1.一种热分解氮化硼容器的制造方法,其是制造热分解氮化硼容器的方法,所述热分解氮化硼容器的制造方法由以下步骤构成:
使用热化学气相沉积法,将热分解氮化硼成膜于碳制的容器模具材料上;
通过将所述成膜物从所述容器模具材料卸下,来获得容器形状的成型体;
通过氧化处理所述容器形状的成型体,来去除源自所述容器模具材料并附着于表面上的碳;
之后,对所述容器形状的成型体,从与模具材料相接侧的面,实施薄化处理,形成一容器。
2.如权利要求1所述的热分解氮化硼容器的制造方法,其中,通过磨削或者研磨或这两种方法来进行所述薄化处理。
3.如权利要求1所述的热分解氮化硼容器的制造方法,其中,在所述容器形状的成型体的所述薄化处理中,从与容器模具材料相接侧的面,去除0.5μm以上且100μm以下的厚度的表层。
4.如权利要求2所述的热分解氮化硼容器的制造方法,其中,在所述容器形状的成型体的所述薄化处理中,从与容器模具材料相接侧的面,去除0.5μm以上且100μm以下的厚度的表层。
5.如权利要求1~4中的任一项所述的热分解氮化硼容器的制造方法,其中,所述薄化处理是对所述容器形状的成型体的拐角部进行。
6.一种热分解氮化硼容器,其特征在于,使用热化学气相沉积法成膜于碳制的容器模具材料上,从所述容器模具材料卸下后,通过氧化处理来去除附着于表面上的碳而成,并已从与所述容器模具材料相接侧的面实施薄化处理。