磁记录膜形成用溅射靶及其制造方法与流程

文档序号:13221347阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种含C的FePt基磁记录膜形成用溅射靶,其特征在于,在与溅射面垂直的截面的抛光面中,Fe-Pt合金相的平均厚度为10μm以上。2.一种含C的FePt基磁记录膜形成用溅射靶,其特征在于,在与溅射面垂直的截面的抛光面中,Fe-Pt合金相的平均长度为20μm以上。3.一种含C的FePt基磁记录膜形成用溅射靶,其特征在于,在与溅射面水平的截面的抛光面中,Fe-Pt合金相的平均长度为20μm以上。4.根据权利要求1~3中任一项所述的溅射靶,其特征在于,Pt含量为5摩尔%以上且60摩尔%以下。5.根据权利要求1~4中任一项所述的溅射靶,其特征在于,C含量为10摩尔%以上且70摩尔%以下。6.根据权利要求1~5中任一项所述的溅射靶,其特征在于,含有0.5摩尔%以上且10摩尔%以下的选自由B、Ru、Ag、Au、Cu组成的组中的一种以上元素作为添加元素。7.根据权利要求1~6中任一项所述的溅射靶,其特征在于,含有选自由氧化物、氮化物、碳化物、碳氮化物组成的组中的一种以上无机物材料作为添加材料。8.一种溅射靶的制造方法,其特征在于,将Fe-Pt合金切削为切屑,然后将其粉碎并进行扁平化处理而得到Fe-Pt合金粉末,接着将薄\t片化石墨粉末与该Fe-Pt合金粉末混合,对该混合粉末进行热压烧结,接着将该烧结体机械加工为靶形状。9.根据权利要求8所述的溅射靶的制造方法,其特征在于,混合选自由B、Ru、Ag、Au、Cu组成的组中的一种以上金属元素的粉末。10.根据权利要求8或9所述的溅射靶的制造方法,其特征在于,混合选自由氧化物、氮化物、碳化物、碳氮化物组成的组中的一种以上无机物材料的粉末。
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