化学机械抛光多区压力在线控制算法的制造方法与工艺

技术特征：
1.一种化学机械抛光多区压力在线控制算法，其特征在于，包括以下步骤：分别获取所述抛光头的各压力分区的零点偏移量；根据所述抛光头的各压力分区的零点偏移量，分别对CMP抛光头系统的各路气压传感器的测量值进行修正，并将修正后的测量值作为所述各路气压传感器的最终输出值；计算所述各路气压传感器的最终输出值与对应压力分区的预设压力值之间的偏差量；根据所述偏差量实时计算所述CMP抛光头系统的相应电气比例阀的控制量；以及根据所述控制量对所述相应电气比例阀的开度进行控制，其中，采用增量式PI控制算法，即将当前计算得到的控制增量与上一时刻计算得到的控制量之和作为所述相应电气比例阀的当前控制量，其中控制增量的计算公式为：Δu(n)＝Kp·Δe(n)+αKi′e(n)，其中，定义Kp为比例项系数，Ki′作为改良后的积分项系数，Δe(n)为气压传感器的最终...