外感应器感应所述线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于， 所述控制信号是通过激光感应器感应所述线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于， 在所述线性蒸发源对所述基板进行蒸镀时，所述线性蒸发源静止不动，基板以一定的速度移动通过所述线性蒸 发源的上方。
【文档编号】C23C14/24GK104018122SQ201410256493
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年6月10日 优先权日:2014年6月10日
【发明者】肖昂 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方光电科技有限公司