一种多弧离子镀及镀膜方法与流程

文档序号:13324172阅读:1623来源:国知局
一种多弧离子镀及镀膜方法与流程
本发明涉及带孔刀具镀膜的技术领域,特别是一种多弧离子镀及镀膜方法。

背景技术:
真空镀膜是在真空中把将钛、碳化钨、金之类的金属材料溅射蒸发等技术,在基材上形成薄膜的一种金属表面处理过程。真空镀膜与传统化学镀膜方法相比有很多优点:如对环境无污染,是绿色环保工艺,对操作者无伤害,镀层牢固和膜层致密性好,膜厚均匀,膜层抗腐蚀性强,价廉物美。而化学镀膜,膜层牢固性,耐磨性,均匀性都不理想,并且对环境有污染,同时操作者有伤害。在刀具表面上镀金属膜能够降低摩擦系数,提高硬度,耐磨度,耐高温,耐腐蚀,提高抗氧化性,防指纹等。广泛应用于车刀、铣刀、数控刀片、丝锥等,有些刀具的中部还开设有沉头孔。目前,有孔刀片的镀膜其工艺为:先将多个有孔刀片顺次串联在立柱上,再将立柱固定于真空镀膜机内的转架上,通过转轴带动立柱做旋转运动,而真空镀膜机内的靶材释放金属离子,金属离子附着在刀片表面,从而实现了有孔刀片的镀膜,如图1所示为传统利用转架在有孔刀片上镀膜的俯视图,其中位于最左侧的圆形代表靶材;与靶材直径相等的圆代表转轴;具有剖面线的圆代表立柱。然而,一根立柱上的相邻两刀片的接触处则无法形成涂层,影响产品质量。此外,立柱只能绕转架上的转轴做公转,在转动过程中,刀片上朝向转轴的一面始终背对着靶材,导致刀片上朝向靶材的一面的涂层始终比背面厚,涂层均匀性差,影响产品质量。此外,立柱呈为夹具,由于真空镀膜机内的安装空间非常小,要将数个夹具安装于转架上,非常困难,严重降低了生产效率,增大了工人的劳动强度,因此这种夹具不推广使用。

技术实现要素:
本发明的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种结构紧凑、实现了带孔刀具的快速安装、方便安装和卸下夹具、提高涂层均匀性、提高刀具机械强度的多弧离子镀及镀膜方法。本发明的目的通过以下技术方案来实现:一种多弧离子镀,它包括炉体、安装在炉体上的封闭门、转架、电弧以及设置于炉体外部的抽真空装置和负电源A,炉体的内壁上设置有多个电弧,电弧由磁铁、负电源B和块靶材组成,负电源B与磁铁连接,负电源B设置于炉体的外部,磁铁的端面上设置有块靶材,抽真空装置的工作端与炉体的内部连通,炉体的顶部设置有进气管,炉体内设置有两个隔热装置,两个隔热装置均由螺纹杆和隔热钢板组成,螺纹杆设置于炉体的内壁上,螺纹杆上设置有多个隔热钢板,所述的炉体内还设置有升温装置和温度传感器,该多弧离子镀还包括PLC控制器,所述的PLC控制器与抽真空装置、负电源A、负电源B、升温装置和温度传感器连接;所述的转架设置于炉体内且位于两个隔热装置之间,转架与负电源A连接,转架由工作台、中心齿轮、下圆盘、矩形柱、上圆盘、行星齿轮、安装于工作台上的轴承座、用于安装带孔刀具的夹具以及旋转安装于轴承座上的转盘组成,工作台设置于炉体的底表面,工作台上设置有至少三个限位柱,中心齿轮的下表面设置有至少三个套筒,中心齿轮的中部设置有中心孔,中心齿轮设置于转盘的上方,套筒套装于限位柱上,转盘上设置有至少四个支撑座,支撑座贯穿中心孔设置且支撑座的顶部连接有下圆盘,下圆盘的下表面且以中心孔为圆心转轴旋转安装有多个行星齿轮,每个行星齿轮均与中心齿轮啮合,下圆盘的上表面且以中心孔为圆心设置有多个矩形柱,矩形柱与行星齿轮的转轴连接,矩形柱所围成的区域内设置有上圆盘,每个矩形柱上设置有多个夹具;所述的夹具包括中心柱、立柱以及设置于中心柱上下端部的安装板A和安装板B,中心柱内设置有方形孔,安装板A和安装板B均呈圆形状,安装板A上且沿安装板A的边缘上均匀分布有多个卡槽,安装板B上且沿安装板B的圆周方向均匀分布有多个安装孔,所述的卡槽与安装孔之间设置有立柱,立柱的上端部设置有外螺纹,外螺纹上连接有螺母,螺母的下表面抵压于安装板A的上表面,立柱的下端部插装于安装孔内,立柱上还设置有拨轮,拨轮的圆周方向设置有多个拨齿,立柱上且从拨轮到安装板A之间顺次贯穿有多个待镀膜的带孔刀具,且每相邻两个带孔刀具之间均设置有隔套,所述的夹具经方形孔与矩形柱配合安装于矩形柱上;所述的下圆盘的上表面还设置有多个立杆,每个矩形柱的旁侧均设置有立杆,立杆上设置有多个弹性拨板,弹性拨板与拨齿接触;所述的转盘的边缘上设置有限位槽,所述的工作台上还设置有滑块,滑块上设置有限位块,限位块设置于限位槽内;该多弧离子镀还包括设置于炉体外部的传动装置和电机,电机的输出端与传动装置的输入端连接,传动装置的输出端与转盘连接。所述的工作台上设置有三个限位柱,三个限位柱呈三角形设置。所述的转盘上设置有四个支撑座。所述的每个矩形柱上均设置有三个夹具。所述的卡槽呈U形状。所述的拨齿均匀分布在拨轮上。所述的传动装置由主动齿轮、从动齿轮、主轴和减速器组成,减速器的输入端与电机连接,减速器的输出端连接有主动齿轮,主轴旋转安装于炉体的底部,主轴贯穿轴承座且与转盘连接,从动齿轮安装在主轴上,主动齿轮与从动齿轮啮合。所述的多弧离子镀的镀膜方法,其特征在于:它包括以下步骤:S1、带孔刀具的工装,先将带孔刀具上的台阶孔套在立柱上,且在每相邻两个带孔刀具之间安装隔套,再将立柱的下端部插入安装孔内,然后将立柱的上端部插入卡槽内,最后拧紧螺母,即实现了带孔刀具的快速工装;S2、夹具的工装,卸下上圆盘,将中心柱的方形孔从上往下套在矩形柱上,方形孔与矩形柱形成过盈配合,从而实现了夹具的快速工装;S3、步骤S2结束后,将整个转架通过叉车托拖住工作台送入炉体内,随后将转盘连接在主轴上,从而实现了该转架的安装,同时实现了在炉体的外部安装夹具;S4、带孔刀具的公转和自转,拔出限位块,随后关闭封闭门,启动电机,电机的转矩经减速器传递到主动齿轮上,主动齿轮带动从动齿轮转动,从动齿轮带动主轴转动,主轴带动转盘转动,转盘经支撑座带动下圆盘转动,下圆盘下方的行星齿轮绕中心齿轮转动,实现了夹具上带孔刀具的公转,同时行星齿轮的转动使矩形柱绕自身轴线转动,实现了夹具上带孔刀具的自转;S5、带孔刀具的镀膜,先利用抽真空装置使炉体真空度为500~900bar,再利用升温装置使炉体内部温度达到260~300℃,然后打开负电源A和负电源B,负电源A使转架带有负电,负电源B使块靶材带负电,块靶材与炉体之间形成放电回路,此时块靶材上形成极高温度,块靶材表面释放大量的金属离子,金属离子与转架上的负电形成电场,在电场力的作用下金属离子附着在带孔刀具的表面上,从而实现了带孔刀具的镀膜,在镀膜过程中,向进气管内通入氮气或氧气,气体与金属离子发生化学反应,最终在带孔刀具上形成氮化物或氧化物;S6、在步骤S5中随着带孔刀具的自转,弹性拨板会顺次且循环的拨动夹具上立柱上的拨齿,拨齿带动拨轮转动小角度,该转动角度即为两个拨齿间的夹角,从而使带孔刀具的各个面朝向块靶材的机率是相等的。本发明具有以下优点:本发明结构紧凑、实现了带孔刀具的快速安装、方便安装和卸下夹具、提高涂层均匀性、提高刀具机械强度。附图说明图1为传统利用转架在有孔刀片上镀膜的俯视图;图2为本发明去掉封闭门的结构示意图;图3为本发明转架的结构示意图;图4为图3的A-A剖视图;图5为本发明的轴承座与工作台和转盘的安装示意图;图6为图5的俯视图;图7为本发明的夹具的结构示意图;图8为图7的B-B剖视图;图9为图7的俯视图;图10为图3的I部局部放大视图;图中,1-工作台,2-中心齿轮,3-行星齿轮,4-轴承座,5-夹具,6-转盘,7-限位柱,8-套筒,9-中心孔,10-支撑座,11-下圆盘,12-矩形柱,13-上圆盘,14-中心柱,15-立柱,16-安装板A,17-安装板B,18-方形孔,19-卡槽,20-安装孔,21-螺母,22-拨轮,23-拨齿,24-带孔刀具,25-隔套,26-立杆,27-弹性拨板,28-限位槽,29-滑块,30-限位块,31-炉体,32-转架,33-电弧,34-抽真空装置,35-负电源A,37-磁铁,38-负电源B,39-块靶材,40-进气管,41-螺纹杆,42-隔热钢板,43-升温装置,44-电机,45-主动齿轮,46-从动齿轮,47-主轴,48-减速器。具体实施方式下面结合附图对本发明做进一步的描述,本发明的保护范围不局限于以下所述:如图2所示,一种多弧离子镀,它包括炉体31、安装在炉体31上的封闭门、转架32、电弧33以及设置于炉体31外部的抽真空装置34和负电源A35,炉体31的内壁上设置有多个电弧33,电弧33由磁铁37、负电源B38和块靶材39组成,负电源B38与磁铁37连接,负电源B38设置于炉体31的外部,磁铁37的端面上设置有块靶材39,块靶材39为金属靶材,抽真空装置34的工作端与炉体31的内部连通,炉体31的顶部设置有进气管40,炉体31内设置有两个隔热装置,两个隔热装置均由螺纹杆41和隔热钢板42组成,螺纹杆41设置于炉体31的内壁上,螺纹杆41上设置有多个隔热钢板42,隔热钢板42能够保持炉体31内的温度,避免温度损耗过快,同时还能避免热量传递到封闭门上,导致门温度过高烫手。所述的炉体31内还设置有升温装置43和温度传感器,温度传感器用于检测炉体31内的温度。该多弧离子镀还包括PLC控制器,PLC控制器与抽真空装置34、负电源A35、负电源B38、升温装置43和温度传感器连接,通过PLC控制器能够控制抽真空装置34、负电源A35、负电源B38以及升温装置43的启动或关闭,同时还能通过温度传感器监测炉体31内的温度,因此具有自动化程度高的特点。如图2-6所示,转架32设置于炉体31内且位于两个隔热装置之间,转架32与负电源A35连接,转架32由工作台1、中心齿轮2、下圆盘11、矩形柱12、上圆盘13、行星齿轮3、安装于工作台1上的轴承座4、用于安装带孔刀具的夹具5以及旋转安装于轴承座4上的转盘6组成,工作台1设置于炉体31的底表面,工作台1上设置有三个限位柱7,三个限位柱7呈三角形设置,中心齿轮2的下表面设置有至少三个套筒8,中心齿轮2的中部设置有中心孔9,中心齿轮2设置于转盘6的上方,套筒8套装于限位柱7上,转盘6上设置有四个支撑座10,支撑座10贯穿中心孔9设置且支撑座10的顶部连接有下圆盘11,下圆盘11的下表面且以中心孔9为圆心转轴旋转安装有多个行星齿轮3,每个行星齿轮3均与中心齿轮2啮合,下圆盘11的上表面且以中心孔9为圆心设置有多个矩形柱12,矩形柱12与行星齿轮3的转轴连接,矩形柱12所围成的区域内设置有上圆盘13,每个矩形柱12上设置有多个夹具5。如图7-9所示,夹具5包括中心柱14、立柱15以及设置于中心柱14上下端部的安装板A16和安装板B17,中心柱14内设置有方形孔18,安装板A16和安装板B17均呈圆形状,安装板A16上且沿安装板A16的边缘上均匀分布有多个卡槽19,卡槽19呈U形状,安装板B17上且沿安装板B17的圆周方向均匀分布有多个安装孔20,所述的卡槽19与安装孔20之间设置有立柱15,立柱15的上端部设置有外螺纹,外螺纹上连接有螺母21,螺母21的下表面抵压于安装板A16的上表面,立柱15的下端部插装于安装孔20内,立柱15上还设置有拨轮22,拨轮22的圆周方向设置有多个拨齿23,拨齿23均匀分布在拨轮22上,立柱15上且从拨轮22到安装板A16之间顺次贯穿有多个待镀膜的带孔刀具24,且每相邻两个带孔刀具24之间均设置有隔套25,隔套25将带孔刀具24的待镀面相互隔开,保证了带孔刀具24各区域均都被镀有涂层,从而提高了产品的质量。夹具5经方形孔18与矩形柱12配合安装于矩形柱12上,每个矩形柱12上均设置有三个夹具5。如图2和7-10所示,下圆盘11的上表面还设置有多个立杆26,每个矩形柱12的旁侧均设置有立杆26,立杆26上设置有多个弹性拨板27,弹性拨板27与拨齿23接触;所述的转盘6的边缘上设置有限位槽28,所述的工作台1上还设置有滑块29,滑块29上设置有限位块30,限位块30设置于限位槽28内;该多弧离子镀还包括设置于炉体31外部的传动装置和电机44,电机44的输出端与传动装置的输入端连接,传动装置的输出端与转盘6连接。如图2所示,传动装置由主动齿轮45、从动齿轮46、主轴47和减速器48组成,减速器48的输入端与电机44连接,减速器48的输出端连接有主动齿轮45,主轴47旋转安装于炉体31的底部,主轴47贯穿轴承座4且与转盘6连接,从动齿轮46安装在主轴47上,主动齿轮45与从动齿轮46啮合。所述的多弧离子镀的镀膜方法,它包括以下步骤:S1、带孔刀具的工装,先将带孔刀具24上的台阶孔套在立柱15上,且在每相邻两个带孔刀具24之间安装隔套25,再将立柱15的下端部插入安装孔20内,然后将立柱15的上端部插入卡槽19内,最后拧紧螺母21,即实现了带孔刀具的快速工装,从而提高了生产效率;S2、夹具的工装,卸下上圆盘13,将中心柱14的方形孔18从上往下套在矩形柱12上,方形孔18与矩形柱12形成过盈配合,从而实现了夹具的快速工装,进一步提高了生产效率;S3、步骤S2结束后,将整个转架32通过叉车托拖住工作台1送入炉体31内,随后将转盘6连接在主轴47上,从而实现了该转架的安装,同时实现了在炉体31的外部安装夹具5,无需担心安装空间,减轻了工人的劳动强度,此外当镀膜结束后,可将整个转架32从炉体31内挪出,便于工人拆下夹具;S4、带孔刀具的公转和自转,拔出限位块30,随后关闭封闭门,启动电机44,电机44的转矩经减速器48传递到主动齿轮45上,主动齿轮45带动从动齿轮46转动,从动齿轮46带动主轴47转动,主轴47带动转盘6转动,转盘6经支撑座10带动下圆盘11转动,下圆盘11下方的行星齿轮3绕中心齿轮2转动,实现了夹具5上带孔刀具24的公转,同时行星齿轮3的转动使矩形柱12绕自身轴线转动,实现了夹具5上带孔刀具24的自转;S5、带孔刀具的镀膜,先利用抽真空装置34使炉体31真空度为500~900bar,再利用升温装置43使炉体内部温度达到260~300℃,然后打开负电源A35和负电源B38,负电源A35使转架32带有-700V的电压,负电源B38使块靶材39带-70V电压,而炉体31本身不带电,从而使块靶材39与炉体31之间形成放电回路,此时块靶材39上形成极高温度,块靶材39表面释放大量的金属离子,金属离子与转架32上的负电形成电场,在电场力的作用下金属离子附着在带孔刀具24的表面上,从而实现了带孔刀具的镀膜,在镀膜过程中,向进气管40内通入氮气或氧气,气体与金属离子发生化学反应,最终在带孔刀具上形成氮化物或氧化物,极大提高了刀具强度、耐磨度;S6、在步骤S5中随着带孔刀具的自转,弹性拨板27会顺次且循环的拨动夹具5上立柱15上的拨齿23,拨齿23带动拨轮22转动小角度,该转动角度即为两个拨齿23间的夹角,从而使带孔刀具24的各个面朝向块靶材39的机率是相等的,最终保证了带孔刀具24镀膜后涂层的均匀性,使带孔刀具各面的机械特性相同,保证了产品的质量。
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